一种掩膜板污染区域的位置标识方法和装置制造方法
【专利摘要】本发明提供了一种掩膜板污染区域的位置标识方法和装置，用于解决现有技术中因在掩膜板上无法准确定位需要清洁的区域而导致的清洁效率较低的问题。所述方法包括：形成投影网格；将所述投影网格投影到掩膜板上，由所述投影网格将所述掩膜板均匀划分为多个子区域，确定每一子区域对应的坐标范围，令用户根据目标区域所对应的位置信息在所述掩膜板上匹配出与所述目标区域相应的子区域；其中，所述目标区域所对应的位置信息是预先通过曝光机对所述掩膜板进行污染区域检查得到的，包含在曝光机输出的检查结果中。
【专利说明】一种掩膜板污染区域的位置标识方法和装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体制造【技术领域】，尤其涉及一种掩膜板污染区域的位置标识方法和装置。
【背景技术】
[0002]在薄膜晶体管液晶显不(ThinFilm Transistor Liquid Crystal Display,TFT-1XD)装置的生产过程中，阵列工序的曝光工艺过程中需要采用掩膜板(Mask)对基板进行曝光，掩膜板是曝光工艺中非常重要的部件，掩膜板的洁净度直接影响着产品的良率。
[0003]但是掩膜板在使用、运输和存储的过程中又非常容易受到微粒(Particle)的污染；其中，掩膜板上表面也就是空白面(Blank Face)的微粒污染比下表面也就是(PellicleFace)的污染更能影响曝光工艺的质量。
[0004]若将受微粒污染的掩膜板用于曝光工艺，将造成阵列基板上产生重复缺陷，而这种缺陷在曝光的自动光线检查中往往并不能被发现，直到阵列测试进行电学测试时才能发现，但此时大量基板已经受损，给生产造成重大损失。因此，在曝光工艺中需要对使用的掩膜板进行清洁工作。
[0005]现有技术中，首先通过曝光机对掩膜板进行微粒检查，然后根据曝光机的检查结果图(参见图1)对掩膜板进行清洁。但是，工作人员只能通过对比检查结果图，在掩膜板上找到目标区域(即受微粒污染、需要清洁的区域)的大概位置区域，而无法直观看到目标区域，使得工作人员无法针对目标区域进行重点清洁，只能对能够覆盖所述目标区域的更大面积的区域进行重点清洁，以保证目标区域的微粒能够被清除；但是，该清洁方式导致清洁的工作量增大，大大降低了清洁效率。
【发明内容】
[0006]本发明实施例提供了一种掩膜板污染区域的位置标识方法和装置，用于解决现有技术中因在掩膜板上无法准确定位需要清洁的区域而导致的清洁效率较低的问题。
[0007]本发明实施例提供了一种掩膜板污染区域的位置标识方法，包括:
[0008]形成投影网格；
[0009]将所述投影网格投影到掩膜板上，由所述投影网格将所述掩膜板均匀划分为多个子区域，确定每一子区域对应的坐标范围，令用户根据目标区域所对应的位置信息在所述掩膜板上匹配出与所述目标区域相应的子区域；
[0010]其中，所述目标区域所对应的位置信息是预先通过曝光机对所述掩膜板进行污染区域检查得到的，包含在曝光机输出的检查结果中。
[0011]本发明实施例提供的掩膜板污染区域的位置标识方法，包括:形成投影网格，将所述投影网格投影到掩膜板上，由所述投影网格将所述掩膜板均匀划分为多个子区域，确定每一子区域对应的坐标范围，令用户根据目标区域所对应的位置信息在所述掩膜板上匹配出与所述目标区域相应的子区域；其中，所述目标区域所对应的位置信息是预先通过曝光机对所述掩膜板进行污染区域检查得到的，包含在曝光机输出的检查结果中。该方法中，通过将形成的投影网格投影到掩膜板上，由所述投影网格将所述掩膜板均匀划分为多个子区域，确定每一子区域对应的坐标范围，便于工作人员根据目标区域所对应的位置信息在所述掩膜板上匹配出与所述目标区域相应的子区域，并对该子区域进行重点清洁，有利于提
