非接触式微镜的制作方法

专利名称：非接触式微镜的制作方法
鉢领域>^发明涉; 1孩丈镜的制造。 背景鉢空间光调节器(SLM)可具有带^J"表面的可倾4H^i车列。每^1可 利用静电力倾斜成"开"位置和'关"位置。静电力可由4l^p舰下的一个或多个电极之间的电位差产生。在"开"位置，微#^可将趟^^以形 示图像中的图像像素。在"关"位置，微舰引导A^"光离开显示图像。 发明内容在一方面，描述的微^^置包括由衬底支撑的4^链，其中4^^^有大于 1孩沐的M,小于800納米的厚度，和小于1000纳米的M;和镜板，其可 围绕铰链倾斜，其中当m^非倾斜位置倾斜离开时，铰链可在4^Lh产生弹另一方面，描述的孩吏4t^置包括由衬底支撑的4^链，其中铰链具有小于 150GPa的杨式模量；和镜板，其可围绕铰链倾斜，其中当镇^w非倾斜位置倾 斜离开时，铰链可在^Lh产生弹性'l^;。另一方面，描述的微^^置包括由衬底支撑的铰链，其中铰链具有大于 1樣沐的M，小于800纳米的厚度，和小于1000纳米的￡^;镜板，其可围 绕铰链倾斜；和控制器，其能产生电信号使^^#拟目对衬底表面成2度或 大于2度的倾^置，并4吏^^不与除4^彬卜的其它衬;U:结构^^触。铰链 能# ^倾離置弹1^1^到实质上平^i^衬底。另一方面，所公开的系#方法提#-"种铰链，其通it^棒低刚度铰链设 计或铰M^料允许在低驱动电压下使倾^^倾斜到较大的角度。提^4^链的M，厚度，t变以;si，性常量的条泮以获得可倾^i中的低刚度铰他i^描迷的该系鍵糸方法的实现包^个或多个以下特征。铰^ t静电力减小或去除后能#^举|±'^^到非倾斜的位置。该微^^置可进一步包括位于衬底上的电极。控制器可向电g加电压以产生静电力。4te^处于非倾斜 位置时可与衬底Ji4面实质上平行。在倾斜位置倾斜角相对非倾^置可以是 或大于3度，在倾斜位置倾斜角可以是相对非倾^置等于或大于4度。铰链 可具有大于2微米的M。 4^链可具有小于300纳米的屌vl和小于700纳米的 H 4^^^T具有小于150GPa的杨式模量。4^^^T具有小于100GPa的杨式 敞铰链可包括铝。铰链可包緣氮德。实现过程可包^T""个或多个以下优点。本说明书么青了-^t衬;IUi倾， 板的筒单结构和驱动该倾^H^的方法。倾^^可响应控制H^供的电信号倾^##在一个预定的角度。在衬底Jiil4^上不需要—^r才城制动器以制 动倾^H^并P艮定m的倾斜角。与那些带;N^制动器的微^^置相比，没有 才;i^制动器能使微^^置的结构简^匕。#^衬底上的结构，比如^a制动 器，之间不存^WS^触也可解决在传统^^置中的镇iW4M^制动恭之间存在静摩擦的问题。i^描述的^L^置tb^传錄置中的^SL倾^m窄的角度。 较小的^^倾斜可在4^L旋转围绕的铰^Ji产生较小的应力。这样的装置产生 的;tM^故障的可能'fi^小。这样，装置的^^I寿命会更长。进一步，因为^il 些装置中铰链不需要絲很大，可选辦为铰働成的材料也更多样。更进一 步，因为镇)feSL^受较小的角度倾斜，它能以更高的频率工作。虽然已经利用多个实施例^^展示^H兌明了本发明，^M页域才i^A员应 当衝醉，可在形式和细节上作出M的改变而不脱离本发明的彬申和范围。


