技术编号：2697002
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种光刻机水平测量装置，包括容器瓶，所述容器瓶中装有液体；容器塞，所述容器塞嵌入所述容器瓶的瓶口，所述容器塞上设有通孔；柔性导管，所述柔性导管通过所述通孔从所述容器塞中引出；所述柔性导管中有液柱；导管塞，所述导管塞设于所述柔性导管的引出端的尾部；测量装置，所述测量装置设于所述柔性导管的引出端。本发明方便用于TFT光刻机安装时的支撑脚的垂向高度差的测量，并根据支撑脚的垂向高度差对支撑脚作水平调整，测量工作简单易行，操作方便，测量精度高。专利说明[...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。