专利名称：驱动微反射镜的方法和装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于驱动微反射镜的方法和装置，所述微反射镜用于微光刻投射曝光设备的照明系统中，从而影响投射光的照明角度分布。
背景技术：
最近已设想对微光刻投射曝光设备的照明系统使用包括多个可单独驱动的微反射镜的所谓的多反射镜阵列(MMAs，也称为微反射镜阵列或微反射镜矩阵)，从而使照明系统的投射光的单独的子光束(sub-beam)朝不同方向分离。借助于微反射镜，例如，投射光的各个子光束可因此被指引到照明系统的光瞳表面的不同位置。由于照明系统的光瞳表面中的强度分布关键性地影响投射光的照明角度分布，因此照明角度分布由于微反射镜的可单独驱动性而可被规定得更加灵活。尤其对于在光瞳表面中照明环形区域或多极的所谓非传统的照明设置，MMAs的使用能够使照明角度分布适应于各个情况，且尤其适应于要被投射的掩模，而例如不需要替换衍射光学元件。诸如半导体技术已知的，这样的MMAs通常通过光刻方法被制造为微机电系统 (MEMS)。典型的结构尺寸有时为几微米。这样的系统的已知示例例如为，其微反射镜可关于两端位置之间的轴被数字化倾斜MMAs。这样的数字MMAs通常用于显示图像或影像的数字投影仪中。然而为了在微光刻投射曝光设备的照明系统中使用，MMAs的微反射镜应该能够准连续地采用工作角度范围内的每个倾斜角度。具体地，微反射镜应该关于两个倾斜轴为可倾斜的。因此，例如存在已知的微反射镜，该微反射镜的反射镜表面以通用悬挂的方式被安装，且可借助于驱动器关于两个倾斜轴被倾斜。驱动器例如可被构造为静电或电磁驱动器。 在已知的具有静电驱动器的布置中，具有两个倾斜轴的微反射镜被安装在四个控制电极之上并且在其背侧具有配位电极或反射镜电极。当电压被施加到控制电极与配位电极之间时，在它们之间由于静电吸引产生引力作用。依据被驱动的电极，每个倾斜轴被分配两个相对的控制电极，且微反射镜可朝一个方向或其它方向倾斜。通过关于两个倾斜轴倾斜的各种组合，反射镜可倾斜进入工作角度范围内的任何位置。为了驱动单独的驱动器，每个驱动器需要其自己的电压或电流供应线以及与之连接的驱动电路。为了减小费用以及实现MMAs中的微反射镜的最大的高排列密度，US 2003/0189389因此提出一种采用三个驱动器的系统。然而由于当采用三个驱动器时单独的驱动器的驱动不再独立地按单个倾斜轴动作，采用一种方法，通过该方法可从关于两个倾斜轴倾斜的两个控制变量确定驱动器的三个控制信号。在此方法中，通过采用线性方程系统，从两个控制变量计算得到三个控制信号。方程系统的解集被各种限制条件限制。例如， 此转换的一个要求在于两个控制变量分别引起关于彼此独立的相关倾斜轴的倾斜。另一限制条件在于由三个驱动器施加到微反射镜上的总力要保持为常数。由于微光刻投射曝光设备的照明系统中的微反射镜的使用对反射镜对准的准确性提出非常多的需要，因此，在此系统中，为驱动器提供可变的控制信号的信号放大器，诸如高压输出级，也必须在信号稳定性以及可重复性方面满足最严格的要求。
发明内容
因此，本发明的目的是提供用于驱动微反射镜的方法和装置，借助于该方法和装置用于驱动微反射镜的驱动器的费用可被进一步降低。关于方法，根据本发明通过提供微反射镜阵列实现此目的，微反射镜阵列布置于微光刻透射曝光设备的照明系统中且包括微反射镜。微反射镜可关于两个倾斜轴通过各倾斜角度倾斜。微反射镜此外被分配有三个驱动器，该三个驱动器可通过控制信号被分别驱动，从而使得微反射镜关于两个倾斜轴倾斜。两个控制变量随后被规定，每个被分配给一个倾斜轴且其两者被分配给未被干扰倾斜角度。接着，对于两个控制变量的任何希望的组合，根据两个控制变量，三个驱动器中的一个被选择且其控制信号被设为常数值，具体地为 0。控制信号随后被确定，使得当控制信号被施加到其它两个驱动器时，微反射镜根据两个控制变量采用未被干扰倾斜角度。