一种更换制程材料的防呆装置及防呆系统的制作方法

1.本实用新型涉及集成电路生产制造技术领域，尤其涉及一种更换制程材料防呆装置及防呆系统。


背景技术：

2.在集成电路生产制造流程中，黄光制程是其中非常关键的制程之一。黄光制程中最重要的制程材料就是光阻。目前，在光阻更换作业过程中，都是靠人去做一些确认及核对的动作，人员熟练度，训练程度等都存在个体差异，经常出现人为疏忽及错误操作而引起更换异常发生。因为机台的空间局限，制程材料安放位置相近，操作时易混淆，更换时会换错，且多种制程材料名称相近，人员领用极易出错，光阻一旦换错，很难及时发现；待后续制程数据出现异常警示就为时已晚，造成大量报废。


技术实现要素：

3.本实用新型主要是解决现有技术中所存在的技术问题，从而提供一种不易混淆、更换流程安全高、作业效率高的更换制程材料的防呆装置及防呆系统。
4.本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：
5.本实用新型提供的更换制程材料的防呆装置，设置在机台的管路和料瓶之间，所述制程材料放置在料瓶中，所述防呆装置包括：
6.管路固定器，固定在机台的管路端口位置处；
7.旋转接头，旋转设置在所述管路固定器的底部，所述旋转接头的位置与所述料瓶的顶部位置相对应；
8.防呆驱动机构，设置在所述旋转接头上，所述防呆驱动机构具有伸出位和缩回位，当所述防呆驱动机构处于伸出位时，所述防呆驱动机构与所述料瓶相配合卡紧；当所述防呆驱动机构处于缩回位时，所述防呆驱动机构与所述料瓶相互分离。
9.进一步地，所述管路固定器与所述旋转接头之间设置有管路高度调节器，所述管路高度调节器用于调节所述管路固定器与所述旋转接头之间的间距。
10.进一步地，所述防呆驱动机构包括固定块、气缸、限位卡套和弹簧，所述固定块固定在所述旋转接头的侧壁上，所述气缸竖直地设置在所述固定块内，所述气缸的活塞杆竖直向下延伸并与所述限位卡套相连接，所述弹簧设置在所述气缸的底部与所述活塞杆之间。
11.进一步地，当所述防呆驱动机构处于缩回位时，所述限位卡套缩回至所述固定块的内部，当所述防呆驱动机构处于伸出位时，所述限位卡套伸出至所述固定块的外部，并与所述料瓶相配合卡紧。
12.进一步地，所述料瓶为加仑瓶，所述加仑瓶的上部侧壁处设有把手，当所述防呆驱动机构处于伸出位时，所述限位卡套与所述把手相配合。
13.进一步地，所述制程材料为光阻。
14.本实用新型提供的更换制程材料的防呆系统，其包括：
15.多个管收发器，对应地安装在机台的管路上，所述管收发器接收对应的所述管路内制程材料的状态信号，且所述管收发器还发出反馈信号；
16.信号处理单元，与所述管收发器相连接，所述信号处理单元接收所述管收发器发出的反馈信号后，发出控制信号至驱动控制单元；
17.驱动控制单元，与所述信号处理单元相连接，所述驱动控制单元根据所述控制信号驱动所述防呆驱动机构运动至缩回位或伸出位。
18.进一步地，所述驱动控制单元包括压缩空气气源和电磁阀，所述压缩空气气源经所述电磁阀与所述防呆驱动机构相连接，所述电磁阀与所述信号处理单元相连接，所述信号处理单元控制所述电磁阀打开或关闭，当所述电磁阀处于打开状态时，所述防呆驱动机构与压缩空气气源相连通，所述防呆驱动机构运动至缩回位；当所述电磁阀处于关闭状态时，所述防呆驱动机构与压缩空气气源相断开，所述防呆驱动机构运动至伸出位。
19.进一步地，所述电磁阀与所述防呆驱动机构的气缸之间还经调速阀相连接。
20.进一步地，所述信号处理单元与报警器相连接。
21.本实用新型的有益效果在于：当制程材料需要更换时，防呆驱动机构运动至缩回位，防呆驱动机构与料瓶相互分离，此时，可以取出料瓶进行制程材料的更换，而处于正常工作状态时，防呆驱动机构处于伸出位，防呆驱动机构与料瓶相配合卡紧，料瓶无法被自由取出，从而使实用新型实现了制程材料更换的系统化自动防呆，减少了人工作业干预，提高了制程材料的更换作业质量，其不仅更换流程更安全，避免了产品发生异常及报废，而且减少了人员作业时间，提升作业效率。
附图说明
22.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
