技术编号：2717556
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及正型光敏组合物，其可防止在半导体制造过程中出现的半导体片的翘 曲现象，且具有优异的延展性。背景技术一般来说，在半导体处理中使用的光敏组合物大多数显示正型，因为被曝光部分 被紫外线照射在碱水溶液中溶解。所述组合物可包含溶解在所述碱水溶液中的树脂、在所 述碱水溶液中不溶解而且对紫外线灵敏的光敏化合物和其他添加剂。作为在所述碱水溶液中溶解的树脂的实例，可以提到聚酰胺衍生物。此树脂可通 过加热被转化为聚酰胺和聚苯并噁唑，从而显示耐热树脂的特性。在现有技术...
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