一种光刻机水平测量装置及测量方法
【专利摘要】本发明提供了一种光刻机水平测量装置，包括：容器瓶，所述容器瓶中装有液体；容器塞，所述容器塞嵌入所述容器瓶的瓶口，所述容器塞上设有通孔；柔性导管，所述柔性导管通过所述通孔从所述容器塞中引出；所述柔性导管中有液柱；导管塞，所述导管塞设于所述柔性导管的引出端的尾部；测量装置，所述测量装置设于所述柔性导管的引出端。本发明方便用于TFT光刻机安装时的支撑脚的垂向高度差的测量，并根据支撑脚的垂向高度差对支撑脚作水平调整，测量工作简单易行，操作方便，测量精度高。
【专利说明】一种光刻机水平测量装置及测量方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体领域，特别涉及一种光刻机水平测量装置及测量方法。
【背景技术】
[0002]现有技术中，每个液晶像素点都是由集成在像素点后面的薄膜晶体管(Thin FilmTransistor，简称TFT)来驱动，从而可以做到高速度、高亮度、高对比度显示屏幕信息。每个像素点都是由集成在其上的TFT来控制，是有源像素点，因此不但速度可以极大提高，而且对比度和亮度也大大提高了，同时分辨率也达到了很高的水平。
[0003]TFT技术是二十世纪九十年代发展起来的，采用新材料和新工艺的大规模半导体集成电路制造技术，是液晶、无机和有机薄膜电致发光平板显示器的基础，是现代大生产的顶尖技术。
[0004]4.5代及以上的TFT光刻机外形庞大，通常TFT光刻机主体单元长在4米以上，宽在3米以上。在TFT光刻机的过程中，TFT光刻机主体单元的调平颇有难度，因为TFT光刻机的主体单元通过几个独立的支撑脚直接固定安装在地基上，测量这几个独立的支撑脚的高度差，通常需要跨距达三四米甚至更长的大理石平尺来帮助测量，大理石平尺不仅很难找到，而且运用大理石平尺测量调整时很不方便。
【发明内容】
[0005]本发明提供了一种光刻机水平测量装置及其测量方法，解决了 TFT光刻机安装时的支撑脚的垂向高度差的测量和支撑脚的水平调整的问题。
[0006]本发明为解决其技术问题所采用的技术方案在于:
[0007]一种光刻机水平测量装置，包括:
[0008]容器瓶，所述容器瓶中装有液体；
[0009]容器塞，所述容器塞嵌入所述容器瓶的瓶口，所述容器塞上设有通孔；
[0010]柔性导管，所述柔性导管通过所述通孔从所述容器塞中引出；所述柔性导管中充有连续的液体；
[0011]导管塞，所述导管塞设于所述柔性导管的引出端的尾部；
[0012]测量装置，所述测量装置设于所述柔性导管的引出端。
[0013]在所述的光刻机水平测量装置中，所述测量装置包括:
[0014]测量基座，所述测量基座上靠近所述柔性导管的引出端的一侧刻有刻度；
[0015]设于所述测量基座上的微调旋钮、微动螺杆、微动螺母和测量指针，其中，
[0016]所述微动螺杆与所述微调旋钮连接，
[0017]所述微动螺母与所述微动螺杆连接，
[0018]所述测量指针与所述微动螺母连接，所述测量指针设于所述刻度的区域内。
[0019]在所述的光刻机水平测量装置中，所述液体是水、酒精或无毒无腐蚀不易挥发的有机液体。[0020]在所述的光刻机水平测量装置中，所述液体是带有颜色的液体。
[0021]在所述的光刻机水平测量装置中，所述柔性导管的形状为己字形。
[0022]在所述的光刻机水平测量装置中，所述柔性导管长度小于15m，管径小于10mm。
[0023]在所述的光刻机水平测量装置中，所述柔性导管与所述容器瓶的截面面积比小于1/5000。
[0024]一种光刻机水平测量方法，使用所述的光刻机水平测量装置，所述测量装置还包括:测量基座、微调旋钮，微动螺杆，微动螺母和测量指针；
[0025]光刻机水平测量方法包括以下步骤:
[0026]将所述容器瓶放置于一平台上，所述测量基座放置于光刻机的支撑脚的被测面上；
[0027]旋松所述容器塞和所述导管塞，使液体与大气相通；