高清洁效率。
[0012]较佳的，所述投影网格的覆盖面积不小于所述掩膜板的表面面积。当投影网格的覆盖面积不小于所述掩膜板的表面面积时，便于在掩膜板上匹配出与所述目标区域相应的子区域。
[0013]较佳的，所述检查结果中还包括所述目标区域的网格状分布图；所述掩膜板的子区域的面积与所述网格状分布图中每一网格所表示的面积相同。当所述掩膜板的子区域的面积与所述网格状分布图中每一网格所表示的面积相同时，投影在掩膜板上的网格的个数与所述网格状分布图中的网格的个数相同，使得工作人员可以通过数网格的方式匹配出与所述位置信息相应的子区域，对该子区域进行重点清洁，进一步提高清洁效率，并保证了清洁的质量。此外，当确定需要重点清洁的子区域后，缩小了重点清洁的范围，有利于降低掩膜板的清洁成本。
[0014]较佳的，当掩膜板污染区域的位置标识装置与曝光机通过网络连接时，所述方法还包括:接收所述曝光机输出的位置信息，并根据所述位置信息在掩膜板上投影以形成标记色块，所述标记色块的位置与所述目标区域的位置相对应。所述在掩膜板上将需要重点清洁的子区域通过标记色块直观的标记出来，便于工作人员根据所述标记色块对掩膜板上需要清洁的子区域进行重点清洁，进一步提高了对掩膜板的清洁效率。并且，通过投影的方式在掩膜板上形成标记色块，并不与掩膜板进行直接接触，可以保护掩膜板的表面不被划伤或损坏。
[0015]较佳的，所述标记色块的颜色为红色、蓝色或紫色。当所述标记色块的颜色为红色、蓝色或紫色等醒目的颜色时，标记色块的颜色与掩膜板自身的颜色形成鲜明对比，使得工作人员更容易匹配出标记色块的位置。此外，所述标记色块的颜色还可以为黄色、绿色等其它醒目的颜色。
[0016]本发明实施例提供了了一种掩膜板污染区域的位置标识装置，所述掩膜板污染区域的位置标识装置包括:
[0017]投影网格形成单元，用于形成投影网格；
[0018]投影单元，用于将所述投影网格投影到掩膜板上，由所述投影网格将所述掩膜板均匀划分为多个子区域，确定每一子区域对应的坐标范围，令用户根据目标区域所对应的位置信息在所述掩膜板上匹配出与所述目标区域相应的子区域；其中，所述位置信息是预先通过曝光机对所述掩膜板进行污染区域检查得到的，包含在曝光机输出的检查结果中。
[0019]本发明实施例提供的掩膜板污染区域的位置标识装置，包括用于形成投影网格的投影网格形成单元，用于将所述投影网格投影到掩膜板上投影网格、由所述投影网格将所述掩膜板均匀划分为多个子区域的投影单元；通过所述投影单元将由投影网格形成单元形成的投影网格投影到掩膜板上，由所述投影网格将所述掩膜板均匀划分为多个子区域，确定每一子区域对应的坐标范围，便于工作人员根据目标区域所对应的位置信息在所述掩膜板上匹配出与所述目标区域相应的子区域，并对该子区域进行重点清洁，有利于提高清洁效率。
[0020]较佳的，所述投影网格的覆盖面积不小于所述掩膜板的表面面积。当投影网格的覆盖面积不小于所述掩膜板的表面面积时，便于在掩膜板上匹配出与所述目标区域相应的子区域。
[0021]较佳的，所述检查结果中还包括所述目标区域的网格状分布图；所述掩膜板的子区域的面积与所述网格状分布图中每一网格所表示的面积相同。所述分布图中每一个网格所表示的面积与掩膜板的子区域的面积相同时，投影在所述掩膜板上的网格的个数与所述分布图中的网格的个数相同，使得工作人员可以通过数网格的方式匹配出与所述位置信息相应的子区域，对该子区域进行重点清洁，进一步提高了清洁效率，并保证了清洁的质量。此外，当确定需要重点清洁的子区域后，缩小了重点清洁的范围，有利于降低掩膜板的清洁成本。
