一种具有脱泡功能的显影装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种具有脱泡功能的显影装置，能有效去除显影液中的气泡，提高光刻胶清洗效果，从而提升芯片的生长良率。该显影装置包括依次设置的高压气源、气体管路、储液瓶及其出液管路；气体管路上安装有第一阀门，储液瓶的出液管路上安装有第二阀门；其特殊之处在于：储液瓶的出液管路的出口端伸入一封闭的缓冲瓶内，经该缓冲瓶的出液管路流出显影液对光刻胶进行涂覆；所述缓冲瓶上设置有与外部大气联通的气体支管，该气体支管上安装有第三阀门，缓冲瓶的出液管路上安装有第四阀门。
【专利说明】一种具有脱泡功能的显影装置
【技术领域】
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[0001]本实用新型涉及一种在半导体元器件制作过程中采用的显影装置。
【背景技术】
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[0002]曝光显影技术是芯片领域中非常重要的环节，是当今用来制备精密器件微纳米图形最常用的手法。其基本工作原理是，首先在清洗洁净的衬底表面均匀涂布一层光刻胶；然后利用掩膜曝光技术，通过紫外光的照射，使受到紫外光照射的光刻胶部分性状发生改变；最后通过显影液的清洗，将人们所需要的光刻胶图形保留下来，完成微纳米图形的设计。
[0003]光刻胶一般分为正光刻胶和负光刻胶两种。以正光刻胶为例，当光刻胶受到紫外光照射时，其分子结构发生变化，由油溶性变为水溶性，当其遇到显影液时能迅速溶解到显影液中，而未被照射的光刻胶部分将不会溶解，从而制备出所需图形。
[0004]传统的显影方法是，首先将显影液盛放在密闭钢瓶中(如图1所示)，然后开启阀门I向密闭钢瓶中冲入氮气或者压缩空气，使钢瓶内的气压大于外界气压，然后控制阀门2的开启时间，即可控制喷涂显影液的量。然而，在实际生产过程中，经常会出现由显影液中的气泡产生的缺陷，即含有气泡的显影液被直接涂覆在光刻胶上，使光刻胶和显影液发生隔离，原本受到紫外光照射，应被显影液溶解的光刻胶，由于未能有效接触到显影液而保留下来，造成图形失真，严重影响产品的质量。这些气泡大多是在向钢瓶中添加显影液时产生的。由于钢瓶中的气压超过大气压，且显影液的粘性阻滞作用较大，都不利于显影液中的气泡的有效释放。实际生产时，这些气泡会直接通过管道到达光刻胶表面，产生缺陷。
实用新型内容:
[0005]本实用新型提供了一种新的显影装置，能有效去除显影液中的气泡，提高光刻胶清洗效果，从而提升芯片的生长良率。
[0006]本实用新型的技术方案如下:
[0007]—种具有脱泡功能的显影装置，包括依次设置的高压气源、气体管路、储液瓶及其出液管路；气体管路上安装有第一阀门，储液瓶的出液管路上安装有第二阀门；其特殊之处在于:储液瓶的出液管路的出口端伸入一封闭的缓冲瓶内，经该缓冲瓶的出液管路流出显影液对光刻胶进行涂覆；所述缓冲瓶上设置有与外部大气联通的气体支管，该气体支管上安装有第三阀门，缓冲瓶的出液管路上安装有第四阀门。
[0008]另外，本实用新型还将储液瓶的出液管路的出口端设计为多孔喷头形式。这样，通过多孔喷头的喷淋，来自储液瓶的显影液中存在的气泡会破裂，从显影液中释放出来。
[0009]本实用新型具有以下优点:
[0010]本实用新型采用两级出液，设置缓冲瓶，通过缓冲瓶的大气联通环境使得显影液中的气泡得到有效释放；而且，采用多孔喷头作为缓冲瓶内的入液端口，喷淋过程也将显影液中存在的气泡进行初步释放。最终，能够使得显影液无气隙地涂覆在光刻胶上，清洗质量闻，从而提升芯片的生长良率。【专利附图】
【附图说明】:
[0011]图1为传统显影装置图。
[0012]图2为本实用新型的结构示意图。
[0013]附图标号说明:
[0014]1-氮气瓶；2_储液瓶(密闭钢瓶);3_缓冲瓶；
[0015]11-第一阀门；12_第二阀门；13_第三阀门；14_第四阀门。
【具体实施方式】
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[0016]如图2所示，本实用新型中，储液瓶2的出液管路的出口端采用多孔喷头的结构形式，该出口端伸入一封闭的缓冲瓶3内，经该缓冲瓶3的出液管路流出显影液对光刻胶进行涂覆；所述缓冲瓶3上设置有与外部大气联通的气体支管，该气体支管上安装有第三阀门，缓冲瓶3的出液管路上安装有第四阀门。
[0017]采用本实用新型，可按照以下步骤操作:
[0018]一，补液:首先打开第一阀门11和第二阀门12，关闭第三阀门13和第四阀门14，在压强差的作用下，显影液会从储液瓶2流入缓冲瓶中，完成补液，通常要求缓冲瓶3中显影液的缓冲量超过缓冲瓶容积的三分之二。在这个过程中，显影液经过多孔喷头，对气泡进行初步释放。
[0019]二，静置:打开第三阀门13，关闭第二阀门12和第四阀门14，此时，缓冲瓶3中的气压为大气压，增加显影液中气泡的释放。
[0020]三，涂液:关闭第一阀门11和第二阀门12，打开第三阀门13和第四阀门14，通过控制第四阀门14的开启时间，即可控制显影液的涂布量。
[0021]四，补液:关闭第三阀门13和第四阀门14，此时，缓冲瓶中为大气压，打开第二阀门12，显影液会由于压强差，自动从钢瓶流入缓冲瓶中，完成补液。
【权利要求】
1.一种具有脱泡功能的显影装置，包括依次设置的高压气源、气体管路、储液瓶及其出液管路；气体管路上安装有第一阀门，储液瓶的出液管路上安装有第二阀门；其特征在于:储液瓶的出液管路的出口端伸入一封闭的缓冲瓶内，经该缓冲瓶的出液管路流出显影液对光刻胶进行涂覆；所述缓冲瓶上设置有与外部大气联通的气体支管，该气体支管上安装有第三阀门，缓冲瓶的出液管路上安装有第四阀门。
2.根据权利要求1所述的具有脱泡功能的显影装置，其特征在于:储液瓶的出液管路的出口^而米用多孔喂头。
【文档编号】G03F7/20GK204178123SQ201420617826
【公开日】2015年2月25日 申请日期:2014年10月23日 优先权日:2014年10月23日
【发明者】商毅博 申请人:西安神光皓瑞光电科技有限公司