技术编号：2717747
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基板烘烤装置，其包括具有上盖组件的用于放置基板的腔体，上盖组件的内壁设置有抗粘附层。基板在烘烤过程中，溶剂挥发而在基板烘烤装置的腔体中产生溶剂烟雾。而通过在上盖组件的内壁设置抗粘附层，以避免或减小烟雾沉积在基板烘烤装置的上盖组件上。从而，通过这种设置的基板烘烤装置保证了被烘烤的基板的质量，避免了由烟雾沉积而造成的基板平整度差的缺陷。专利说明基板烘烤装置 [0001]本发明涉及一种烘烤装置，尤其是涉及一种基板烘烤装置。 背景技术 [0...
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