[0028]旋转所述微调旋钮，所述微调旋钮带动所述微动螺杆，促使微动螺母带动测量指针；
[0029]当所述测量指针与柔性导管的内液面相切时，记录所述测量指针指向的刻度数值。
[0030]在所述的光刻机水平测量方法中，所述测量装置的数量为一个或多个。
[0031]实施本发明的一种光刻机水平测量装置及测量方法，具有以下有益效果:方便用于TFT光刻机安装时的支撑脚的垂向高度差的测量，并根据支撑脚的垂向高度差对支撑脚作水平调整，测量工作简单易行，操作方便，测量精度高。
[0032]另外，通过在光刻机的每个支撑脚的被测面上均放置测量装置，可以同时测量多个不同距离的支撑脚，操作方便。
【专利附图】
【附图说明】
[0033]下面将结合附图及实施例对本发明作进一步说明，附图中:
[0034]图1是本发明实施例的光刻机水平测量装置的结构示意图；
[0035]图2是本发明实施例的光刻机水平测量装置及测量方法的结构示意图；
[0036]图3是本发明实施例的光刻机水平测量装置及测量方法的多个应用结构示意图。
【具体实施方式】
[0037]以下结合附图和具体实施例对本发明提出的一种光刻机水平测量装置及测量方法作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
[0038]请参考图1，其为本发明实施例的光刻机水平测量装置及测量方法的结构示意图；本发明的测量装置的垂向调整精度可以根据需要调整10微米至100微米。
[0039]如图1所示，一种光刻机水平测量装置1，包括:
[0040]容器瓶3，所述容器瓶3中装有液体2 ；
[0041]容器塞4，所述容器塞4嵌入所述容器瓶3的瓶口 ；所述容器塞4上设有通孔；
[0042]柔性导管5，所述柔性导管5通过所述通孔从所述容器塞4中引出，所述柔性导管5中充有连续的液体2 ；
[0043]导管塞6，所述导管塞6安装于柔性导管5的引出端的尾部，以防止液体2的流出；
[0044]测量装置，所述测量装置设置于所述柔性导管6的引出端。
[0045]具体的，所述液体2是水、酒精或无毒无腐蚀不易挥发的有机液体。
[0046]具体的，所述液体2是带有颜色的液体，如红色，可以更清晰、便捷地看出液面的高度。
[0047]具体的，所述柔性导管5可以根据现场特点灵活地选取不同长度。所述柔性导管5的形状为己字形。
[0048]具体的，所述柔性导管5充有连续的液体2，液体2在所述柔性导管5内形成的液柱内无气泡。
[0049]具体的，所述柔性导管5长度小于15m，管径小于10mm，所述柔性导管5与所述容器瓶3的截面面积比小于1/5000，因所述截面面积比小于1/5000，即使柔性导管5内液面高度变化10mm，容器瓶3液面高度变化仅有2微米，小于10微米的测量精度，因此该误差并不会影响测量精度。因柔性导管5截面面积远小于容器瓶3的截面面积，因此柔性导管5内的液面变化对容器瓶3的液面变化基本无影响。
[0050]进一步的，所述测量装置包括:
[0051]测量基座10，所述测量基座10上靠近所述柔性导管5的引出端的一侧刻有刻度13，设于所述测量基座上的微调旋钮7、微动螺杆8、微动螺母9和测量指针12，其中，
[0052]所述微动螺杆8与所述微调旋钮7连接；
[0053]所述微动螺母9与所述微动螺杆8连接；
[0054]所述测量指针12与所述微动螺母9连接，所述测量指针12设于所述刻度13的区域内。
[0055]请参考图2，其为本发明实施例的光刻机的测量方法的结构示意图；
[0056]如图1和2所不,在一净化间的地基20上,放置了一台光刻机的基础框架19,所述基础框架19上设有第一支撑脚15、第二支撑脚16，、第三支撑脚17和第四支撑脚18，通过本发明实施例的光刻机水平测量装置1，分别根据第一支撑脚15、第二支撑脚16，、第三支撑脚17和第四支撑脚18的垂向测量数值，计算出高度差，根据高度差对第一支撑脚15、第二支撑脚16，、第三支撑脚17和第四支撑脚18进行水平修磨调整，直至高度高到同一水平位置为止。