[0022]较佳的，当所述掩膜板污染区域的位置标识装置与曝光机通过网络连接时，所述装置还包括:接收单元，用于接收曝光机输出的位置信息；
[0023]所述投影单元，还用于根据接收到的位置信息在掩膜板上投影以形成标记色块，所述标记色块的位置与所述目标区域的位置相对应。
[0024]通过在掩膜板上将需要重点清洁的子区域通过标记色块直观的标记出来，便于工作人员根据所述标记色块对掩膜板上需要清洁的子区域进行重点清洁，进一步提高了对掩膜板的清洁效率。并且，通过投影的方式在掩膜板上形成标记色块，并不与掩膜板进行直接接触，可以保护掩膜板的表面不被划伤或损坏。
[0025]较佳的，所述标记色块的颜色为红色、蓝色或紫色。当所述标记色块的颜色为红色、蓝色或紫色等醒目的颜色时，标记色块的颜色与掩膜板自身的颜色形成鲜明对比，使得工作人员更容易匹配出标记色块的位置。此外，所述标记色块的颜色还可以为黄色、绿色等其它醒目的颜色。
【专利附图】
【附图说明】
[0026]图1为通过曝光机对掩膜板进行洁净度检查时输出的检查结果图；
[0027]图2为本发明实施例提供的一种掩膜板污染区域的位置标记方法的流程示意图；
[0028]图3为本发明实施例提供的另一种掩膜板污染区域的位置标记方法的流程示意图；
[0029]图4为本发明实施例提供的掩膜板污染区域的位置标识装置的结构示意图；
[0030]图5为本发明实施例提供的掩膜板污染区域的位置标识装置在未联网状态下的工作原理示意图；
[0031]图6为本发明实施例提供的掩膜板污染区域的位置标识装置在联网状态下的工作原理示意图。
【具体实施方式】
[0032]本发明实施例提供了一种掩膜板污染区域的位置标识方法和装置，用于解决现有技术中因在掩膜板上无法准确定位需要清洁的区域而导致的清洁效率较低的问题。
[0033]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0034]本发明实施例一提供了一种掩膜板污染区域的位置标识方法，包括:
[0035]形成投影网格；
[0036]将所述投影网格投影到掩膜板上，由所述投影网格将所述掩膜板均匀划分为多个子区域，确定每一子区域对应的坐标范围，令用户根据目标区域所对应的位置信息在所述掩膜板上匹配出与所述目标区域相应的子区域；其中，所述目标区域所对应的位置信息是预先通过曝光机对所述掩膜板进行污染区域检查得到的，包含在曝光机输出的检查结果中。
[0037]较佳的，所述投影网格的覆盖面积不小于所述掩膜板的表面面积。当投影投影在网格上的覆盖区域与所述掩膜板的覆盖区域相同时，便于在掩膜板上匹配出与所述目标区域相应的子区域。在实际工艺中，多数情况下所述网格的覆盖区域与所述掩膜板的覆盖区域相同。
[0038]较佳的，所述检查结果中还包括所述目标区域的网格状分布图；所述掩膜板的子区域的面积与所述网格状分布图中每一网格所表示的面积相同。所述掩膜板的子区域的面积与所述网格状分布图中每一网格所表示的面积相同时，投影在掩膜板上的网格的个数与所述网格状分布图中的网格的个数相同，使得工作人员可以通过数网格的方式匹配出与所述位置信息相应的子区域，对该子区域进行重点清洁，进一步提高清洁效率，并保证了清洁的质量。此外，当确定需要重点清洁的子区域后，缩小了重点清洁的范围，有利于降低掩膜板的清洁成本。
