一种光罩定位装置制造方法
【专利摘要】一种光罩定位装置，应用于光罩盒的底盘上，包括若干个缓冲定位装置，所述缓冲定位装置为八边形结构，所述八边形结构内部设置有一弹性装置；其中，当光罩盒盖上所述底盘时，所述缓冲定位装置由于受到挤压而侧壁接触光罩，使其垂直接触光罩侧面，以定位所述光罩。当运用该定位装置后，可以借助于弹性八边形的特性达到光罩精确定位的目的，且该八边形运动件垂直接触光罩侧面，无摩擦现象，避免产生微尘，当光照在盒子内时，位置固定，避免了滑动震动现象的发生。
【专利说明】一种光罩定位装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种光罩定位装置。
【背景技术】
[0002]光罩作为曝光的掩模板非常重要，其在光罩盒内的位置偏离会引起很多问题，如若位置发生偏移，光罩容易摩擦产生微尘，产生光罩污染，引起产品返工或报废，当光罩未固定时光罩容易震动，这样就有损害保护膜的风险，机器传送手臂报警或部件损坏，甚至光罩掉落损坏，有可能引起产品挺闲，这对于FAB来说是极大的风险。
[0003]中国专利(CN101666982)记载了一种光罩盒的承载盒，包括一上盖体以及一下盖体，并于下盖体的容置空间中配置一缓冲定位装置。缓冲定位装置包含一承载结构及复数个弹性件，承载结构由一底部以及与底部连接并向纵向方向弯折延伸的复数个翼部所组成，复数个弹性件与底部连接并向另一相对的纵向弯折以形成复数个具有弯折部的弹性件，且这些弯折部的弹性件形成一共同平面，而共同平面与下盖体的底面接触，以避免承载盒于运送光罩盒途中所产生的碰撞或是震动，影响存放于光罩盒中光罩而导致光罩的摩擦或损坏。
[0004]中国专利(CN201156161)记载了一种光罩夹，包括铰接在一起的一对夹臂组件，夹臂组件包括握持部、自握持部弯折的肩部、自肩部向远离握持部的方向延伸的鼻部以及与臂部相连的夹持部，夹持部自臂部弯折而成并沿垂直于臂部的方向延伸，一对夹臂组件上的夹持部相互平行，夹持部上可拆卸的连接有用于夹取光罩的夹爪；一对夹臂组件的铰接处位于握持部上，并且握持部位于光罩夹的中部，夹爪与握持部之间还设置有防护杆。
[0005]上述两个专利均未记载有关多边形缓冲定位装置的技术特征。
【发明内容】
[0006]鉴于上述问题，本发明提供一种光罩定位装置。
[0007]—种光罩定位装置，应用于光罩盒的底盘上，其特征在于:包括若干个缓冲定位装置，每个所述缓冲定位装置均为八边形结构，每个所述八边形结构内部均设置有一弹性装置；
[0008]其中，当光罩盒盖于所述底盘上时，所述缓冲定位装置由于受到挤压而侧壁接触光罩，使其垂直接触光罩侧面，以定位所述光罩。
[0009]上述的装置，其特征在于:当光罩盒盖与底盘解锁分开时，由于弹性装置的作用，所述八边形结构恢复原状释放被定位的光罩。
[0010]上述的装置，其特征在于:所述八边形结构的每个平面之间通过弹性运动特性的铰链连接。
[0011]上述的装置，其特征在于:所述弹性装置为一压缩弹簧。
[0012]上述的装置，其特征在于:若干所述缓冲定位装置对称设置于所述光罩盒内的两侧。[0013]上述的装置，其特征在于:所述缓冲定位装置至少为4个。
[0014]上述的装置，其特征在于:所述缓冲定位装置的每个表面的材质均为塑料。
[0015]通过采用上述结构件，与现有技术产生的优点:
[0016]1、运用弹性运动八边形的特性，达到光罩精确定位的目的；
[0017]2、运动件垂直接触光罩侧面，无摩擦现象，避免产生微尘；
[0018]3、光罩在盒子内时，位直固定，避免了滑动震动现象。
【专利附图】
【附图说明】
[0019]参考所附附图，以更加充分的描述本发明的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本发明范围的限制。
[0020]图1是本发明光罩定位装置的结构示意图；
[0021]图2是本发明光罩定位装置受到压力时的结构示意图。
【具体实施方式】