并入^fisA^i兌明书"^分的下列附图，与本"i兌明书""^，说明了本发明 的实施例，用于解^^本发明的原理。 图l^i孩i镜的it^L图。 图2是图1的孩史镜的^^^见图。 图3是图1的微镜的,抖见图。图4A和4B示出了趟^^皮倾^^别在"开"方向和'关"方向上的反射。图5示出了航器发射的A^i^皮倾^H^的A^h图6示出了i^t^l管;^射的A^M^皮倾W 板的^J"。图7示出了包^t镜的图^^:影系统的排列。图8示出了镜板中驱动电压J^f和所产生的倾斜角的瞬时图。的响应曲线。 ， '图10图表示出了适合于一^^触^#触微镜的铰^#料的应力失真响应。 图11图表示出了与包括不同材料成分的铰Mit件的标賴区动电压成函数关系的镇 ^倾斜角的响应曲线。图12图表示出了与具有不同材料成^I铰m^件的驱动电压成函数关系的镇^1倾斜角的响应曲线。图13图表示出了与具有不同刚度的铰^L件的驱动电压成函数关系的镜^L倾斜角的响应曲线。图14是在图2的微镜中延长校链的放大视图。如图1-3,微镜100可包括位于村底300上的镜板U0。 4^110可包括反 射层lll，间隔层U3，和铰Ml14。在一些实施例中，间隔层113包^-"对 开口 108a和108b。在一些实施例中，铰链层114包括两^H^^t件120a和120b。 铰^it件120a和120b通itM"延长铰链163a和163b相对应地与铰M 114 的主体部^^接。延长铰鲢163a和163b被位于延长铰涟163a或163b两侧的 间隙从铰M 114的主体部分分离。当没有外力胁到舰110上时，舰110 处于非倾斜的位置。非倾斜的位置可实质上与衬底的J^4面平行。■ 110可 关于由两个4^^t件120a和120b限定的轴倾斜。一^h^^L件120a(或120b) 与位于衬底300上的铰链支柱121a (或121b)连接。铰链支柱121a可形M 单一构件，或包含两个或三个部分。比如，铰链支柱121a可包括可在分开的沉 积步骤中形成的上部分123a、中部分123b、和下部分123c。微镜100可进一步包括位于4^链支柱121a、 121b的一侧的具有下部分130a 和上部分131a的一两部分电极，摊于4^链支柱121a、 121b的另一侧的具有 下部分130b和上部分131b的另一两部分电极。电极下部分130a、 130b可通过 图案4沐蚀刻同一导电层形成。电极上部分131a、 131b可由在电极下部分130a、130b上的另一导电层形成。4^链支柱121a、 121b与控制线311相连，两部分 电极130a、 131a与控制线312相连，两部分电极130b、 131b与控制线313相 连。控制线3U、 312、 313的电位可以通过控制器350提供的夕Mp电信号^f 控制。镜板110和两部分电极130a、 131a或两部分130b、 131b之间的电位差 能够产生使舰110倾斜的静电扭矩。参见图3和4A，控制器350能够产生静电力以^J良扭曲的延长铰链163a 或163b产生的弹I"生'1^力以从非倾^置向倾^^置倾舰板。倾斜位置可以 是"开"位置或"关"位置。静电力可以与弹性'^1力反向以^MH^:于"开"位 置或"关"位置。非倾斜位置可与"开"位置和'关"位置不同。在一些实施例中，非倾^Ki置也可与"开"位置或"关"位置相同。m 110可在一方向M非倾斜位置倾^FJ^目对于^J"底300成倾斜角e加。舰110可A4tA4t光330以形狄 射光340沿"开"方向传播，以至于M光340可到达显示区域以形成显示图像。 "开"方向可以垂直于衬底300。因为入肘角(即，入射光330g法线方向之间 的角度)和M角(即，膽光340和镜法线方向之间的角度)相同，趟光 330和絲光340形成两針* 110的倾斜角e。n的26。n的角度。如图4B， 110可^目对于衬底300也成倾斜角9on方向的相^r向上 对称倾斜。舰110可^JtA4t光330以形^Jt光345在"关"方向上传播。 M光345可被一光圏(图5-7中的530)阻挡，并^Ut吸收器吸收。