[0039]较佳的，当掩膜板污染区域的位置标识装置与曝光机通过网络连接时，所述方法还包括:接收所述曝光机输出的位置信息，并根据所述位置信息在掩膜板上投影以形成标记色块，所述标记色块的位置与所述目标区域的位置相对应。所述在掩膜板上将需要重点清洁的子区域通过标记色块直观的标记出来，便于工作人员根据所述标记色块对掩膜板上需要清洁的子区域进行重点清洁，进一步提高了对掩膜板的清洁效率。
[0040]较佳的，所述标记色块的颜色为红色、蓝色或紫色。当所述标记色块的颜色为红色、蓝色或紫色等醒目的颜色时，标记色块的颜色与掩膜板自身的颜色形成鲜明对比，使得工作人员更容易匹配出标记色块的位置。此外，所述标记色块的颜色还可以为黄色、绿色等其它醒目的颜色。
[0041]参见图2，本发明实施例一提供的掩膜板污染区域的标识方法具体包括:
[0042]步骤21，利用曝光机对掩膜板进行清洁度检查，生成与该掩膜板对应的检查结果；所述检查结果中包含目标区域的位置信息，以及所述目标区域的网格状分布图。
[0043]步骤22，开启掩膜板污染区域的位置标识装置，通过所述掩膜板污染区域的位置标识装置形成投影网格。
[0044]步骤23，将所述投影网格投影到已完成污染区域检测的掩膜板上，由所述投影网格将该掩膜板划分为多个子区域，确定每一子区域对应的坐标范围。
[0045]步骤24，工作人员根据所述目标区域所对应的位置信息在所述掩膜板上匹配出与目标区域相应的子区域，对该子区域进行重点清洁。[0046]其中，在步骤23中，通过掩膜板污染区域的位置标识装置投影到掩膜板上的投影网格的覆盖面积不小于所述掩膜板的表面面积。当投影网格的覆盖面积不小于所述掩膜板的表面面积时，便于在所述掩膜板上查找与所述目标区域相应的子区域。实际工艺中，所述投影网格的覆盖区域与所述掩膜板的覆盖区域相同；当被投影的掩膜板的尺寸发生变化时，可以通过调节设备参数，如投影的距离、每一子区域的面积等方式实现投影网格的覆盖面积与所述掩膜板的表面面积相同。
[0047]参见图3，本发明实施例一提供的掩膜板污染区域的标识方法具体包括:
[0048]步骤31，利用曝光机对掩膜板进行清洁度检查，生成与该掩膜板对应的检查结果，并输出给位置标识装置；所述结果中包含目标区域的位置信息，以及所述目标区域的网格状分布图。
[0049]步骤32，开启掩膜板污染区域的位置标识装置，通过所述掩膜板污染区域的位置标识装置形成投影网格。
[0050]步骤33，将所述投影网格投影到已完成污染区域检查的掩膜板上，由所述投影网格将该掩膜板划分为多个子区域，确定每一子区域对应的坐标范围。
[0051]步骤34，掩膜板污染区域的位置标识装置接收曝光机输出的位置信息。
[0052]步骤35，掩膜板污染区域的位置标识装置根据接收到的位置信息，在掩膜板上投影以形成标记色块；所述标记色块的位置与所述目标区域的位置相对应，通过标记色块在掩膜板上将需要重点清洁的子区域直观的标记出来。
[0053]步骤36，工作人员根据投影在掩膜板上的标记色块辨别掩膜板上的目标区域，对掩膜板上目标区域所处的子区域进行重点清洁。
[0054]其中，在步骤33中，通过掩膜板污染区域的位置标识装置投影到掩膜板上的投影网格的覆盖面积不小于所述掩膜板的表面面积。当投影网格的覆盖面积不小于所述掩膜板的表面面积时，便于在所述掩膜板上查找与所述目标区域相应的子区域。实际工艺中，所述投影网格的覆盖区域与所述掩膜板的覆盖区域相同；当被投影的掩膜板的尺寸发生变化时，可以通过调节设备参数，如投影的距离、每一子区域的面积等方式实现投影网格的覆盖面积与所述掩膜板的表面面积相同。
[0055]此外，当确定需要重点清洁的子区域后，缩小了重点清洁的范围，减少了工作人员的工作量，并有利于降低掩膜板的清洁成本。
