专利名称：手推车的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种运输工具，特别涉及一种用以运输光阻瓶的手推车。
背景技术：
光阻主要应用于电子工业中集成电路和半导体分立器件的细微加工过程中，它利用光化学反应原理，经曝光、显影将所需要的微细图形从掩膜版转移至待加工的基片上，然后进行刻蚀、扩散、离子注入、金属化等工艺。因此，光阻是电子工业中关键性基础化工材料。在半导体制造车间内，每天需要消耗掉大量的光阻。光阻作为一种昂贵的光敏化合物，需储存在低温避光的库存间内，当制程设备需要更换光阻时，使用手推车将光阻运输到光刻间内的制程设备处，进行光阻的更换工作。
现有技术的用于运输光阻瓶的手推车，其包括开口状的容置部以及固设于所述容置部上的搁板，所述搁板上设有与所述光阻瓶体形状相匹配的开口，可将装满光阻的光阻瓶由所述开口放置到所述容置部内，再使用现有的手推车将光阻运送到光刻间内的制程设备处。为防止光阻在更换的过程中'践落在地板上，不易清洁，进而影响光刻间的洁净度，因此常配合使用一个托盘，将光阻瓶放置在托盘上进行更换工作，每次更换光阻后清洗托盘，再将托盘放回到托盘储存地点。因此每次更换光阻时，操作人员需要另外取放托盘，浪费了时间，不利于提高生产效率。并且，还需要另外设置存储托盘的空间。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型提供一种手推车，以解决现有手推车只能运输光阻，在进行光阻更换工作时，需另外花费时间取放托盘，且还需另外占用空间存储托盘的问题。为解决上述问题，本实用新型提供了一种手推车，用于运输光阻瓶，包括托盘，活动的放置于所述容置部内；以及瓶架，活动的放置于所述容置部内，并位于所述托盘上。
可选的，所述瓶架包括上搁板、下搁板以及连接上下搁板的支柱。
可选的，所述上搁板具有开口，用于固定所述光阻瓶，所述开口形状与所述光阻瓶的并瓦体形状匹配。
可选的，所述瓶架还包括提手，设置于所述上搁板的两端。
可选的，所述托盘包括提手，设置于所述托盘两端。
可选的，所述手推车具有两个容置部。
可选的，所述容置部由侧壁和底部围成。
本实用新型提供的手推车，包括容置部、托盘以及瓶架。每次更换光阻时，将所述瓶架从所述容置部内取出，再将所述托盘取出，所述托盘可防止光阻溅落到地板上污染环境，无需另花时间取放托盘，可提高光阻的更换效率，并可在光阻更换完毕后，将所述托盘放回到所述手推车的容置部内，无需另外设置托盘存放地点，节省了空间。
图1为本实用新型一实施例所提出的手推车的示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型一实施例所提出的手推车作进一步详细说明。
参见图1，其为本实用新型一实施例所提出的手推车的示意图，所述手推车100用于运输光阻瓶，其包括容置部110，推盘120以及瓶架130。
其中，容置部110,为具有一开口的容器，其由侧壁lll及底部112构成，托盘120可活动的放置于容置部110内，并且在一实施例中托盘120还包括弧形状提手121，设置于所述托盘120两端，可方便操作人员取放托盘120。瓶架130，可活动的放置在容置部110内，并位于托盘120上，所述瓶架130包括上搁板131、下搁板132以及支柱133,所述支柱133用于连接上搁板131及下搁板132，所述上搁板131具有开口 134，其数量为两个，所述开口 134与所述光阻瓶的瓶体形状相匹配，为圆形，所述光阻瓶可经由开口 134插入到瓶架130内，放置在下搁板132上，瓶架130还包括弧形状提手135,设置于上搁板131的两端，可方便操作人员取放瓶架130。
