感光性聚硅氧烷组合物、保护膜及具有保护膜的元件的制作方法
【专利摘要】一种感光性聚硅氧烷组合物，其包括含氮的杂环化合物(A)、聚硅氧烷(B)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(C)以及溶剂(D)，其中含氮的杂环化合物(A)选自由式(1)至式(4)所表示的化合物所组成的族群。
【专利说明】感光性聚硅氧烷组合物、保护膜及具有保护膜的元件
【技术领域】
[0001] 本发明是有关于一种聚硅氧烷组合物，且特别是有关于一种感光性聚硅氧烷组合 物。
【背景技术】
[0002] 近年来，随着半导体工业、液晶显示器（liquid crystal display, LCD)以及有机 电激发光显示器（organic electro-luminescence display, 0ELD)的发展，伴随而来对 于尺寸缩小化的需求，使得微影（Photolithography)制程成为非常重要的议题。在微影 (photolithography)制程中，必须将所需的图案（pattern)的微细化（finer),以达到尺 寸缩小化的目的。一般而言，微细化的图案是由对具有高解析（resolution)及高感光性 (photosensitivity)的正型感光性组合物（positive photosensitive composition)进行 曝光及显影来形成。值得一提的是，正型感光性组合物通常是以聚硅氧烷（polysiloxane) 为主要成分。
[0003] 日本特开2008-107529号揭示一种可形成高透明度（transparency)固化膜 (hardened film)的感光性组合物。所述感光性组合物包括聚娃氧烧（polisiloxane), 其中上述聚硅氧烷是由含有环氧丙烷基（oxetanyl)或丁二酸酐基（即氧基二羰基 (oxydicarbonyl group))的娃烧单体经共聚合（copolymerize)来形成。值得一提的是，所 述的感光性组合物因具有亲水性结构而在稀薄碱性显影剂（alkali developer)中具有高 溶解度（solubility)。然而，以所述的感光性树脂组合物来形成的保护膜与被保护元件之 间的密合性却不佳，因此不利于应用。
[0004] 于是，亟需发展一种感光性组合物，其所形成的保护膜与被保护元件之间具有良 好密合性（adhesion property)。
【发明内容】
[0005] 本发明提供一种感光性（photosensitive)聚娃氧烧组合物，其所形成的保护膜 与被保护元件之间具有良好密合性。
[0006] 本发明提供一种感光性聚硅氧烷组合物，其包括含氮的杂环化合物 (nitrogen-containing heterocyclic compound) (A)、聚娃氧烧（B)、邻萘醌二叠氮磺酸酯 (o_naphthoquinonediazidesulfonate)(C)以及溶剂（D)。含氮的杂环化合物（A)选自由 式（1)至式（4)所表示的化合物所组成的族群：
[0007]
【权利要求】
1. 一种感光性聚硅氧烷组合物，其特征在于，其包括： 含氮的杂环化合物（A); 聚硅氧烷（B); 邻萘醌二叠氮磺酸酯（C);以及 溶剂（D)， 其中所述含氮的杂环化合物（A)选自由式（1)至式（4)所表示的化合物所组成的族 群，
式（1)至式（4)中，XI与X2各自独立表示氢原子、酰基或烷基；R1至R9各自独立表示 氧原子、轻基、竣酸基、横酸基、烧基、氣基、齒素原子或疏基；m、n、q、s各自独立表不选自0、 1、2、3的整数；p、r各自独立表示选自0、1、2的整数；t、u各自独立表示选自0、1、2、3、4的 整数。
2. 如权利要求1所述的感光性聚硅氧烷组合物，其中所述聚硅氧烷（B)是由式（5)所 示的化合物聚合来形成， Si(R10)W(ORn)4_ff 式（5) 式（5)中，R1(l表示氢原子、碳数为1至10的烷基、碳数为2至10的烯基、碳数为6至 15的芳香基、含有酸酐基的烷基、含有环氧基的烷基或含有环氧基的烷氧基；R11各自独立 表示氢原子、碳数为1至6的烷基、碳数为1至6的酰基或碳数为6至15的芳香基;w表示 选自0、1、2、3的整数。
3. 如权利要求1所述的感光性聚硅氧烷组合物，其中基于所述聚硅氧烷（B) 100重量 份，所述含氮的杂环化合物（A)的含量是0.005重量份至5重量份，所述邻萘醌二叠氮磺酸 酯（C)的含量是1重量份至50重量份，所述溶剂（D)的含量是50重量份至1200重量份。
4. 一种保护膜，其特征在于，其包括如权利要求1至3中任一项所述的感光性聚硅氧烷 组合物。
5. -种具有保护膜的元件，其特征在于，其包括元件以及如权利要求4所述的保护膜， 其中所述保护膜覆盖在所述元件上。
【文档编号】G03F7/008GK104122753SQ201410145384
【公开日】2014年10月29日 申请日期:2014年4月11日 优先权日:2013年4月26日
【发明者】吴明儒, 施俊安 申请人:奇美实业股份有限公司