由于A^j" 光330的趟角为30。n，威角也应该是36。n。因此，"开"和'关"方向上的反射光340之间的角^4e加，是舰uo的倾斜角e。n的四倍。A4t光330可由不同的光源提供，比如a器500或^ife^l管(LED) 510，分别示于图5和6中。激光器500发射的A^ife^相干的并^^皮镜板110 >^^后仍^#准直。光圏530， 6器500，和milO这^^排列，以至于当倾 斜在"开"方向上时财所有由條110絲的絲光340穿狄圏530的开口 535。从LED510发射的A^"光330通常是不相干的，向于lt^距离发l光 圏530, LED510，和瓶110这样可这样排列，以至于由在"开"方向的舰110 A^"的大多数光穿itit圏530中的开口 535。例如^j"光340可穿过开口 535， 同时，^y^f光340发散离开的絲光340a和340b ^Jt圏530 P雄。在图7中示出了基于微镜P车列100的示范性图傢投影系统700。红、绿、 和蓝'^J6器500a、 500b和500c可分别发射红、,蓝色'^t^330a、 330b和330c。红、^蓝色光330a、 330b和330c可穿过扩散片710a、 710b和710c， 以形成彩色光331a、 331b和331c。扩散片710a、 710b和710c可调整大小(例 如扩大)并能够将^bt束330a、 330b和330c的形状调整为与微镜P车列100 — 致的截面形状。例如，彩色光331a、 331b和331c的形状可被调整为矩形，其 能与樣i镜阵列100的形状更一致。彩色光331a、331b和331c可^L^分离器720a、 720b和720c (其用作束合成器)A4t，合并成-H^^A^光330。在一些实施 例中，彩Mt光330可被全内絲(TIR)棱镜740絲来调^^^Of光 330的方向以照射位于支撑部730上的微镜100。被位于"开，，位置的舰110偏 转的A^光340可穿过TIR棱镜740和光團530的开口 535，并被投影系统750 投影以形M示图像。
光圏530、 TIR棱镜740、以及微镜100的相对位置可这样朝刚，使棒(i于 "开"方向上的几乎4^緒光340能够穿过开口 535,而位于"关"方向上的飾 ;5t^j"光345能够^L^圏530卩雄。^-^^^t圏530卩雄的絲光340在 显示亮^Ji是一种损失。穿过开口 535的任何偏离的M光345将斷氐显示图 像的对比度。絲光340和絲光345之间展开的角狄大，鄉易分离絲 光340和M光345，以 _示图像中实 大^1和对比度。换句^i兌，显示 系统700中的倾斜角0。n (或e必)越大，鄉易分离絲光340和絲光345， 以至于实质上4^a光345被P且掉，和实质上4^P反射光340能够到达显示 表面以形成显示图像。
在一些孩史^^置中，4^的倾^^多^f皮才A^制动謝亭止。当m与才A^制 动器接触时倾斜微镜的"开"^"关"位置被镜板的方位限定。相反，微镜100不
包括限制舰no的倾鞭动的才;i^制动器。舰no的"开"和'关"位置净她
加到镜板110和两部分电极130a, 131a， 130b和131b的驱动电压控制。因为 这个原因，本申请公开的镜板110被称为"非接触"微镜。运用才;ua制动器或包
括在倾^置与衬底接触的m的传统镜系统可被称为"接触"微镜。
Jt4区动电压乐辦801和负驱动电压乐辦802在图8中示出，在图中表示镜 倾斜角。零倾斜角对应非倾斜状态(通常在水平方位)，在此状态下m与^l"底 的表面平行。4^L在非倾斜状态不承受^^r举性'l^l力。正驱动电压脉冲801 包括驱动电压V。n并用于控制4^WJ"开"位置。iE4区动电压J3^t 801可产生静电