最后，控制信号被施加到驱动器。因此，根据本发明，对于可通过三个驱动器关于两个倾斜轴倾斜的微反射镜，选择将被分配给关于倾斜轴的倾斜角度的两个控制变量转换成三个控制信号，使得在每种情况下驱动器中的一个接收设为0或至少设为常数的控制信号。这样，为了驱动特定的倾斜角度组合，分别仅需要两个信号放大器，该两个信号放大器产生对应改变的控制信号并将它们施加到其它两个驱动器。其控制信号被设为常数(具体地被设为0)的驱动器例如通过简单的多路电路可被设为预定值。此预定值通过信号放大器可被选择为对微反射镜阵列的微反射镜的所有组均相等，使得对于每个单独的微反射镜总共需要小于三个的信号放大器。控制变量被优选线性分配为未被干扰倾斜角度，这是因为经由三个驱动器的微反射镜的驱动通过这样的分配就在先步骤而言(例如控制和调节算法)更加简单。其控制信号被设为常数值(具体地被设为0)的驱动器可被选择，通过将具有方向的二维控制变量向量分配给两个控制变量，该两个控制变量被分配到关于两个倾斜轴的未被干扰的倾斜角度。有效倾斜向量被进一步分配给每个单独的驱动器，且随后驱动器被选择，该驱动器的有效倾斜向量的方向与控制变量向量的方向不直接相邻。这使得可以将二维控制变量向量表示为两个直接相邻的有效倾斜向量的线性组合。不直接相邻的并且具有与控制变量向量相反的分量的有效倾斜向量因此从线性组合被去除。不直接相邻的有效倾斜向量的方向也旨在包括其中控制变量向量和有效倾斜向量相符且驱动器的控制信号均因此被设为0的情况。驱动器的前述有效倾斜向量在此情况下由控制变量获得，该控制变量被分配给当仅此驱动器被驱动时微反射镜采用的未被干扰的倾斜角度。有效倾斜向量因此表示每个单独的驱动器影响微反射镜的倾斜的方式，即，如何烈地影响以及在哪个方向上影响。替代由设计数据确定有效倾斜向量，通过测量确定有效倾斜向量是有利的。制造微反射镜以及各分配的驱动器时的制造公差将由此被考虑。在前述方法中，控制变量向量以及有效倾斜向量的方向优选根据下式确定
权利要求
1.一种驱动微反射镜04)的方法，包括下面的步骤a)提供微反射镜阵列(22)，其布置于微光刻投射曝光设备的照明系统(10)中且包括所述微反射镜(M)，所述微反射镜04)可关于两个倾斜轴(χ、y)通过各倾斜角度(αχ、 ay)倾斜，且所述微反射镜04)被分配三个驱动器(Ei、E2、E3)，所述三个驱动器(Ei、E2、E3) 可通过控制信号(U1W2W3)被分别驱动，从而使得所述微反射镜04)关于所述两个倾斜轴 (x、y)倾斜；b)规定两个控制变量(S(ix、SGy)，其每个被分配给一个倾斜轴(χ、y)且其两者被分配给未被干扰的倾斜角度(ax、ay)；c)对于所述两个控制变量(S(;x、SGy)的任何希望的组合，根据所述两个控制变量(S(ix、 SGy)，选择所述三个驱动器中的一个驱动器(E1)并将其控制信号(U1)设为常数值，具体地 O ；d)确定所述控制信号(Up队、U3)，使得当所述控制信号(u”％、u3)被施加到其它两个驱动器(E2、E3)时，所述微反射镜04)根据所述两个控制变量(S(ix、SGy)采用所述未被干扰倾斜角度；e)将所述控制信号(UpU2、U3)施加到所述驱动器(Ei、E2、E3)。
2.根据权利要求1的所述方法，其特征在于所述控制变量(S(ix、SGy)被线性分配给所述未被干扰的倾斜角度(a x、a y)。
3.根据权利要求1或2的所述方法，其特征在于通过将具有方向(θ)的二维控制变量向量(SGV)分配给所述两个控制变量(S(ix、SGy)，所述两个控制变量(SGx、SGy)被分配给关于所述两个倾斜轴(x、y)的所述未被干扰的倾斜角度(ax、a y)，将有效倾斜向量(W1，W2， w3)分配给每个单独的驱动器(Ep E2、&)，随后选择所述驱动器(E1),所述驱动器(E1)的有效倾斜向量(W1)的方向(θ )与所述控制变量向量(SGV)的方向(θ )不直接相邻，从而在步骤c)中选择其控制信号(U1)被设为常数，具体地被设为O的驱动器(E1)，。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于所述驱动器(E1^yE3)的所述有效倾斜向量(wi，w2，w3)从所述控制变量(S(ix、SGy)获得，所述控制变量(S(ix、SGy)被分配给当仅此驱动器(Ei、E2、E3)被驱动时所述微反射镜04)采用的所述未被干扰的倾斜角度(ax、ay)。
