技术编号：2694357
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于光学镜头，具体涉及ー种双压电变形镜，用于光学系统中的波像差校正。背景技术变形镜是ー种可用在光学系统中进行光束控制的新型光学器件，在军事和民用市场两方面都有良好的应用前景。通常用于激光束控制的变形镜有柱状陶瓷变形镜、微机电变形镜以及双压电变形镜。柱状陶瓷变形镜由于受到作动器几何尺寸的限制，波前校正系统的空间分辨率较小，对高空间频率的波面校正能力限制，且结构复杂，制作エ艺繁琐，价格昂贵。新兴微机电变形镜是利用半导体中相对成熟的一系列加工エ艺，在微...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。