技术编号：2719794
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在平板显示器(FPD)用的玻璃基板等基板上进行加热处理的加热处理装置。背景技术 在FPD的制造中，为了在FPD用的玻璃基板上形成电路图案，使用光刻技术。利用光刻形成电路图案按下列顺序进行在玻璃基板上涂布抗蚀剂液，形成抗蚀剂膜，以与电路图案相对应的方式将抗蚀剂膜曝光，对其进行显影处理。一般，在光刻技术中，为了在形成抗蚀剂膜后和显影处理后，对抗蚀剂膜进行干燥，要对玻璃基板进行加热处理。在这种加热处理中使用加热处理装置。该加热处理装置具有可收纳玻璃基板...
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