在本实用新型的一实施例中，手推车IOO还包括推手140以及车轮150。推手140设置于上层容置部110上，用于推动所述手推车100。车轮150的数量为4个，为万向带刹脚轮，方便手推车IOO移动的过程中转向刹车。
在半导体生产制造过程中，需要更换光阻时，可将所述手推车100推至储存光阻的储存间，将装满光阻的光阻瓶由上搁板131的开口 134插入到瓶架130内。由于瓶架130的开口 134为圓形，其大小恰和光阻瓶的瓶体形状相匹配，因此可将光阻瓶固定在瓶架130内，保证在手推车100的移动过程中，光阻瓶不会晃动，确保光阻瓶的安全运输。将光阻瓶运输到光刻间后，可进行光阻的更换工作。此时，可手握提手135将瓶架130从容置部110内取出。再握住提手121将位于底层的托盘120从容置部110内取出，放置于地板上，这时，可将光阻瓶从瓶架130内取出，放置于托盘120上，开始进行光阻的更换工作。托盘120可防止在光阻更换的过程中，光阻溅落到地板上，不易清洁，影响光刻间内的洁净度。在光阻更换完毕后，可将托盘120清洗干净，放回推车100的容置部110内，再将瓶架130放置到托盘120上，将空光阻瓶运输到相应地点。由于托盘120是手推车100自带的，所以无需再另取托盘，可节省时间。且托盘120放置在手推车100内，无需另外占用空间存用托盘。
在本实用新型的一实施例中，所述手推车100包括上下两层容置部，可放置两个瓶架，每个瓶架设有两个开口，这样手推车100可一次运输四瓶光阻。在本实用新型的其它实施例中，也可结合需要，增加容置部的数量，扩展容置部的储存空间，或增加每个瓶架的开口数量，以提高手推车的运输能力。
综上所述，本实用新型所提供的手推车，用于运输光阻瓶，包括容置部、托盘以及瓶架。每次更换光阻时，将所述瓶架从所述容置部内取出，再将所述托盘取出，放在地板上防止光阻'践落到地板上污染环境，无需另外取放托盘，可节省时间，提高生产效率，并可在光阻更换完毕后，将所述托盘放回到所述手推车的容置部内，无需另外占用空间存放托盘。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1、一种手推车，用于运输光阻瓶，其特征在于，包括容置部；托盘，活动的放置于所述容置部内；以及瓶架，活动的放置于所述容置部内，并位于所述托盘上。
2、 如权利要求1所述的手推车，其特征在于，所述瓶架包括上搁板、下 搁板以及连接上下搁板的支柱。
3、 如权利要求2所述的手推车，其特征在于，所述上搁板具有开口，用于 固定所述光阻瓶，所述开口形状与所述光阻瓶的瓶体形状匹配。
4、 如权利要求2所述的手推车，其特征在于，所述瓶架还包括提手，设置 于所述上搁板的两端。
5、 如权利要求1所述的手推车，其特征在于，所述托盘包括提手，设置于 所述托盘两端。
6、 如权利要求1所述的手推车，其特征在于，具有两个容置部。
7、 如权利要求1所述的手推车，其特征在于，所述容置部由侧壁和底部围成。
专利摘要本实用新型提供一种手推车，用于运输光阻瓶，包括容置部；托盘，活动的放置于所述容置部内；以及瓶架，活动的放置于所述容置部内，并位于所述托盘上。每次更换光阻时，将所述光阻瓶放置到所述手推车上，运输到光刻间后，将所述瓶架从所述容置部内取出，再将所述托盘取出，开始光阻更换工作，所述托盘可防止光阻在更换过程中溅落到地板上。所述手推车自带可活动式托盘，无需另花时间到托盘存放地点取托盘，提高了工作效率，并可在光阻更换完毕后，将所述托盘放回到所述手推车的容置部内，无需另外设置托盘存放地点，节省了空间。
文档编号B60B3/10GK201320922SQ200820156890
公开日2009年10月7日 申请日期2008年12月10日 优先权日2008年12月10日
发明者炜 张, 金琪麟 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司