[0022]本发明提供一种光罩定位装置，可应用于光罩盒机构领域，优选的可应用于45/40nm等技术节点的工艺中，并运用于Logic技术平台和Litho的技术模组中，当运用该定位装置后，可以借助于弹性八边形的特性达到光罩精确定位的目的，且该八边形运动件垂直接触光罩侧面，无摩擦现象，避免产生微尘，当光照在盒子内时，位置固定，避免了滑动震动现象的发生。
[0023]本发明的核心思想是当光罩盒盖子盖上底盘时，盖子挤压缓冲定位装置，缓冲定位装置变形使侧面挤压光罩，达到定位的目的，当底盘与盖子解锁分开时，由于缓冲定位装置中的弹簧作用，缓冲定位装置恢复原形，释放光罩方便机器或人工的取放。
[0024]本发明的光罩定位装置主要包括若干个缓冲定位装置，每个所述缓冲定位装置均为八边形结构，每个所述八边形结构内部均设置有一弹性装置；其中，当光罩盒盖于所述底盘上时，所述缓冲定位装置由于受到挤压而侧壁接触光罩，使其垂直接触光罩侧面，以定位所述光罩
[0025]下面结合附图对本发明的【具体实施方式】作进一步的说明:
[0026]如图1所示，本发明提出的一种光罩定位装置，其中包括有若干个缓冲定位装置，这些缓冲定位装置是一种八边形结构2，在这些八边形结构2内部装有一压缩弹簧6。
[0027]如图2所示，当光罩I摆放在光罩支架5上后，盖上光罩盒盖子4，光罩盒盖子4就是挤压该八边形结构2的上表面，由于该八边形结构2的每个表面之间通过弹性运动特性的铰链连接，八边形结构的上表面往下压的时候，上下四个斜侧面在铰链的作用下向两侧扩展，迫使垂直侧面接触光罩，使该八边形结构2的侧面垂直接触光罩I的侧面，使光罩I的位置固定，因为该八边形结构2的表面是由光滑平整的塑料制成，这样就可以避免光罩I在光罩盒3内出现摩擦、滑动和震动的现象发生。
[0028]当光罩盒盖子4与底盘解锁分开时，如图1，由于压缩弹簧6的作用，八边形结构2恢复原状释放被定位的光罩1，方便机器或人工的取放。
[0029]该缓冲定位装置是具有弹性运动特性的八边形结构2，且对称设置于光罩盒内的两侧，并最少设置有4个该八边形结构。[0030]通过说明和附图，给出了【具体实施方式】的特定结构的典型实施例，基于本发明精神，还可作其他的转换。尽管上述发明提出了现有的较佳实施例，然而，这些内容并不作为局限。
[0031]对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本发明的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本发明的意图和范围内。
【权利要求】
1.一种光罩定位装置，应用于光罩盒的底盘上，其特征在于:包括若干个缓冲定位装置，每个所述缓冲定位装置均为八边形结构，每个所述八边形结构内部均设置有一弹性装置； 其中，当光罩盒盖于所述底盘上时，所述缓冲定位装置由于受到挤压而侧壁接触光罩，使其垂直接触光罩侧面，以定位所述光罩。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于:当光罩盒盖与底盘解锁分开时，由于弹性装置的作用，所述八边形结构恢复原状释放被定位的光罩。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于:所述缓冲定位装置的每个表面之间通过弹性运动特性的铰链连接。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于:所述弹性装置为一压缩弹簧。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于:若干所述缓冲定位装置对称设置于所述光罩盒内的两侧。
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于:所述缓冲定位装置至少为4个。
7.根据权利要求 1所述的装置，其特征在于:所述缓冲定位装置的每个表面的材质均为塑料。
【文档编号】G03F7/20GK104020644SQ201410163820
【公开日】2014年9月3日 申请日期:2014年4月22日 优先权日:2014年4月22日
【发明者】宣胤杰 申请人:上海华力微电子有限公司