5.根据权利要求3或4所述的方法，其特征在于所述有效倾斜向量(wi，w2，w3)通过测量确定。
6.根据权利要求3至5的任一项所述的方法，其特征在于所述控制变量向量(SGV)以及所述有效倾斜向量(Wl，W2，W3)的方向根据下式被确定
7.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其特征在于所述驱动器(E1^pE3)以三重对称性被布置。
8.根据权利要求6以及根据权利要求7所述的方法，其特征在于第一驱动器(E1)的所述有效倾斜向量(W1)的方向与第二驱动器(E2)的有效倾斜向量(W2)的方向在排列角度φ内一致，所述第二驱动器(E2)的有效倾斜向量(W2)与所述第一驱动器(E1)的所述有效倾斜向量(W1)实质上成120°，所述第三驱动器(E3)的有效倾斜向量(W3)与所述第二驱动器 (E2)的所述有效倾斜向量(W2)实质上成120°，其特征还在于所述控制变量向量(SGV)的方向θ被确定，且随后所述第三驱动器(E3)被选择θε[φ,120°+φ],所述第一驱动器(E1) 被选择Θ6[120°+φ,240°+φ],且所述第二驱动器(E2)随后被选择相[240°+φ,360°+φ]。
9.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其特征在于在步骤b)中通过控制算法 (62)、调节算法(58)或组合的控制和调节算法(54)由设置点倾斜角度确定所述两个控制变量(S(ix、SGy)。
10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于规定目标倾斜角度以及包括一系列的设置点倾斜角度的轨迹，所述轨迹表示实际倾斜角度向所述目标倾斜角度的转变，微反射镜瞬时通过所述实际倾斜角度倾斜。
11.根据权利要求9或10所述的方法，其特征在于当确定所述设置点倾斜角度时考虑校准数据。
12.根据权利要求9至11中的任一项所述的方法，其特征在于所述两个控制变量(S(ix、 SGy)通过所述调节算法(58)被规定或由此被修正，所述调节算法(58)接收调节差异，所述调节差异由所述设置点倾斜角度以及监控系统(60)测得的所述实际倾斜角度的负反馈确定，微反射镜瞬时通过所述实际倾斜角度倾斜。
13.根据权利要求9至12中的任一项所述的方法，其特征在于通过借助于采用反向系统动力学模型的预测控制算法(6 将所述两个控制变量(S(;x、SGy)分配给所述设置点倾斜角度，从而所述两个控制变量(S(ix、SGy)被规定。
14.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其特征在于在步骤c)和d)中包括下面的步骤根据分配表，对于给定控制变量(SGx、SGy)，确定所述控制信号(UpU2、U3)。
15.根据权利要求14所述的方法，其特征在于通过将各控制信号(U1W2W3)施加到所述驱动器(Ep E2、E3),测量因此导致的所述倾斜角度(ax、ay)并随后将所述两个控制变量(S(;x、SGy)线性分配给所述导致的倾斜角度(ax、ay)，当所述控制信号(UpU2、U3)被施加时，一个控制信号(U1W2W3)被分别保持为常数，具体地0，从而所述两个控制变量(S(ix、 SGy)与所述三个控制信号(Ui、％、U3)之间的所述分配表在参数化阶段被编译。
