一种显示装置、阵列基板及其制作方法技术资料下载

技术编号:2713357

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本发明涉及显示,特别涉及。该阵列基板包括基板,在基板上设有栅电极及栅线、栅绝缘层和有源层;所述有源层为金属氧化物;栅绝缘层和有源层同时形成。本发明提供,采用将半导体有源层与栅绝缘层共用一块掩模板制备,避免了光刻胶的残留,减少了工艺掩膜板数量,而且缩短了工艺时间,提高了生产效率。专利说明 [0001] 本发明涉及显示,特别涉及。 背景技术 [0002] 在平面显示例如液晶显示器(IXD)、有机电致发光显示器或者无机电致发光显示 器中,薄膜晶体管一般...
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