一种光罩定位装置制造方法技术资料下载

技术编号:2712105

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一种光罩定位装置,应用于光罩盒的底盘上,包括若干个缓冲定位装置,所述缓冲定位装置为八边形结构,所述八边形结构内部设置有一弹性装置;其中,当光罩盒盖上所述底盘时,所述缓冲定位装置由于受到挤压而侧壁接触光罩,使其垂直接触光罩侧面,以定位所述光罩。当运用该定位装置后,可以借助于弹性八边形的特性达到光罩精确定位的目的,且该八边形运动件垂直接触光罩侧面,无摩擦现象,避免产生微尘,当光照在盒子内时,位置固定,避免了滑动震动现象的发生。专利说明一种光罩定位装置[0001...
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