技术编号:2719769
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种密接型曝光装置,包括固定架和微型液压系统;所述固定架包括上底板、下底板、固定杆和掩膜基片载板,所述固定杆对称设置有两根,所述固定杆支撑在所述上底板和下底板之间,所述上底板中心位置处设置有上底板曝光通光孔,所述掩膜基片载板中心位置处设置有掩膜基片载板曝光通光孔,所述掩膜基片载板设置在所述固定杆上,并且位于所述上底板的下方;所述微型液压系统包括手动液压泵和微型液压缸,所述手动液压泵和微型液压缸之间连接有液压胶管,所述微型液压缸固定在所述下底...
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