16.根据权利要求1至13中的任一项所述的方法，其特征在于在步骤c)和d)中包括下面的步骤借助于使用参数向量的计算法则，对给定的控制变量(S(;x、SGy)确定控制信号。
17.根据权利要求16所述的方法，其特征在于通过从倾斜角度(ax、ay)与所述三个驱动器(Ei、E2、&)的所述控制信号(UpU2、U3)之间的至少3个分配的估算，从而所述参数向量在参数化阶段被确定，通过将各控制信号(Ui、％、U3)施加到驱动器(Ei、E2、E3)并且测量由此导致的倾斜角度(ax、a y)，从而确定所述至少3个分配。
18.一种用于驱动微反射镜04)的方法，具有下面的步骤a)提供微反射镜阵列(22)，所述微反射镜阵列0 被布置在微光刻透射曝光设备的照明系统(10)中并且包括所述微反射镜(M)，所述微反射镜04)可关于两个倾斜轴(χ、 y)通过各个倾斜角度(ax、Ciy)倾斜，且所述微反射镜04)被分配三个驱动器(E1A2A3)，所述三个驱动器(Ei、E2、E3)可通过控制信号(UpU2、U3)被分别驱动，从而使得所述微反射镜04)关于所述两个倾斜轴(x、y)倾斜；b)通过激活和测量所述微反射镜04)的多个倾斜角度(ax、ay)以及存储为此施加到所述三个驱动器(EpE2^3)的所述控制信号(Ui、U2、U3)，编译所述倾斜角度(ax、ay)与所述三个驱动器(EpE^K)的所述控制信号(Ui、U2、U3)之间的分配表；c)规定两个控制变量(S(ix、SGy)，每个控制变量被分配给一个倾斜轴(x、y)，且其两者被线性分配给所述未被干扰的倾斜角度(ax、Ciy)；d)通过根据步骤c)中的分配，将所述两个控制变量(S(;x、SGy)线性分配给所述分配表的所述倾斜角度(α χ、α y)并且从所述分配表读出分配给这些倾斜角度(α χ、α y)的所述控制信号(Up U2、U3)，确定导致所述微反射镜(24)倾斜通过所述未被干扰的倾斜角度(αχ、 ay)的控制信号(U1、U2、U3)；e)施加所述控制信号(HU3)到所述驱动器(E1,E2, E3) 0
19.一种用于驱动微反射镜04)的方法，具有下面的步骤a)提供微反射镜阵列(22)，所述微反射镜阵列0 被布置在微光刻透射曝光设备的照明系统(10)中并且包括所述微反射镜(M)，所述微反射镜04)可关于两个倾斜轴(χ、 y)通过各倾斜角度(ax、ay)倾斜，且所述微反射镜04)被分配三个驱动器(Ep E2, E3), 所述三个驱动器(Ei、E2、E3)可通过控制信号(UpU2、U3)被分别驱动，从而使得所述微反射镜04)关于所述两个倾斜轴(x、y)倾斜；b)通过激活和测量所述微反射镜04)的各倾斜角度(ax、ay)以及为此施加到所述三个驱动器(E1A2A3)的所述控制信号(Ui、U2、U3)，确定所述倾斜角度(ax、ay)与所述三个驱动器(Ei、E2、&)的所述控制信号(UpU2、U3)之间的至少3个分配；c)根据步骤b)中获得的所述分配，估算参数向量；d)规定两个控制变量(S(ix、SGy)，每个控制变量被分配给一个倾斜轴(x、y)；e)借助于使用所述估算的参数向量的计算法则，对给定确定控制变量(S(ix、SGy)，确定所述控制信号(U1、U2、U3)；f)施加所述控制信号(HU3)到所述驱动器(E1,E2, E3) 0
20.根据权利要求17和19中的任一项所述的方法，其特征在于所述参数向量通过最小二乘估算器被估算。
21.根据前述权利要求中的一项所述的方法，其特征在于所述微反射镜04)可分别采用至少3个关于所述倾斜轴(x、y)的不同的倾斜角度(ax、ay)。
