技术编号：2711825
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种掩膜板污染区域的位置标识方法和装置，用于解决现有技术中因在掩膜板上无法准确定位需要清洁的区域而导致的清洁效率较低的问题。所述方法包括形成投影网格；将所述投影网格投影到掩膜板上，由所述投影网格将所述掩膜板均匀划分为多个子区域，确定每一子区域对应的坐标范围，令用户根据目标区域所对应的位置信息在所述掩膜板上匹配出与所述目标区域相应的子区域；其中，所述目标区域所对应的位置信息是预先通过曝光机对所述掩膜板进行污染区域检查得到的，包含在曝光机输出的检查...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。