力，^#^^"开"方向(在图中是逆时针方向)上倾斜到相对于衬底的J^面成倾斜角G。n。 ^tm的倾斜，#^受由^4长4^^^#变形产生的弹性恢 复力，例如在顷时针方向该举性'l^;向m^口力。尽管静电力絲倾斜角 的增加而稍孩辨加，^&'^1力作为倾斜角的函数增加比静电力更决。当弹 性'^^;变得与静电力相等时，4^:刷亭在倾斜角9冊处。换句^i兌，^ii
处。'^*初可在区^811的平均倾斜角e。n周围振荡并船停留在倾斜角e。n 处。
相合她，负驱动电压I^中802用綠制^J'J"关"位置。电压乐辦802包 括驱动电压V。ff。电压l^f 802可产生静电力在"关"方向(例如顺时针方向)上
4^i倾斜到相对于衬底的ji4面成倾斜角e。ff。同样，4^L非倾^Hi置不承 受j^r弹性'1^7。崎倾斜角的增加，延长铰链的滩变形产生举ii'i^;， 其M时针方向Jl^口力。举性'tt力作为倾斜角的函数比静电力增加更快。
当萍性'1^;变得^#电力相等时# :^1亭棘倾斜角e。ff。 ^ifeit过负电压
e通处。# :初可在区域821的平均倾斜角eoff周围振荡并i^停留在倾斜角 e。ff处。倾斜角e。n和e。ff可具有相同大小或具有不同大小。在负驱动电压脉沖802 移除后，4t^,iu^长铰,股立回到零倾斜角(即水平方位)。
与驱动电压成函数关系的镇板倾斜角的响应曲线在图9中示出。响应曲线
包括非接触微镜的倾斜角区域。为了t汲，响应曲线也描述了接触型微镜的倾
斜角区域。镜板的倾斜角首先随驱动电压函数沿曲线905 ，,加。接着， 倾斜角沿着曲线910 g驱动电压增加iS^增加，直到4^在急变电压V咖p处 "急变，，，在急变电压V，p下倾斜角增加而萍性'^l力停jBf加。静电力 倾 斜角的增加继续增加。更强的静电力和恒定的塑性'欧力(见图10)之间的不
平衡急剧，加倾斜角到e,，这时4^的倾^#^^皮衬底上的枳械制动器停 止。^^说明书中，术洽'急变"表示舰的不平衡舰的不稳定状态，其中镜
板^i4倾斜直到它被固定物体停止。
#^的"急变，，是在微镜中的铰链的才;*^性产生的结果。如图io，比如，
通it^^^"底上的电^l之间的静电力，^^4tWl产生应力。^^氐应力区^<校 链的变形沿曲线1000随着应力增加。曲线1000表示铰^t应力的举性响应。 在具有实例铰^#料的微镜中，铰錄变形Dl ^ji急变。换句"^兌，崎倾斜角增加到与D1相应的倾斜角以上，萍性'l^l^停iJt加。曲线1010表示铰
^N"料的塑'性区域。ii^H^^N^Hi合于^fM^^^触型孩^iJi。
如与图7相关的Jiii讨论，^^触微镜^i^具有比如大约2。，大约3。，大 约4°，大约5°，或更大的倾斜角，用于最佳化显示图像的亮度和对比度。这样 的倾斜角可将iiAjfe分离到"开"和'关"方向。大的"开"和'关"倾斜角H^"求镜 ^宽角度范围倾斜，然后被铰,f生'l^^非倾4sHi置。图10示出了另一种 实例4^^H"料的应力变形响应曲线，该铰^H"料在变形D2>D1处*性响应曲 线1000转絲塑性响应曲线1020。该微镜具有更宽的举性铰敏形范围，因此 妙适合于非接触镜的应用。D2和Dl之间的区别可由镜板110材料成分的不 同而导致(如图12所示)。作为对比，4^触孩丈镜可以具有窄的举性铰链变形范 围，因而相对小的驱动电压可使^急变以使该4^与才A^制动器接触。因此， 与塑性曲线1010相应的賴t^^适合于接触孩i镜。适合在微镜IOO中'MM务触"微 镜的铰^t料的一核'J子是m氮化物，具有大约0到15%，或0到10%范围 内的HA分，和/或大约相等成分的铝和钬。用M氮^M^^制成的铰， 料的-H^'J子是AW/。TV/。N4。/。。
