技术编号：2717258
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种掩模板检测装置及方法、掩模板清洗装置，通过设置用于对掩模板进行残留物检测并生成检测信息的检测模块；用于基于检测信息，确定检测结果的控制模块，所述检测结果用于标识所述掩模板的清洁度。从而可自动实现掩模板清洁度的检测，提高掩模板清洗效果检测效率、准确性和安全性。专利说明掩模板检测装置及方法、掩模板清洗装置 [0001]本发明涉及显示，具体可以一种掩模板检测装置及方法、掩模板清洗装置。 背景技术 [0002]在显示基板，例如薄膜晶体管液...
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