非接触式微镜的制作方法技术资料下载

技术编号:2732133

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鉢领域>^发明涉; 1孩丈镜的制造。 背景鉢空间光调节器(SLM)可具有带^J"表面的可倾4H^i车列。每^1可 利用静电力倾斜成"开"位置和'关"位置。静电力可由4l^p舰下的一个或多个电极之间的电位差产生。在"开"位置,微#^可将趟^^以形 示图像中的图像像素。在"关"位置,微舰引导A^"光离开显示图像。 发明内容在一方面,描述的微^^置包括由衬底支撑的4^链,其中4^^^有大于 1孩沐的M,小于800納米的厚度,和小于1000纳米的M;和镜板,...
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