[0057]一种光刻机的测量方法，包括以下步骤:
[0058]首先将容器瓶3放置于一稳定的平台上，容器瓶3内装有液体2，容器塞4嵌入容器瓶3的瓶口，将液体2密封在容器瓶3中，柔性导管5通过容器塞4上的通孔从容器塞4中引出，柔性导管5的引出端的尾部设有导管塞6以防止液体2的流出。特别的，当测量时，旋松容器塞4和导管塞6，使液体2与大气相通；停止测量时，拧紧容器塞4和导管塞6，使容器瓶3和软性导管5中的液体2无法流出；
[0059]然后，将测量基座10放置在第一支撑脚15的被测面上；
[0060]接着,分别旋松容器塞4和导管塞6,使液体2与大气相通；
[0061]最后，旋转微调旋钮7，所述微调旋钮7带动所述微动螺杆8，促使微动螺母9带动测量指针12 ;当所述测量指针12与柔性导管5内液面相切时，记录所述测量指针12指向的刻度13数值。
[0062]如图3所示，光刻机水平测量装置I可以根据实际工作情况，增加测量装置，测量装置的数量可以为一个或者一个以上。
[0063]通过上述结构的结合，方便用于TFT光刻机安装时的支撑脚的垂向高度差的测量，并根据支撑脚的垂向高度差对支撑脚作水平调整，测量工作简单易行，操作方便，测量精度高，进一步的，通过在光刻机的支撑脚的被测面上均放置测量装置，可以同时测量不同距离的支撑脚，操作方便。
[0064]上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。
【权利要求】
1.一种光刻机水平测量装置，其特征在于，包括: 容器瓶，所述容器瓶中装有液体； 容器塞，所述容器塞嵌入所述容器瓶的瓶口，所述容器塞上设有通孔； 柔性导管，所述柔性导管通过所述通孔从所述容器塞中引出；所述柔性导管中充有连续的液体； 导管塞，所述导管塞设于所述柔性导管的引出端的尾部； 测量装置，所述测量装置设于所述柔性导管的引出端。
2.根据权利要求1所述的光刻机水平测量装置，其特征在于，所述测量装置包括: 测量基座，所述测量基座上靠近所述柔性导管的引出端的一侧刻有刻度； 设于所述测量基座上的微调旋钮、微动螺杆、微动螺母和测量指针，其中， 所述微动螺杆与所述微调旋钮连接， 所述微动螺母与所述微动螺杆连接， 所述测量指针与所述微动螺母连接，所述测量指针设于所述刻度的区域内。
3.根据权利要求1所述的光刻机水平测量装置，其特征在于，所述液体是水、酒精或无毒无腐蚀不易挥发的有机液体。
4.根据权利要求3所述的光刻机水平测量装置，其特征在于，所述液体是带有颜色的液体。
5.根据权利要求1所述的光刻机水平测量装置，其特征在于，所述柔性导管的形状为己字形。
6.根据权利要求1所述的光刻机水平测量装置，其特征在于，所述柔性导管长度小于15m,管径小于10_。
7.根据权利要求1所述的光刻机水平测量装置，其特征在于，所述柔性导管与所述容器瓶的截面面积比小于1/5000。
8.一种光刻机水平测量方法，使用如权利要求1所述的光刻机水平测量装置，其特征在于，所述测量装置还包括:测量基座、微调旋钮，微动螺杆，微动螺母和测量指针； 光刻机水平测量方法包括以下步骤: 将所述容器瓶放置于一平台上，所述测量基座放置于光刻机的支撑脚的被测面上； 旋松所述容器塞和所述导管塞，使液体与大气相通； 旋转所述微调旋钮，所述微调旋钮带动所述微动螺杆，促使微动螺母带动测量指针； 当所述测量指针与柔性导管的内液面相切时，记录所述测量指针指向的刻度数值。
9.根据权利要求8所述的光刻机水平测量方法，其特征在于，所述测量装置的数量为一个或多个。
【文档编号】G03F7/20GK103809383SQ201210451764
【公开日】2014年5月21日 申请日期:2012年11月12日 优先权日:2012年11月12日
【发明者】王天明 申请人:上海微电子装备有限公司