回看图9,微#倾斜角emax产生急变之后， 驱动电压的制氐，在
线915表示的驱动电压的范围，当驱动电压减少时，镇^L^M^t与才;i^制动
^4^触。在铰^il回到举lt区域^，'欧它的萍性力，并可以^JIUMM^制 动器上的静摩擦，微^if沿响应曲线卯5倾^回，其中驱动电压与线920 交叉。曲线905 , 910和线915， 920代表的滞后现象是接触微镜的辆特性。 4M^触微镜的工作窗口是在^的5^生区域中沿曲线905。 4^1可通过驱动电压
v。j皮倾W^f^r在倾斜角e冊或e必处。在静电力移除后，4^i可通过铰链i63a
和163b沿相同的响应曲线905弹性'1^回初始位置。^^说明书中^Hf的4喊 触微镜100没有相关的实质性的滞后。
图11示出了与包括不同材料成^铰链的驱动电压成函数关系的镇板倾 斜角的响应曲线。标准驱动电压仅^U:被微镜急变电压分开的驱动电压。作为 标准驱动电压的函数，包括不同材料成分的铰链的^倾斜角可沿不同曲线 1105上升。TiM合金，AlTiN^H^物，和AlTi ^r制成的铰链比AlCu制成的 铰链倾斜角要大。上述的铰链材料可包括下面举例的成分TiNi合金的 Ti5o。/。Mso。/。， AlTiN^^的Al48。/。Ti4s。/。N4。/。， AlTi^r的Alg^Tis^,和AlCu^ ^J Al9o%Cu10%。
如Ji/斤述，*可在曲线1105限定的角度范围内倾^弹性')^1至它们相 应的非倾#^置。4^^触孩i镜工作的曲线1105的可利用的倾斜角的范围对于上 述的材料成分是不同的。在图11所述的4^例子中，Ti9o。,。Ni諷制成的铰链比 其它两种铰^#料成分允许非接触#^更宽的角度范围内倾^a弹l"生'1^。
适合于微镜的铰^N"料可包括比如钬，金，银，镍，铁，钴，铜，铝或其 组*的材料范围。铰链也可包括一定量的絲氮，#^'说，当一种或多种金 属，比如两种金属，在氮或氧气氛中使用物理^目沉积方法沉积时，沉积的化 #或^^可以包^定量的氧或氮。铰链可由TiNi制成，其中M分在大约 30%到70%之间，或在大约40%到60%之间，或在大约45%到55%之间。铰 链可由AlTi制成，其中^分在大约30%到70%之间，或在大约40%到60% 之间，或在大约45%到55%之间。"4N^触"微镜的合适的铰^f料也可包括铝 钬氮^^， ^^有范围在大约0%到10%之间，或在大约0到15%之间的贼 分，和大约相等的铝和M分。由皿氮化物组成的铰链可实质上不含其它成 分(在本文中，实质上不含的意思是其它成分可以与制造ii^Nl应的痕量(trace amount)存在)，特别是可实质上不含氧。
如图12所示，具有^ft不同材料材料l，材料2，和材料3制成的铰链的 ^L倾斜角最初沿相同的曲线1205iW上升。对材料l,材料2，和材料3制
成的铰链的急变电压V，" Vsnap2，和Vs—可以不同Vsnapl<Vsnap2<Vsnap3。相 应于铰链材料的工作窗口的非接触倾斜角e。nl， 0。 2，和6。 3也可不同 0。nl<0。n2<e。n3。在图12中所示的例子中，材料3更适合泎为4^^触微镜的铰链
材料，因为它可以提^^l倾WH^l到非倾棘置的最大的角度范围。比如， 材料3制成的铰链可^目对于非倾^ii置的大于或等于2度，3度，或4度的第
一方位,欧瓶。
方法。可倾#^1能够响应于控制器提供的电信"!^皮倾^^#在预定的角度。