[0056]步骤35中，通过投影的方式在掩膜板上形成标记色块，并不与掩膜板进行直接接触，可以保护掩膜板的表面不被划伤或损坏。
[0057]进一步的，所述标记色块的颜色为红色、蓝色或紫色。当所述标记色块的颜色为红色、蓝色或紫色等醒目的颜色时，标记色块的颜色与掩膜板自身的颜色形成鲜明对比，使得工作人员更容易匹配出标记色块的位置。此外，所述标记色块的颜色还可以为黄色、绿色等其它醒目的颜色。
[0058]本发明实施例一提供的方法中，通过形成投影网格，并将所述投影网格投影到掩膜板上，由所述投影网格将所述掩膜板均匀划分为多个子区域，确定每一子区域对应的坐标位置范围，便于用户根据目标区域所对应的位置信息在所述掩膜板上匹配出与所述目标区域相应的子区域，并对该子区域进行重点清洁，有利于提高清洁效率。并且，通过在掩膜板上与所述位置信息相对应的位置投影标记色块，便于工作人员直观的查找到所述位置信息对应的子区域，对该子区域进行重点清洁。此外，当需要重点清洁的子区域确定后，缩小了重点清洁的范围，有利于降低掩膜板的清洁成本。
[0059]本发明实施例二提供了一种掩膜板污染区域的位置标识装置，所述标识装置包括:
[0060]投影网格形成单元，用于形成投影网格；
[0061]投影单元，用于将所述投影网格投影到掩膜板上，由所述投影网格将所述掩膜板均匀划分为多个子区域，令用户根据目标区域所对应的位置信息在所述掩膜板上匹配出相应的子区域；其中，所述位置信息是预先通过曝光机对所述掩膜板进行污染区域检查得到的，包含在曝光机输出的检查结果中。
[0062]参见图4，图4为本发明实施例二提供的掩膜板污染区域的位置标识装置的单元示意图。从图3中可以看出，所述掩膜板污染区域的位置标识装置包括:
[0063]投影网格形成单元41，用于形成投影网格；
[0064]投影单元42，用于将所述投影网格投影到掩膜板上，由所述投影网格将所述掩膜板均匀划分为多个子区域，令用户根据目标区域所对应的位置信息在所述掩膜板上匹配出与所述目标区域相应的子区域；其中，所述位置信息是预先通过曝光机对所述掩膜板进行污染区域检查得到的，包含在曝光机输出的检查结果中。
[0065]进一步的，所述投影网格的覆盖面积不小于所述掩膜板的表面面积。当投影网格的覆盖面积不小于所述掩膜板的表面面积时，便于在掩膜板上查找与所述目标区域相应的子区域。
[0066]进一步的，所述检查结果中还包括所述目标区域的网格状分布图；所述掩膜板的子区域的面积与所述网格状分布图中每一网格所表示的面积相同。所述分布图中每一个网格所表示的面积与掩膜板的子区域的面积相同时，投影在所述掩膜板上的网格的个数与所述分布图中的网格的个数相同，使得工作人员可以通过数网格的方式找到与所述位置信息相应的子区域，对该子区域进行重点清洁，有利于提高了清洁效率，并保证了清洁的质量。此外，当确定需要重点清洁的子区域后，缩小了重点清洁的范围，进一步降低掩膜板的清洁成本。此外，当确定需要重点清洁的子区域后，缩小了重点清洁的范围，有利于降低掩膜板的清洁成本。
[0067]进一步的，所述装置还包括接收单元43 ;当所述掩膜板污染区域的位置标识装置与曝光机通过网络连接时:
[0068]所述接收单元43，用于接收曝光机输出的位置信息；
[0069]所述投影单元42，还用于根据接收到的位置信息在掩膜板上投影以形成标记色块，所述标记色块的位置与所述目标区域的位置相对应。
[0070]通过在掩膜板上将需要重点清洁的子区域通过标记色块直观的标记出来，便于工作人员根据所述标记色块对掩膜板上需要清洁的子区域进行重点清洁，进一步提高了对掩膜板的清洁效率。并且，通过投影的方式在掩膜板上形成标记色块时，并不与掩膜板进行直接接触，可以有效的保护掩膜板的表面不被划伤或损坏。