22.一种用于驱动微反射镜04)的驱动电子装置(39)，所述微反射镜04)包含在所述微反射镜阵列02)中，所述微反射镜阵列布置在微光刻透射曝光设备的照明系统(10) 中，所述微反射镜04)具有两个倾斜轴(x、y)且三个驱动器(E1A2A3)被分配到所述微反射镜(M)，从而使得所述微反射镜04)关于所述两个倾斜轴(x、y)倾斜，且所述驱动电子装置(39)包括a)转换器(46)，具有控制变量(S(;x、SGy)的输入，所述控制变量(S(;x、SGy)被分配给关于所述两个倾斜轴(x、y)的未被干扰的倾斜角度(ax、ay)，b)两个信号放大器(50、52)，其可通过所述转换器06)被控制，以及c)切换单元(48)，通过所述切换单元(48)，控制信号(U1AyU3)可被施加到所述三个驱动器(E^E^K)，其特征在于，d)根据施加到所述转换器G6)的输入的所述控制变量(S(ix、SGy)，所述三个驱动器 (E1, E2, E3)中的一个驱动器的所述控制信号(UpU2、U3)可借助于所述转换器G6)以及所述切换单元G8)可被设为常数值，具体地0，以及e)所述其它两个控制信号(UpU2、U3)可借助于所述转换器G6)、所述切换单元08)以及所述两个信号放大器(50、5幻被施加到所述驱动器(Ep氏、&)，使得所述微反射镜04) 采用所述未被干扰的倾斜角度(α x、Ciy)，关于所述两个倾斜轴(x、y)的所述未被干扰的倾斜角度(α χ、α y)分配给所述控制变量(S(ix、SGy)。
23.根据权利要求22所述的驱动电子装置(39)，其特征在于所述转换器06)的控制变量(S(ix、SGy)的输入连接到控制系统(62)、调节系统(58)或组合的控制和调节系统 (M)，通过所述控制系统(6 、所述调节系统(58)或所述组合的控制和调节系统(54)可由设置点倾斜角度确定所述控制变量(S(ix、SGy)。
24.根据权利要求22或23所述的驱动电子装置(39)，其特征在于所述转换器06)包括用于分配表的存储器(45)，由所述分配表，根据施加到所述转换器06)的输入的所述控制变量(S(ix、SGy)，可确定所述三个驱动器(Ei、E2、&)的所述控制信号(UpU2、U3)。
25.根据权利要求22至M中的任一项所述的驱动电子装置(39)，其特征在于所述转换器G6)包括计算单元(47)，通过所述计算单元07)借助于使用参数向量的计算法则，根据施加到所述转换器G6)的所述输入的所述控制变量(SGX、SGy)，可计算所述三个驱动器 (E1, E2, E3)的所述控制信号(Ui、U2、U3)。
26.一种用于驱动微反射镜04)的驱动电子装置(39)，所述微反射镜04)包含在所述微反射镜阵列02)中，所述微反射镜阵列布置在微光刻透射曝光设备的照明系统(10) 中，所述微反射镜04)具有两个倾斜轴(x、y)且三个驱动器(E1A2A3)被分配到所述微反射镜(M)，所述三个驱动器(Ei、&、E3)可通过控制信号(Ui、％、U3)被分别驱动，从而使得所述微反射镜04)关于所述两个倾斜轴(x、y)倾斜，且所述驱动电子装置(39)包括a)转换器(46)，具有控制变量(S(;x、SGy)的输入，所述控制变量(S(;x、SGy)被分配给关于所述两个倾斜轴(x、y)的未被干扰的倾斜角度(ax、ay)，b)信号放大器(50、52)，其可通过所述转换器06)被控制并且被直接或间接连接到所述驱动器(EpE2A3),使得所述控制信号(UpU2、U3)可被施加到所述驱动器(EpEyh)，其特征在于，c)所述转换器G6)包括用于分配表的存储器0 ，由所述分配表，根据施加到所述转换器的所述输入的所述控制变量(SGX、SGy)，可确定所述三个驱动器(EpE2A3)的所述控制信号(UpUyU》。