在衬底或m上不需要^制动器来停止倾斜的^^限定m的倾斜角。取
消枳械制动器不仅简化了微^^置，而且去除了公知的在某些传统M置中存
在于^HM^制动H^间的静摩擦。i^描述的m^置可比那些装置中的 4^SL倾斜更窄的角度。较小的4^L倾斜导lt^^L旋转围绕的铰链中较小的应力。这样的装置较小可能产生W^故障。这样，该装置的<^生命期可更长。 进一步，铰链不需要^^传^^置中絲的那么多，铰链制造可选賴材树 类更多。更进一步，#^受更小的角度偏转，它可在更高的频率下工作。
#参考图13，在其它实施例中， 110的倾斜角M于铰链163a或 动电压的响应曲线。该响应曲^^W区动电压下;^ie似直线的。当驱动电压接
近于急变电压Vsnap2时，^iLi急变，在倾斜角e础ect处形成偏转点。在0defl^
以上，驱动电^f肖孩辨加则镜的倾斜角'fei增加。絲低于eelastic的镜倾斜角
下，包括在6def^和ee一之间的倾斜角范围，^L可萍性'隨。当镜倾斜角超
过e赫c时铰链狄塑性，其中4^不育诚过铰链的弹法'^l^l^l到非倾^
置。需要夕卜郎力比*电力#^1'1^回到非倾斜位置。Vs—的例示电压可以 是大约15伏。e關eet可大约是4度。
用"软铰链"才斜己的曲线是镜倾斜角对具有相对小刚度的铰链的驱动电压的 响应曲线。该响应曲线在4W区动电压下是近似直线的。当驱动电压在倾斜角 edeflect处接近于急变电压Vsnapl时,#^^急变，在倾斜角6defleet处形成偏转点。 在8deflect以上，镜的倾斜角絲驱动电压快速增加。镜倾斜角在ee睢(在0deflect 以上)以下^1可弹性'^1。当镜倾斜角超过0e睡时铰敏成塑性，不負腿过 举性'^^')^l倾^H^斜的m。软铰链的例示电压Vsnapl可以是低于10伏， 或5钱更小。
在镜板110中铰链163a或163b的刚度取决于多个因素，比io^链的尺寸 和弹Ii^量。如图14所示，铰链163a可以形成为具有"l^l"L，，， ]^>l"b，，，和 厚;l"a"的延长形状。具有较长的"^1"L"，较窄的tJL"b"，和絲的厚度"b" 的铰链具有较小的刚度。#^说，软铰链163a的厚度"a"在大约30到800纳米 的范围，或在大约600到800纳米之间，或小于大约700纳米，小于600纳米， 或小于500纳米；宽度"b"在大约50到1000纳米的范围；长度"L"在大约1-IO賴沐的范围。jtb^卜，铰^#料的杨式模量>(/￡^^#在150Gpa以下以降"f緣 链的刚度。适合的材料可包括钬(具有杨式模量大约UOGpa)和钬氮化物(具 有杨式模量在120 - 146Gpa的范围)。铰链的刚度可通iii^择具有小于100Gpa 且大于5Gpa的杨式模量的铰MM^i—步减小。举例说，适^&链的材料包 括具有大约70Gpa杨iC^量的铝。
12可以理)lf^开的方法可适合于微镜的其它结构。除了上面描述的材料外不 同的材料可被^^I形成m，铰M^接柱，铰链支柱，电^P才城制动器的各 层。电极可包括如图所示的多层，或单层导电材料。镇 fel可具有不同形状，比如矩形，六边形，菱形，或Ait形。驱动电压乐辦可包括不同波形和极性。显 示系统在不偏离本发明的樹申下可包括M的不同结构和设计。在其中说明了数值范围的^^r例子中，数值端点可包絲述的数值或大约描述的数值。换言之，当成分具有X和Y。/。之间或从X到Y。/。的成分时，它可具有X和Y。/。之间 或在大约X到大约Y %范围的成分。
权利要求
1.一种微镜装置，包括由衬底支撑的铰链，其中该铰链具有大于1微米的长度，小于800纳米的厚度，和小于1000纳米的宽度；和镜板，其可围绕该铰链倾斜，其中该铰链被配置为当该镜板从非倾斜位置倾斜离开时在该镜板上产生弹性恢复力。