[0071]进一步的，所述标记色块的颜色为红色、蓝色或紫色。当所述标记色块的颜色为红色、蓝色或紫色等醒目的颜色时，标记色块的颜色与掩膜板自身的颜色形成鲜明对比，使得工作人员更容易匹配出标记色块的位置。此外，所述标记色块的颜色还可以为黄色、绿色等其它醒目的颜色。
[0072]参见图5，在未联网的状态下，所述掩膜板污染区域的位置标识装置的工作原理具体如下:
[0073]开启掩膜板污染区域的位置标识装置，通过所述掩膜板污染区域的位置标识装置形成投影网格，并将所述投影网格投影到已完成清洁度检查的掩膜板上，由所述投影网格将该掩膜板划分为多个子区域，确定每一子区域对应的坐标范围；
[0074]工作人员根据所述目标区域所对应的位置信息在所述掩膜板上匹配出与目标区域相应的子区域，对该子区域进行重点清洁。
[0075]参见图6，在与曝光机通过网络连接的状态下，所述掩膜板污染区域的位置标识装置的工作原理具体如下:
[0076]开启所述掩膜板污染区域的位置标识装置，通过所述掩膜板污染区域的位置标识装置形成投影网格，并将所述投影网格投影到已完成清洁度检查的掩膜板上，由所述投影网格将该掩膜板划分为多个子区域，确定每一子区域对应的坐标范围；
[0077]接收曝光机输出的位置信息；
[0078]根据接收到的位置信息，在掩膜板上投影以形成标记色块；所述标记色块的位置与所述目标区域的位置相对应，通过标记色块在掩膜板上将需要重点清洁的子区域直观的标记出来。
[0079]工作过程中，投影在掩膜板上的投影网格的覆盖面积不小于所述掩膜板的表面面积。当投影网格的覆盖面积不小于所述掩膜板的表面面积时，便于在所述掩膜板上查找与所述目标区域相应的子区域。实际工艺中，所述投影网格的覆盖区域与所述掩膜板的覆盖区域相同；当被投影的掩膜板的尺寸发生变化时，可以通过调节设备参数，如投影的距离、每一子区域的面积等方式实现投影网格的覆盖面积与所述掩膜板的表面面积相同。
[0080]进一步的，所述掩膜板的子区域的面积与所述网格状分布图中每一网格所表示的面积相同。所述掩膜板的子区域的面积与所述网格状分布图中每一网格所表示的面积相同时，投影在掩膜板上的网格的个数与所述网格状分布图中的网格的个数相同，使得工作人员可以通过数网格的方式找到与所述位置信息相应的子区域，对该子区域进行重点清洁，有利于提高清洁效率，并保证了清洁的质量。此外，当确定需要重点清洁的子区域后，缩小了重点清洁的范围，进一步降低了掩膜板的清洁成本。
[0081]进一步的，所述标记色块的颜色为红色、蓝色或紫色。当所述标记色块的颜色为红色、蓝色或紫色等醒目的颜色时，标记色块的颜色与掩膜板自身的颜色形成鲜明对比，使得工作人员更容易匹配出标记色块的位置。此外，所述标记色块的颜色还可以为黄色、绿色等其它醒目的颜色。
[0082]本发明实施例二提供的掩膜板污染区域的位置标识装置中，包括用于形成投影网格的投影网格形成单元，以及用于将所述投影网格投影到掩膜板上，由所述投影网格将所述掩膜板均匀划分为多个子区域的投影单元；通过所述投影单元在掩膜板上投影网格，将所述掩膜板均匀划分为多个子区域，确定每一子区域对应的坐标位置范围，便于工作人员根据目标区域所对应的位置信息在所述掩膜板上匹配出与所述目标区域相应的子区域，并对该子区域进行重点清洁，有利于提高清洁效率。
