专利名称：正型光敏组合物的制作方法
技术领域：
本发明涉及正型光敏组合物，其可防止在半导体制造过程中出现的半导体片的翘 曲现象，且具有优异的延展性。
背景技术：
一般来说，在半导体处理中使用的光敏组合物大多数显示正型，因为被曝光部分 被紫外线照射在碱水溶液中溶解。所述组合物可包含溶解在所述碱水溶液中的树脂、在所 述碱水溶液中不溶解而且对紫外线灵敏的光敏化合物和其他添加剂。作为在所述碱水溶液中溶解的树脂的实例，可以提到聚酰胺衍生物。此树脂可通 过加热被转化为聚酰胺和聚苯并噁唑，从而显示耐热树脂的特性。在现有技术中，可使用不 具有敏感度的组合物，然而近年来，为了简化过程的目的出现了优选具有敏感度的组合物 的趋势。高集成度伴随着半导体制造技术的发展而加速，封装技术可朝向不同于传统封装 技术的显著复杂的过程进行。从现有技术的简单的一维封装技术可采用至少两层的高层叠 封装技术。所述高层叠封装技术可为相较芯片尺寸最大化芯片容量的技术。在此情况下， 为了减少由于层叠而被增加的芯片厚度，可通过在所述半导体制造过程中研磨芯片的后面 而减小芯片厚度。当所述芯片的厚度通过研磨所述薄膜的后面被最终减小至40 μ m或者更 小时，可能会出现所述薄片的翘曲现象。由于在所述薄片前面和后面使用的材料不同，线性 扩展系数会不同，于是就会出现所述的翘曲现象。当明显地发生翘曲现象时，在接下来的处 理中薄片的操作可能是不方便的，而且错误也会频繁地发生，导致产率下降。发明概述本发明的一方面提供了一种正型光敏组合物，其可防止在半导体制造过程中出现 的半导体片翘曲现象且具有优异的延展性。根据本发明的一方面，其提供了一种包含聚酰胺衍生物的正型光敏组合物，所述 聚酰胺衍生物表示为[化学式1]
权利要求
1.一种包含聚酰胺衍生物的正型光敏组合物，所述聚酰胺衍生物表示为[化学式1]
2.如权利要求1所述的正型光敏组合物，其中R4表示具有20个或更少的碳原子并含 有至少一个烯基的烷基，或者具有20个或更少的碳原子并含有至少一个烯基的芳基。
3.如权利要求1所述的正型光敏组合物，其中所述聚酰胺衍生物中R4的含量为2mol% 至Ij IOmoH
4.如权利要求1所述的正型光敏组合物，其中R5与R1或者R4相同。
5.一种包含重氮萘酚化合物、添加剂和聚酰胺衍生物的正型光敏组合物，所述聚酰胺 衍生物表示为[化学式1]0 0 ] 「0 0 X—HN——R5-HN^一R2~^~NH-R1-NH---^~R2^LNH一R4_NH__χ(AH) η(CO2R3 )m ( οη)π(CO2R3)m其中R1和R2各自独立地表示含有至少2个碳原子的二价到六价的芳基；R3表示氢原子 或者具有1到20个碳原子的烷基；R4表示具有线性结构的烷基或者具有线性结构的芳基； R5表示含有至少2个碳原子的二价到六价的芳基、具有线性结构的烷基和具有线性结构的 芳基中的任何一种；k和1各自独立地表示10到1000的整数；η和m各自独立地表示0到 2的整数(n+m > 0) ；X表示氢原子或者具有2到30个碳原子的芳基。
6.如权利要求5所述的正型光敏组合物，其中所述重氮萘酚化合物表示为[化学式2] DNQ .O m其中η和m各自独立地表示0到5的整数(n+m > 0) ；Z表示具有12到40个碳原子的芳基；R7表示氢原子、具有1到12个碳原子的烷基和具有1到12个碳原子的烷羰基中的任 一种，且二叠氮基萘醌(DNQ)表示为 [化学式3]
7.如权利要求6所述的正型光敏组合物，其中R7与DNQ的摩尔比为4 1到1 20。
8.如权利要求5所述的正型光敏组合物，其中所述重氮萘酚化合物为从由化学式5到 12表示的化合物组成的组中选出的至少一种化合物。[化学式5到12]
9.如权利要求5所述的正型光敏组合物，其中所述添加剂包括从由交联催化剂、助粘 附剂、表面活化剂、抗腐蚀剂和二(4-羟基苯基)芴组成的组中选出的至少一种添加剂。
10.如权利要求5所述的正型光敏组合物，其中在所述组合物的总量中，基于100重量 份的聚酰胺衍生物，所述重氮萘酚化合物的含量为5到30重量份。
全文摘要
本申请公开了一种包含聚酰胺衍生物的正型光敏组合物，所述聚酰胺衍生物表示为[化学式1]，其中R1和R2各自独立地表示含有至少2个碳原子的二价到六价的芳基；R3表示氢原子或者具有1到20个碳原子的烷基；R4表示具有线性结构的烷基或者具有线性结构的芳基；R5表示含有至少2个碳原子的二价到六价的芳基、具有线性结构的烷基和具有线性结构的芳基中的任何一种；k和l各自独立地表示10到1000的整数；n和m各自独立地表示0到2的整数(n+m＞0)；X表示氢原子或者具有2到30个碳原子的芳基。
文档编号G03F7/075GK102004395SQ20101012610
公开日2011年4月6日 申请日期2010年3月17日 优先权日2009年8月31日
发明者孙敬喆, 曺正焕, 朴柱铉, 李钟范 申请人:韩国锦湖石油化学株式会社