技术编号：26975014
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及集成电路生产制造技术领域，尤其涉及一种更换制程材料防呆装置及防呆系统。背景技术.在集成电路生产制造流程中，黄光制程是其中非常关键的制程之一。黄光制程中最重要的制程材料就是光阻。目前，在光阻更换作业过程中，都是靠人去做一些确认及核对的动作，人员熟练度，训练程度等都存在个体差异，经常出现人为疏忽及错误操作而引起更换异常发生。因为机台的空间局限，制程材料安放位置相近，操作时易混淆，更换时会换错，且多种制程材料名称相近，人员领用极易出错，光阻一旦换错，很难及时发现；待后续制程数据出现...
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