技术编号：2723188
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供了一种具有脱泡功能的显影装置，能有效去除显影液中的气泡，提高光刻胶清洗效果，从而提升芯片的生长良率。该显影装置包括依次设置的高压气源、气体管路、储液瓶及其出液管路；气体管路上安装有第一阀门，储液瓶的出液管路上安装有第二阀门；其特殊之处在于储液瓶的出液管路的出口端伸入一封闭的缓冲瓶内，经该缓冲瓶的出液管路流出显影液对光刻胶进行涂覆；所述缓冲瓶上设置有与外部大气联通的气体支管，该气体支管上安装有第三阀门，缓冲瓶的出液管路上安装有第四阀门。专利说明...
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