技术编号：2732321
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。;^ f涉及微镜(micromirror)的制造。 背景絲可以利用具有M面的可倾^H^L阵列;^造空间光调制器(SLM)。通 过静电力可#^^4^ (mirrorplate)倾斜到"打开"位置和'关闭"位置。该静 电力可由该^L^r^,下面的一个或多个电极之间的电位差产生。在"打开" 位置，该微條能够^J"A^"光以扭示图像中形成图像像素。在"关闭"位置， 该微^L引导A^i^离该显示图^0发明内容在一^^r面，本发明涉及一种微^^置，其包括由J^UL撑的...
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