专利名称：非接触微镜的制作方法
;^ f涉及微镜(micromirror)的制造。 背景絲
可以利用具有M面的可倾^H^L阵列;^造空间光调制器(SLM)。通 过静电力可#^^4^ (mirrorplate)倾斜到"打开"位置和'关闭"位置。该静 电力可由该^L^r^,下面的一个或多个电极之间的电位差产生。在"打开" 位置，该微條能够^J"A^"光以扭示图像中形成图像像素。在"关闭"位置， 该微^L引导A^i^离该显示图^0
发明内容
在一^^r面，本发明涉及一种微^^置，其包括由J^UL撑的铰乾 围绕该4^链可倾斜的4^1，其中该铰链翻eJ^yEi亥^^被倾斜时在该^^Lh 产生举性紋力；以及能够产生静电力来U3艮该弹性'l^力以将该4t^^非倾 錄置倾斜到"打开"位置或"关闭"位置的控制器。该静电力,处& ^抗该弹 性')^1^以便将该^1##在發'打开"位置或"关闭"位置。
在另一^^r面，本发明涉及》"#微#^置，其包括由^i^LiL撑的铰链， 围绕该铰链可倾斜的m，和控制器，用于能够产生电信号以便将该^i^絲
;feUi的l^^铰链^卜的^^可结构。该^^可5McS己置^M^该4t^w该倾斜方向弹 ',^A过平怖亥絲。
在另一^h-^方面，本发明涉及一种微4^^置，其包括由差jjlil撑的铰链 和围绕该铰链可倾斜的4^1。该铰链可包括从由以下材朴沟成的组中选择的材 料絲大约30%-70%之间的4^^^|钬^^、財大约30%-70%之间的 ^E^I钬4S^N具有大约5%-20%之间的铜组^|4§41^^具有0-大约 15%范围内的^i且^^氮^S4S^ (aluminum titanium nitride )。
在另一^-^方面，本发明涉及一种控制^i^的倾^动的方法。该方法 包括^^^ tUi产生静电力，该银板围绕由J^支撑的^;^可^5斜。该铰^该^l被倾斜时能够在该4^Ji产生举l!i鍵力。该方法还包括U艮该举性
^!i;以便使该^^非倾斜位置倾斜到"打开"位置或"关闭"位置，以及将该
#^##在与该弹性1^7平躺该"打开"位置或"关闭"位置。
系统的实财式可包括下述特征的一个或多^Nt征。方向可相对于该Jj^ 的表面为三度或三度以上，并且铰链可^j&^Mf^^倾斜方向举I^'随
成;^L平行于J^。方向可相对于该J^1的表面为四JL或四度以上，并且铰链 可舰置成##^倾斜方向弹,^^过平付絲。该铰链可包括从 由以下^r构成的组中选，^r:財大约30%-70%之间的钬组^|钬* 金、財大约30%-70%之间的钛组分的钬4&^金、財大约5%-20%之间的 铜组^4S^^具有大约0-15%范围内的象組^氮^45^铰链可包括 氮^4g4t。氮化银汰中的铝和钬可以具有近4財目等的组分。氮^l&汰中的氮组 分可以在0到大约10%的范围内'铰链可包^fel^r。钬4^r中的^a分 可以在大约40%到60%的范围内。钬4!^金中的钛组分可以在大约45%到55% 的范围内。铰链可包^^5^r。钬^^中的^a分可以在大约40。/o到60。/0 的范围内。钬45^中的^1且分可以在大约45%到55%的范围内。铰链可包括
氮^fe^。氮^4^汰中的铝和钬可以具有近合:^目等的组分。f/f^汰中的氮組 分可以在0到大约10%的范围内。铰链可包^fcD^r。钬^^r中的4^且分 可以在大约40%到60%的范围内。钬l^金中的钬组分可以在大约45%到55% 的范围内。铰链可包^L4S^r。钬4&^中的4^^分可以在大约40%到60% 的范围内。钬^^中的^a分可以在大约45o/o到55。/o的范围内。铰链可使镜 ^A^—方向举)!iMW^^到第二方向，该第一方向相对于M的表面为两度或 两度以上、相对于M的表面为三度或三度以上、或射目对于a的表面为四 度或四度以上，而该第二方向;kJt平frf基板.微^^置可*組包^制器，