2. 如^5U'J要求1的微4t^置，还包M制器，^^S己置为产生静电力来克月^^斤iiiff生'l^;，以将所述4^u^斤述非倾^^置倾斜到倾^置。
3. 如;M'J要求2的微^^置，其中所述控制器鄉己置为产生静电力M向 作用于所*性'1^7，以将所述#^1^#在所述倾^:置。
4. 女H5U'J要求1的微4t^置，其中所述铰链^S己置为在静电力减小或移除 后将所述m^imi到所述非倾顺置。
5. :H5U，J^求1的微4t^置，还包括位于所述衬^Ji的电极，其中所述控 制器^^己置为向该电g加电压产生静电力。
6. :N5U，虔求1的微4t^置，其中所述镜板当处于所述非倾^置时实质上平行于所述衬底的Ji^面。
7. :N5U'漆求1的微^^置，其中在倾^:置的倾斜角是相对于所述非倾斜位置3度或大于3度。
8. 如^U'漆求7的微^^置，其中在倾斜位置的倾斜角是相对于所述非倾 ^H立置4度或大于4度。
9. :M5U'漆求1的微^^置，其中所迷铰链具有超过2 的狄。
10. 如;M'j要求1的微4t^置，其中所述铰链具有小于300納米的厚度和 小于700纳米的t变。
11. ^^U'j^"求1的微#^置，其中所544^^具有寸氐于150GPa的杨線量。
12. 如^'要求9的^btt^置，其中所述铰链具有低于lOOGPa的杨i^量。
13. 如^U'〗^"求l的孩i^^置，其中所述铰链包括铝。
14. 如^'J要求1的微^^置，其中所述铰链包M氮^^。
15. 4微敉置，包拾由衬底支撑的铰链，其中该铰链具有低于150GPa的杨式模量；和 镜敗，其可围绕该铰链倾斜，其中该铰链^S己置为当该m^非倾^置 倾斜离开时在该mJi产生举lt'1^7 。
16. :N5UN要求15的微M^置，还包括控制器，^^Si置为产生静电力来 JW斤絲性'1^1^，以将所述^A^斤述非倾斜位置倾斜到倾^Hi置。
17. 如^，澳求16的微#^置，其中所述控制器净站己置为产生静电力;^ 向作用于所^1"生'1^力，以将所述4^1^Mt在所述倾^置。
18. i4WJ要求15的微#^置，其中所述铰链,AS己置为在静电力减小或移 除后将所述4^f性随到所述非倾斜位置。
19. 如^U'漆求15的微#^置，还包括位于所述衬iUi的电极，其中所述 控制器净颠&置为向该电M加电压产生静电力。
20. :N5U'漆求15的微^^置，其中所述镜板当处于所述非倾#^置时实质上平frf所述衬底的J^4面。
21. :N5U'J要求15的微^^置，其中在倾^置的倾斜角是相对于所述非 倾雜置3度或大于3度。
22. :H5(^要求15的微^^置，其中所述铰链具有超过l孩沐的长变，小 于500纳米的厚度，和小于1000纳米的H
23. :W^^要求22的微^^置，其中所述铰链具有超过2孩沐的狄，小 于300纳米的厚度或小于700纳米的H。
24. :^5U'j要求15的微^^置，其中所述铰链具有低于100GPa的杨^量。
25. :N5Uf']要求15的微^^置，其中所述铰链包括铝或钬氮^^。
全文摘要
本发明涉及一种微镜装置，该微镜装置包括由衬底支撑的铰链和围绕铰链可倾斜的镜板。铰链具有大于1微米的长度，小于500纳米的厚度，和小于1000纳米的宽度。当镜板从非倾斜位置倾斜离开时铰链可在镜板上产生弹性恢复力。
文档编号G02B26/08GK101324704SQ20071016468
公开日2008年12月17日 申请日期2007年10月26日 优先权日2006年12月13日
发明者潘晓和 申请人:视频有限公司