专利名称：一种用于直写式光刻机的可调倍率镜头的制作方法
技术领域：
本实用新型属于电路制板设备技术领域，尤其涉及一种用于直写式光刻机(LDI)的可调倍率镜头。
背景技术：
直写式光刻机的镜头是其关键组件之一，但是现有直写式光刻机所采用的镜头都是单倍率固定式的。因此，如要实现不同倍率的光刻机镜头调节功能，就必须设计一整套对应不同倍率的隔圈，而且在使用中还必须拆卸、安装不同高度的隔圈以获得所需倍率的镜头，实现多倍率调节的功能。采用上述方法进行多隔圈调节的手段，不单延误设计周期且导致了额外的加工成本，而且严重制约了直写式光刻机镜头的调节效率。
发明内容为了解决直写式光刻机镜头调节倍率时的上述技术难题，本实用新型提供一种改进结构的用于直写式光刻机的可调倍率镜头，通过改变固定镜筒I与移动镜筒4的位置关系，调节镜片间距的大小，从而避免设计制造一系列规格的隔圈，以及在使用中的反复拆卸、安装隔圈的步骤，节约了制造成本，提高了生产效率。具体的技术解决方案如下I、一种用于直写式光刻机的可调倍率镜头，包括固定镜筒I、隔圈2、第一压圈3、第二压圈5、第一透镜12、第二透镜13、第三透镜14 ;其中，固定镜筒I径向内侧的中部设有台阶11 ;第一透镜12放置在固定镜筒I筒腔的底部；在第一透镜12顶面放有隔圈2，在隔圈2的顶部放有第二透镜13 ;第一压圈3与固定镜筒I的台阶11的径向侧壁相连接，且第一压圈3的底部压在第二透镜13的顶面上，将第一透镜12、隔圈2、第二透镜13与固定镜筒I固定在一起，固定镜筒I顶端的径向内侧设有限位槽8 ;固定镜筒I上还设有移动镜筒4和刻度盘6 ；移动镜筒4为圆筒状，上端设有入光口 9，底部设有出光孔10 ;移动镜筒4的顶部端面上设有指针7 ;移动镜筒4顶端的径向外侧与固定镜筒I顶端的限位槽8相连接；刻度盘6为圆环状，与固定镜筒I顶端的径向外侧相连接；2、所述一种用于直写式光刻机的可调倍率镜头，第三透镜14安装在移动镜筒4的筒腔的底部；移动镜筒4径向内侧与第二压圈5的径向外侧相连接，第二压圈5的底部压在第三透镜14的顶面上，将第三透镜14与移动镜筒4固定在一起；3、所述一种用于直写式光刻机的可调倍率镜头，第一透镜12为双凹镜、第二透镜13为凹凸镜、第三透镜14为双凸镜；4、所述一种用于直写式光刻机的可调倍率镜头，第二透镜13的顶面与第三透镜14的底面的间距为D，D的范围为O. I 50mm ；5、所述一种用于直写式光刻机的可调倍率镜头，在刻度盘6的顶部端面上设有刻度；在移动镜筒4的顶部端面上设有指针7 ；[0012]6、所述一种用于直写式光刻机的可调倍率镜头，移动镜筒4径向内侧与第二压圈5的径向外侧采用螺纹连接。本实用新型的有益技术效果是，通过在镜头中增设一个移动镜筒4，使得镜头之间的距离差的调节途径由原先反复装卸不同的隔圈的方式改为旋转镜筒的方式，彻底省去了制作各种隔圈的工序，降低了制造成本，并且在使用时显著提高了镜头倍率调节时的精度与效率。
图I为本实用新型剖视图。图2为图I的俯视图。上图中的序号为固定镜筒I、隔圈2、第一压圈3、移动镜筒4、第二压圈5、刻度盘
6、指针7、限位槽8、入光口 9、出光孔10、台阶11、第一透镜12、第二透镜13、第三透镜14。
具体实施方式
以下结合附图，通过实施例对本实用新型作进一步地说明。实施例参见图I、图2，首先将由固定镜筒I、隔圈2、第一压圈3、移动镜筒4、第二压圈5、刻度盘6、指针7、第一透镜12、第二透镜13、第三透镜14按如下步骤装配将第一透镜12放置在固定镜筒I筒腔的底部；在第一透镜12顶面放有隔圈2，在隔圈2的顶部放有第二透镜13 ;第一压圈3与固定镜筒I的台阶11的侧壁通过螺纹连接，将螺纹旋紧使得第一压圈3的底部压在第二透镜13的顶面上，从而将第一透镜12、隔圈2、第二透镜13与固定镜筒I固定在一起；将第三透镜14放置在移动镜筒4筒腔的底部；移动镜筒4径向内侧与第二压圈5的径向外侧螺纹相连接；将螺纹旋紧，使得第二压圈5的底部压在第三透镜14的顶面上，从而将第三透镜14与移动镜筒4固定在一起；再将装配有第三透镜14、第二压圈5的移动镜筒4顶端的径向外侧与固定镜筒I顶端的限位槽8通过螺纹相连接；将上述连接好的装置安装在直写式光刻机上后，开启直写式光刻机电源，激光自固定镜筒I顶部射入，依次穿过移动镜筒4的入光口 9、第三透镜14、移动镜筒4的出光孔10、第二透镜13、第一透镜12，最后自固定镜筒I的底部射出。