23.图1是本实用新型的更换制程材料的防呆装置的主视图；
24.图2是本实用新型的更换制程材料的防呆装置的侧视图；
25.图3是本实用新型的更换制程材料的防呆装置的俯视图；
26.图4是本实用新型的更换制程材料的防呆装置的料瓶的结构示意图；
27.图5是本实用新型的更换制程材料的防呆装置的防呆驱动机构处于缩回位的状态图；
28.图6是本实用新型的更换制程材料的防呆装置的防呆驱动机构处于伸出位的状态图；
29.图7是本实用新型的更换制程材料的防呆系统的原理框图；
30.图8是本实用新型的更换制程材料的防呆系统的驱动控制单元的原理框图。
具体实施方式
31.下面结合附图对本实用新型的优选实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点
和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
32.需要说明的是，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
33.参阅图1
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6所示，本实用新型的更换制程材料的防呆装置，设置在机台的管路和料瓶之间，所述制程材料放置在料瓶中，所述防呆装置包括：
34.管路固定器1，固定在机台的管路端口位置处；
35.旋转接头2，旋转设置在所述管路固定器1的底部，所述旋转接头2的位置与所述料瓶3的顶部位置相对应；
36.防呆驱动机构4，设置在所述旋转接头2上，所述防呆驱动机构4具有伸出位和缩回位，当所述防呆驱动机构4处于伸出位时，所述防呆驱动机构4与所述料瓶3相配合卡紧；当所述防呆驱动机构4处于缩回位时，所述防呆驱动机构4与所述料瓶3相互分离。
37.本实用新型中，当制程材料需要更换时，防呆驱动机构4运动至缩回位，防呆驱动机构4与料瓶3相互分离，此时，可以取出料瓶3进行制程材料的更换，而处于正常工作状态时，防呆驱动机构4处于伸出位，防呆驱动机构4与料瓶3相配合卡紧，料瓶3无法被自由取出，从而使实用新型实现了制程材料更换的系统化自动防呆，减少了人工作业干预，提高了制程材料的更换作业质量，其不仅更换流程更安全，避免了产品发生异常及报废，而且减少了人员作业时间，提升作业效率。
38.在本实用新型的一实施例中，所述管路固定器1与所述旋转接头2之间设置有管路高度调节器5，所述管路高度调节器5可调节所述管路固定器1与所述旋转接头2之间的间距。本实用新型的所述管路高度调节器5能适用于管路与料瓶3之间的不同间距，从而能扩大其使用范围。可选地，高度调节器5可为伸缩管等具有高度调节功能的零件或结构。
39.具体地，所述防呆驱动机构4包括固定块41、气缸42、限位卡套43和弹簧44，所述固定块41固定在所述旋转接头2的侧壁上，所述气缸42竖直地设置在所述固定块41内，所述气缸42的活塞杆竖直向下延伸并与所述限位卡套43相连接，所述弹簧44设置在所述气缸42的底部与所述活塞杆之间，当所述防呆驱动机构4处于缩回位时，所述限位卡套43缩回至所述固定块41的内部，当所述防呆驱动机构4处于伸出位时，所述限位卡套43伸出至所述固定块41的外部，并与所述料瓶3相配合卡紧。本实用新型中，当气缸42内不通入压缩空气，在弹簧44的弹力作用下，活塞杆带动限位卡套43向下移动卡紧所述料瓶3；当气缸42内通入压缩空气，活塞杆可以克服弹簧44的弹力，从而带动限位卡套43向上移动与所述料瓶3相分离。
40.本实用新型中，同一机台同时只能有一只管路可进行更换作业，其他管路接头不会被开启，这样可以避免换错风险发生。
41.参阅图4所示，可选地，所述料瓶为加仑瓶，所述加仑瓶的上部侧壁处设有把手6，当所述防呆驱动机构4处于伸出位时，所述限位卡套43与所述把手6相配合。本实用新型的一个实施例中，限位卡套43的形状为n型，n型的限位卡套43可以自上而下卡紧在把手6的顶部和左右侧壁上。
42.可选地，本实用新型中的所述制程材料为光阻。
43.参阅图7
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8所示，本实用新型的更换制程材料的防呆系统，其包括：
