光阻供给系统的制作方法技术资料下载

技术编号:2721146

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本实用新型揭示了一种光阻供给系统。包括光阻容器、光阻泵、光阻供给管道、侦测模块以及分析模块,所述光阻供给管道一端插入到所述光阻容器中,所述光阻供给管道另一端与一光阻喷嘴连接,所述光阻泵设置于所述光阻供给管道上,所述侦测模块设置于光阻容器内以侦测光阻容器中压强的变动,所述分析模块与所述侦测模块连接以根据光阻容器中压强的变动确定光阻喷射情况。本实用新型能够及时的将光阻喷射情况反映出,避免了在异常发生时严重的信息滞后,有效的保证了产品的质量。专利说明光阻供给系统...
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