三JL或三度以上、或者为四度或四度以上的方向上。
各实财式可以包括下述优点的一个或多往点。本说明书^Hf了一种用
制1^1_供的:信号，可将该可倾^^L倾斜到^Mf在预定角度: 上不需要^^雄器来P雄倾斜的，并P艮定该^L的倾斜角。当与一些具有
才貞!24i器的传^Jblt^置相比，消除W^J4i器可以筒化浙史^;^置。^上的结构(例如，^阻挡器)之间没有;N^^触也可以消除已知在传统 ^^置中存在于4^HM^雄H^间的粘贴(stiction)问题。i^E描述的镜 ;t^^可倾斜到比传^^置中的^^的角^^窄的角度。较少的^^倾斜可导 ^L该^i^^斤围^^转的^^Ji较少的张力，这种装置可食^少Akiit^^^W。 因此，这种装置的有絲命可以较长。W卜，由于不需JH^链^i^传^^置中 那样旋转得那么多，所以更多不同的材料可^i^^^l于铰^^成。jH外，因为 ^^受较小的角偏转，所以其可以以较高的频^怍。
虽然已经参考多个实施例^^展示和描述了本发明，但是^^J5域^^A员 将明白在不脱离本发明的樹申和范围的情况下可以在形式和细节上作出多种改变。
结合在说明书中并构成说明书的-"^p分的下述附示了本发明的实施 例，并JL^i兌明书一^li!U^^^发明的原理。 图l^Jt镜的i^L图。
图4A和4B图示了倾斜的4^L^别在"打开"方向和'关闭"方向JJ^A^光 的脉
图5图示了倾斜的4^t^器发射的A^光的跳 图6图示了倾斜的4^J"iUt^L管;^的A^光的^。 图7图示了包^t镜的图傢投影系统的配置。 图8图示了驱动电压断^^L中所得到的倾斜角的时间分布图。 图9是图示了对于接触和#^触微镜，作为驱动电压的函数的m的倾斜 角的响应曲线的图。
图IO是图示了以应力-伸"^^1^8《10呢311011)曲线形^^^^^触械
触^L镜的^ft区域的图。
图11是图示了对于具有不同材^1^且^铰链部件,作为归-HW区动电压的 函数的4^L倾斜角的响应曲线的图。
图12是图示了对于具有不同材^a^铰链"w，作为驱动电压的函数的 ^ fe^^斜角的响应曲线的图。
参考图l-3，微镜100可包括基板300上的镜板U0。 4^1110可包括M 层lll、间隔层113和4^化艮114。在一些实施例中，间隔层U3包^""对开口 108a和108b。在一些实施例中，铰链层114^两^H^链部件120a和120b。 铰链部件120a和120b分别通过伸长的铰链163a和163b与铉M^ 114的主要 部分连接。伸长的铰涟163a和163b通过伸长的铰链163a或163b两侧的间隙 与铰^i: 114的主J^P分分隔开。镜仗110处于向镜板110 ;^&a外力的非倾斜 位置。非倾^置可;^^t平frf J^的Ji^面。
110可围绕由两^N^^^P 件120a和120b限定的轴倾斜。"H4^链部件120a (或120b)连^接到J^300 上的铰链支撑柱121a (或121b )。铰链支撑柱121a可由单*>^形成，或包括 两个或三^p分。例如，铰链支撑柱121a可包括可以在单独的沉积步骤中形成 的上面部分123a、中间部分123b和下面部分123c。
微镜100还可以包括具有在铰链支撑柱121a、 121b Hh的下面部分130a 和上面部分131a的两部分电极，以及財在4^链支撑柱121a、 121b另一侧上 的下面部分130b和上面部分131b的另 一两部分电极。电极下面部分130a、 130b 可由一个导电层形成。电极上面部分131a、 131b可由电极下面部分130a、 130b 上面的另一导电层形成。铉^链支撑柱121a、 121b连接到控制线311，两部分电 极130a、 131a连接到控制线312,并且两部分电极130b、 131b连接到控制线 313。