44.多个管收发器7，对应地安装在机台的管路上，所述管收发器7接收对应的所述管路内制程材料的状态信号，且所述管收发器7还发出反馈信号；所述管收发器7可以为rfid传感器或wifi传感器等同类传感器。所述管路的状态信号可包括管路内制程材料是否处于充足状态等，管收发器7会根据不同的状态发出反馈信号至信号处理单元8。
45.信号处理单元8，与所述管收发器7相连接，所述信号处理单元8接收所述管收发器7发出的反馈信号后，发出控制信号至驱动控制单元9；其中，所述信号处理单元8可以为微控制器或单片机、plc、dsp中的一种或多种。
46.驱动控制单元9，与所述信号处理单元8相连接，所述驱动控制单元9根据所述控制信号驱动所述防呆驱动机构4运动至缩回位或伸出位。
47.本实用新型一实施例中，所述驱动控制单元9包括压缩空气气源91和电磁阀92，所述压缩空气气源91经所述电磁阀92与所述防呆驱动机构4相连接，所述电磁阀92与所述信号处理单元8相连接，所述信号处理单元8控制所述电磁阀92打开或关闭，当所述电磁阀92处于打开状态时，所述防呆驱动机构4与压缩空气气源91相连通，所述防呆驱动机构4运动至缩回位；当所述电磁阀92处于关闭状态时，所述防呆驱动机构4与压缩空气气源91相断开，所述防呆驱动机构4运动至伸出位。具体地，电磁阀92可以为二位三通常闭电磁阀，当需要更换制程材料时，所述信号处理单元8会根据相应地址码，驱动对应的管路的二位三通常闭电磁阀动作，接通压缩空气气源91，驱动气缸42的活塞杆向上移动，带动限位卡套43向上移动与所述料瓶3相分离。
48.参阅图8所示，本实用新型中，为了调节防呆驱动机构4中，气缸42的活塞杆的移动速度，提高使用的安全性，所述电磁阀92与所述防呆驱动机构4的气缸42之间还经调速阀10相连接。
49.可选地，所述信号处理单元8与报警器11相连接。当更换制程材料时，系统会比对更换信息是否正确，若信息比对失败则会通过报警器11进行报警，且不会开启更换制程材料的防呆装置。
50.本实用新型的更换制程材料的防呆管理系统，包括：
51.机台管理单元，所述机台管理单元与机台的管路相连接，机台管理单元对所述管路的名称、地址码等进行设定，所述机台管理模块还可定义相应的所述管路的制程材料的名称；
52.料号设定单元，所述料号设定单元能设定新增制程材料的料号及相关信息，并且，还能设定所述制程材料的属性；
53.更换记录单元，所述更换记录单元可接收来自资料收集器的更换记录信息，并且，还可以将所述更换记录信息与预设的信息进行对比；
54.报废管理单元，所述报废管理单元可记录管理所述机台的制程材料的报废信息；
55.用量记录单元，所述用量记录单元可实时统计各制程材料的消耗量；
56.机台查询单元，所述机台查询单元可查询各机台的制程材料的配置；
57.过期管理单元，所述过期管理单元可监控所述机台的制程材料的使用期限；如：过期制程材料(光阻)提前2天邮件提醒；
58.filter管理单元，所述filter管理单元可以监控所述机台的filter使用时效；如:过期前90天邮件提醒等；
59.系统管理单元，所述系统管理单元可以对系统管理员进行设定，还可以管理使用者的使用权限；
60.批号管理单元，所述批号管理单元能对所述制程材料的进料检异常批次进行管理。
61.本实用新型的工作过程如下：
62.1)、机台报警提示更换制程材料；
63.2)、更换信息同步发送至更换制程材料的防呆管理系统；
64.3)、更换制程材料的防呆管理系统显示报警机台、管路、制程材料名称、制程材料存放位置；
65.4)、作业员至指定储位领取制程材料并除帐；
66.5)、使用资料收集器刷取制程材料本身标签和机台端标签信息，更换制程材料的防呆管理系统完成比对，并判定比对结果；
67.6)、比对结果判定一致，则更换制程材料的防呆装置开启，执行更换作业，接着，确认更换完成，更换制程材料的防呆装置锁定，作业结束；
68.7)、比对结果判定不一致，则报警器报警，发送信息通知工程师，更换制程材料的防呆装置不开启。
69.以上，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。