技术编号：2706432
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于驱动微反射镜的方法和装置，所述微反射镜用于微光刻投射曝光设备的照明系统中，从而影响投射光的照明角度分布。背景技术最近已设想对微光刻投射曝光设备的照明系统使用包括多个可单独驱动的微反射镜的所谓的多反射镜阵列(MMAs，也称为微反射镜阵列或微反射镜矩阵)，从而使照明系统的投射光的单独的子光束(sub-beam)朝不同方向分离。借助于微反射镜，例如，投射光的各个子光束可因此被指引到照明系统的光瞳表面的不同位置。由于照明系统的光瞳表面中的强度分布关键...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。