技术编号：2716560
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种金属氧化物薄膜晶体管、阵列基板及制作方法、显示装置，属于薄膜晶体管制造工艺领域。其中，金属氧化物薄膜晶体管的制作方法包括形成氧化物有源层的图形的步骤，所述形成氧化物有源层的图形的步骤包括在基板上形成由感光材料组成的多个倒台面结构；在形成有所述倒台面结构的基板上形成氧化物有源层薄膜；将形成有所述氧化物有源层薄膜的基板沉浸在有机溶剂中，溶解掉基板上的感光材料，形成氧化物有源层的图形。本发明的技术方案能够解决采用湿法刻蚀形成氧化物有源层的图形难以...
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