技术编号：2693788
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于电路制板设备，尤其涉及一种用于直写式光刻机(LDI)的可调倍率镜头。背景技术直写式光刻机的镜头是其关键组件之一，但是现有直写式光刻机所采用的镜头都是单倍率固定式的。因此，如要实现不同倍率的光刻机镜头调节功能，就必须设计一整套对应不同倍率的隔圈，而且在使用中还必须拆卸、安装不同高度的隔圈以获得所需倍率的镜头，实现多倍率调节的功能。采用上述方法进行多隔圈调节的手段，不单延误设计周期且导致了额外的加工成本，而且严重制约了直写式光刻机镜头的调节效率。...
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