27.一种用于驱动微反射镜04)的驱动电子装置，所述微反射镜04)包含在所述微反射镜阵列02)中，所述微反射镜阵列布置在微光刻透射曝光设备的照明系统(10)中，所述微反射镜04)具有两个倾斜轴且三个驱动器(Ep E2, E3)被分配到所述微反射镜(M)，所述三个驱动器(Ei、E2、E3)可通过控制信号(Ui、％、U3)被分别驱动，从而使得所述微反射镜 (24)关于所述两个倾斜轴(x、y)倾斜，且所述驱动电子装置(39)包括a)转换器(46)，具有控制变量(S(;x、SGy)的输入，所述控制变量(S(;x、SGy)被分配给关于所述两个倾斜轴(x、y)的未被干扰的倾斜角度(ax、dy)，b)信号放大器(50、52)，其可通过所述转换器06)被控制并且被直接或间接连接到所述驱动器(EpE2A3),使得所述控制信号(UpU2、U3)可被施加到所述驱动器(EpEyh)，其特征在于，c)所述转换器G6)包括计算单元(47)，通过所述计算单元(47)，借助于使用参数向量的计算法则，所述参数向量可在参数化阶段被估算，根据施加到所述转换器G6)的所述输入的所述控制变量(S(ix、SGy)，可计算所述三个驱动器(Ei、E2、E3)的所述控制信号(UpU2、 U3)。
28.微反射镜系统，具有根据权利要求22至27中的任一项所述的驱动电子装置(39) 以及微反射镜(M)，所述微反射镜04)包含在所述微反射镜阵列0 中，所述微反射镜阵列02)布置在微光刻透射曝光设备的照明系统(10)中，所述微反射镜04)具有两个倾斜轴且三个驱动器(Ep E2, E3)被分配到所述微反射镜(M)，从而使得所述微反射镜04)关于所述两个倾斜轴(x、y)倾斜。
29.一种切换微光刻透射曝光设备的照明系统(10)中的照明设置的方法，包括下面的步骤a)提供微反射镜阵列(22)，其被布置在所述照明系统(10)中且包括M个微反射镜 (M)，其中每个微反射镜04)可关于两个倾斜轴(x、y)通过各倾斜角度(ax、ay)倾斜；b)驱动k=1，2，...，M个单独的微透镜(M)，从而从第一照明设置切换到第二照明设置，其中对于每个k = 1，2，. . .，M，所述两个照明设置之间的切换在少于50毫秒的时间段内被完成。
30.根据权利要求四所述的方法，其特征在于为了在步骤b)中驱动所述单独的微反射镜(M)，采用根据权利要求1至21所述的方法。
31.一种微光刻透射曝光设备的照明系统(10)，包括a)微反射镜阵列(22)，其包括M个微反射镜(M)，其中每个微反射镜04)可关于两个倾斜轴(X、y)通过各个倾斜角度(α χ、α y)倾斜；以及b)用于驱动单独的微透镜04)的驱动电子装置(39)，通过驱动k= 1，2，. . .，M个单独的微反射镜(M)，所述驱动电子装置(39)能够切换所述照明设置，从第一照明设置转换到第二照明设置，使得对于每个k = 1,2, ..., M，所述两个照明设置之间的切换在少于50 毫秒的时间段内被完成。
32.根据权利要求31所述的照明系统(10)，其特征在于根据权利要求22至27中的一项的驱动电子装置被用作所述驱动电子装置。
33.根据权利要求31和32中之一的所述的照明系统(10)，其特征在于M大于1000，优选大于4000。
全文摘要
微光刻投射曝光设备的照明系统(10)中的微反射镜阵列(22)的微反射镜(24)，可关于两个倾斜轴(x、y)通过各倾斜角度(αx、αy)倾斜。微反射镜(24)被分配三个驱动器(E1、E2、E3)，所述三个驱动器可以通过控制信号(U1、U2、U3)被分别驱动，从而使得微反射镜(24)关于所述两个倾斜轴(x、y)倾斜。规定两个控制变量(SGx、SGy)，其每个被分配给一个倾斜轴(x、y)且其两者被分配给未被干扰的倾斜角度(αx、αy)。对于两个控制变量(SGx、SGy)的任何希望的组合，根据两个控制变量(SGx、SGy)，选择三个驱动器中的一个驱动器(E1)并将其控制信号(U1)设为常数值，具体地0。确定控制信号(U1、U2、U3)，使得当控制信号(U1、U2、U3)被施加到其它两个驱动器(E2、E3)时，微反射镜(24)根据两个控制变量(SGx、SGy)采用未被干扰倾斜角度(αx、αy)。
文档编号G02B26/08GK102177460SQ200980139821
公开日2011年9月7日 申请日期2009年10月6日 优先权日2008年10月8日
发明者克里斯琴.肯普特, 简.霍恩 申请人:卡尔蔡司Smt有限责任公司