技术编号：2703919
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种集成光学透镜检测器针孔，包括透镜本体和通光体，所述通光体上具有通光孔，所述通光体设置于透镜本体内部，且所述通光体上表面与透镜本体的上表面平行。以改进现有技术中集成光学透镜检测器针孔的结构，以避免了集成光学透镜检测器针孔中产生SiO2等堆积物对投影透镜波面检测造成影响，从而提高了集成光学透镜检测器的波面检测的准确性。专利说明集成光学透镜检测器针孔及集成光学透镜检测器[0001]本发明涉及一种光刻机透镜波面检测装置，尤其涉及集成光学透镜检测器针孔...
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