使用中，通过旋转移动镜筒4，即可调整移动镜筒4与固定镜筒I之间的相对距离D，从而调节相应镜片之间的距离，达到调节倍率的目的；相对距离D的移动范围在O. I 50mm ;镜头调节的精确倍率，由专用软件换算出来后显示在设备的显示终端上。在与固定镜筒I相连接的刻度盘6的顶部端面上设有刻度，在移动镜筒4的顶部端面上设有指针7 ;当旋转移动镜筒4时，固定在移动镜筒4上的指针7所指向的位置也发生相应的变化，通过记录指针7所转过的刻度盘6上的刻度，给仪器的使用者一个参考。
权利要求1.一种用于直写式光刻机的可调倍率镜头，包括固定镜筒(I)、隔圈(2)、第一压圈(3)、第二压圈(5)、第一透镜(12)、第二透镜(13)、第三透镜(14);其中，固定镜筒(I)径向内侧的中部设有台阶(11);第一透镜(12)放置在固定镜筒(I)筒腔的底部；在第一透镜(12)顶面放有隔圈(2)，在隔圈(2)的顶部放有第二透镜(13);第一压圈(3)与固定镜筒(I)的台阶(11)的径向侧壁相连接，且第一压圈(3)的底部压在第二透镜(13)的顶面上，将第一透镜(12)、隔圈(2)、第二透镜(13)与固定镜筒(I)固定在一起，其特征在于固定镜筒 (I)顶端的径向内侧设有限位槽(8);固定镜筒(I)上还设有移动镜筒(4)和刻度盘(6)； 移动镜筒(4)为圆筒状，上端设有入光口(9)，底部设有出光孔(10);移动镜筒(4)的顶部端面上设有指针(7);移动镜筒(4)顶端的径向外侧与固定镜筒(I)顶端的限位槽(8)相连接； 亥渡盘(6)为圆环状，与固定镜筒(I)顶端的径向外侧相连接。
2.如权利要求I所述一种用于直写式光刻机的可调倍率镜头，其特征在于第三透镜(14)安装在移动镜筒(4)的筒腔的底部；移动镜筒(4)径向内侧与第二压圈(5)的径向外侧相连接，第二压圈(5)的底部压在第三透镜(14)的顶面上，将第三透镜(14)与移动镜筒(4)固定在一起。
3.如权利要求I所述一种用于直写式光刻机的可调倍率镜头，其特征在于第一透镜(12)为双凹镜、第二透镜(13)为凹凸镜、第三透镜(14)为双凸镜。
4.如权利要求I所述一种用于直写式光刻机的可调倍率镜头，其特征在于第二透镜(13)的顶面与第三透镜(14)的底面的间距为D，D的范围为O.I 50mm。
5.如权利要求I所述一种用于直写式光刻机的可调倍率镜头，其特征在于在刻度盘(6)的顶部端面上设有刻度；在移动镜筒(4)的顶部端面上设有指针(7)。
6.如权利要求2所述一种用于直写式光刻机的可调倍率镜头，其特征在于移动镜筒(4)径向内侧与第二压圈(5)的径向外侧采用螺纹连接。
专利摘要针对现有直写式光刻机镜头的单倍率固定式镜头在调节倍率时需要设计一整套对应不同倍率的隔圈，并且在使用中还需要反复拆卸安装隔圈的弊端，本实用新型提供一种改进结构的用于直写式光刻机的可调倍率镜头，通过改变固定镜筒(1)与移动镜筒(4)之间的相对位置关系，实现对镜片间距D的线性控制和镜头倍率的精确控制，此外还取消了制造、装配一系列规格隔圈的工艺步骤，节约了制造成本，提高了生产效率。
文档编号G02B7/04GK202649580SQ201220249760
公开日2013年1月2日 申请日期2012年5月31日 优先权日2012年5月31日
发明者王友车, 项宗齐, 刘文海 申请人:合肥芯硕半导体有限公司