技术编号：2706437
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。锍衍生物及其作为潜酸的用途本发明涉及新型锍盐，包含所述化合物的化学放大光致抗蚀剂组合物以及所述化合物作为潜酸的用途，所述化合物可通过光化电磁辐射及电子束照射而活化。在本领域中，锍盐已知用作光敏引发剂。US6368769和JP2004-137172A中公开了包含酰基的苯硫基苯基-二苯基锍盐。W003/072567和W003/008404公开了锍盐，其中锍离子位于稠合环体系中，例如位于噻吨基结构部分中。US2006/055088中公开了该类其它化合物如包含酰基...
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