技术特征：
1.一种更换制程材料的防呆装置，设置在机台的管路和料瓶之间，所述制程材料放置在料瓶中，其特征在于，所述防呆装置包括：管路固定器，固定在机台的管路端口位置处；旋转接头，旋转设置在所述管路固定器的底部，所述旋转接头的位置与所述料瓶的顶部位置相对应；防呆驱动机构，设置在所述旋转接头上，所述防呆驱动机构具有伸出位和缩回位，当所述防呆驱动机构处于伸出位时，所述防呆驱动机构与所述料瓶相配合卡紧；当所述防呆驱动机构处于缩回位时，所述防呆驱动机构与所述料瓶相互分离。2.如权利要求1所述的更换制程材料的防呆装置，其特征在于，所述管路固定器与所述旋转接头之间设置有管路高度调节器，所述管路高度调节器用于调节所述管路固定器与所述旋转接头之间的间距。3.如权利要求2所述的更换制程材料的防呆装置，其特征在于，所述防呆驱动机构包括固定块、气缸、限位卡套和弹簧，所述固定块固定在所述旋转接头的侧壁上，所述气缸竖直地设置在所述固定块内，所述气缸的活塞杆竖直向下延伸并与所述限位卡套相连接，所述弹簧设置在所述气缸的底部与所述活塞杆之间。4.如权利要求3所述的更换制程材料的防呆装置，其特征在于，当所述防呆驱动机构处于缩回位时，所述限位卡套缩回至所述固定块的内部，当所述防呆驱动机构处于伸出位时，所述限位卡套伸出至所述固定块的外部，并与所述料瓶相配合卡紧。5.如权利要求4所述的更换制程材料的防呆装置，其特征在于，所述料瓶为加仑瓶，所述加仑瓶的上部侧壁处设有把手，当所述防呆驱动机构处于伸出位时，所述限位卡套与所述把手相配合。6.如权利要求1
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5任一项所述的更换制程材料的防呆装置，其特征在于，所述制程材料为光阻。7.一种采用如权利要求1
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5任一项所述的更换制程材料的防呆装置的防呆系统，其特征在于，包括：多个管收发器，对应地安装在机台的管路上，所述管收发器接收对应的所述管路内制程材料的状态信号，且所述管收发器还发出反馈信号；信号处理单元，与所述管收发器相连接，所述信号处理单元接收所述管收发器发出的反馈信号后，发出控制信号至驱动控制单元；驱动控制单元，与所述信号处理单元相连接，所述驱动控制单元根据所述控制信号驱动所述防呆驱动机构运动至缩回位或伸出位。8.如权利要求7所述的更换制程材料的防呆系统，其特征在于，所述驱动控制单元包括压缩空气气源和电磁阀，所述压缩空气气源经所述电磁阀与所述防呆驱动机构相连接，所述电磁阀与所述信号处理单元相连接，所述信号处理单元控制所述电磁阀打开或关闭，当所述电磁阀处于打开状态时，所述防呆驱动机构与压缩空气气源相连通，所述防呆驱动机构运动至缩回位；当所述电磁阀处于关闭状态时，所述防呆驱动机构与压缩空气气源相断开，所述防呆驱动机构运动至伸出位。9.如权利要求8所述的更换制程材料的防呆系统，其特征在于，所述电磁阀与所述防呆驱动机构的气缸之间还经调速阀相连接。
10.如权利要求7
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9任一项所述的更换制程材料的防呆系统，其特征在于，所述信号处理单元与报警器相连接。
技术总结
本实用新型公开了一种更换制程材料的防呆装置及防呆系统，该防呆装置包括管路固定器，固定在机台的管路端口位置处；旋转接头，旋转设置在所述管路固定器的底部，所述旋转接头的位置与所述料瓶的顶部位置相对应；防呆驱动机构，设置在所述旋转接头上，所述防呆驱动机构具有伸出位和缩回位，当所述防呆驱动机构处于伸出位时，所述防呆驱动机构与所述料瓶相配合卡紧；当所述防呆驱动机构处于缩回位时，所述防呆驱动机构与所述料瓶相互分离。本实用新型实现了制程材料更换的系统化自动防呆，减少了人工作业干预，提高了制程材料的更换作业质量，其不仅更换流程更安全，避免了产品发生异常及报废，而且减少了人员作业时间，提升作业效率。效率。效率。
技术研发人员：秦典昇 李林
受保护的技术使用者：合肥晶合集成电路股份有限公司
技术研发日：2021.01.19
技术公布日：2021/10/15