[0083]综上，本发明实施例提供了一种掩膜板污染区域的位置标识的方法和装置；在所述方法中，通过掩膜板污染区域的位置标识装置在掩膜板上投影网格，将所述掩膜板均匀划分为多个子区域，确定每一子区域对应的坐标位置范围，便于用户根据目标区域所对应的位置信息在所述掩膜板上匹配出与所述目标区域相应的子区域，并对该子区域进行重点清洁，有利于提闻清洁效率。
[0084]显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
【权利要求】
1.一种掩膜板污染区域的位置标识方法，其特征在于，所述方法包括: 形成投影网格； 将所述投影网格投影到掩膜板上，由所述投影网格将所述掩膜板均匀划分为多个子区域，确定每一子区域对应的坐标范围，令用户根据目标区域所对应的位置信息在所述掩膜板上匹配出与所述目标区域相应的子区域； 其中，所述目标区域所对应的位置信息是预先通过曝光机对所述掩膜板进行污染区域检查得到的，包含在曝光机输出的检查结果中。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述投影网格的覆盖面积不小于所述掩膜板的表面面积。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述检查结果中还包括所述目标区域的网格状分布图； 所述掩膜板的子区域的面积与所述网格状分布图中每一网格所表示的面积相同。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，当掩膜板污染区域的位置标识装置与曝光机通过网络连接时，所述方法还包括: 接收所述曝光机输出的位置信息，并根据所述位置信息在掩膜板上投影以形成标记色块，所述标记色块的位置与所述目标区域的位置相对应。
5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述标记色块的颜色为红色、蓝色或紫色。
6.一种掩膜板污染区域的位置标识装置，其特征在于，包括: 投影网格形成单元，用于形成投影网格； 投影单元，用于将所述投影网格投影到掩膜板上，由所述投影网格将所述掩膜板均匀划分为多个子区域，确定每一子区域对应的坐标范围，令用户根据目标区域所对应的位置信息在所述掩膜板上匹配出与所述目标区域相应的子区域；其中，所述位置信息是预先通过曝光机对所述掩膜板进行污染区域检查得到的，包含在曝光机输出的检查结果中。
7.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述投影网格的覆盖面积不小于所述掩膜板的表面面积。
8.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述检查结果中还包括所述目标区域的网格状分布图； 所述掩膜板的子区域的面积与所述网格状分布图中每一网格所表示的面积相同。
9.如权利要求6所述的装置，其特征在于，当所述掩膜板污染区域的位置标识装置与曝光机通过网络连接时，所述装置还包括: 接收单元，用于接收曝光机输出的位置信息； 所述投影单元，还用于根据接收到的位置信息在掩膜板上投影以形成标记色块，所述标记色块的位置与所述目标区域的位置相对应。
10.如权利要求9所述的装置，其特征在于，所述标记色块的颜色为红色、蓝色或紫色。
【文档编号】G03F1/38GK103941541SQ201410146174
【公开日】2014年7月23日 申请日期:2014年4月11日 优先权日:2014年4月11日
【发明者】刘明悬, 郭总杰, 刘正, 张治超, 张小祥 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 北京京东方显示技术有限公司