控制线3U、 312、 313的电位可由控制器350提供的夕hlp电信号分别控制。 镜板110和两部分电极130a、 131a或两部分电极130b、 131b之间的电位差可 产生静电扭矩，该静电扭矩可使镜板110倾斜。在2004年10月26曰申请的"High Contrast Spatial Light Modulator and Method"的US公布No.2005-0128564和 2006年9月6日申请的"Spatial Light Modulator Multi-layer Mirror Plate"的US 申请No.11/470，568中进一步描述了^t的微^^置，为了所有目的通过引用将 JJ^申鰣合于此。
参考图3和4A,控制器350可产生静电力来U3良扭曲的伸长铰链163a或 163b产生的举性'隨力以#^^非倾斜位置倾斜到"打开，，位置或"关闭"位
置。静电力可对絲性'1^;以# 1##在"打开"位置或"关闭"位置。非倾
他置可以不同于"打开，，位置和'关闭，，位置。在一些实施例中，非倾離置也 可以与"打开"位置或"关闭"位置相同。镜板no可沿一个方向从非倾^置倾斜到相对于基板300的倾斜角e。n。镜板110可以反射A^J"光330以形成沿"打开" 方向*的>^#光340以^^光340可以到达显示区域以形成显示图像。"打 开"方向通常垂直于絲300。由于A^"角(即，驢光330和镜法线方向的夹 角)和反紂角(即，M光340和镜法线方向的夹角)相等，所以Adtt光330
和^j"光34o形成角度2e。n，该角度2e。n是舰uo的倾斜角e。n的两倍。
参考图4B,舰110可沿相反的方向对^J4倾斜到相对于絲300成倾斜 角e。n的方位。瓶110可以X^j"A^光330以形成沿"关闭"方向^ii的絲光 345。 M光345可被孔(图中的530)阻挡并净iut吸收器吸收。因为A^]" 光330的A^j"角是3e。n，所以絲角也应该是3e皿.因此，在"打开"和'关闭"
方向上的A^j"光34o之间的角是4e皿，该角度4e。n是镜板uo的倾斜角e皿的四 倍。
A^J"光330可由不同的光源提供，例如，图5和6中分别示出的M器500 iUjt^L管(LED)510。 ^Ut器500发射的A^i!e^相干的并且可^N^t^ 110^"^^^#平行。孔530、絲器500、 f^!110可如踏置以便当镜 板110沿"打开"方向倾斜时財所有由镜板110 M的絲光340都穿过孔530 中的开口 535。 LED 510^的A^光330通常是非相干的并且易于随着距离 而发"lt孔530、 LED 510、械板110可如財置以便由在"打开"位置上的镜 板110反射的光的大部分穿过孔530中的开口 535。例如，反射光340可以通过 开口 535，同时孔530阻挡>^^"光340发^:开的^^光3403和3401)。
图7示出了基于微镜100的辭'J的示范性图^&影系统700。红、^= 蓝 絲器500a、 500b和500c可以分别絲红色、绿色和蓝色的有色狄束330a、 330b和330c。红色、绿色和蓝色的有色光330a、33他和330c可穿过扩散器710a、 710b和710c以形成有色光331a、 331b和331c。扩"lt器710a、 710b和710c可 以重糊整^^330a、 330b和330c的大小(例如，扩展)并可以将 ^ 330a、 330b和330c整形成^f丈镜100的阵列相适合的截面形辨crosS"Sectional shape)。例如，有色光331a、 331b和331c可以被M成矩形，其可更与微镜 100的阵列的形拟目适合。然后，有色光331a、 331b和331c被分束器720a、 720b和720c (它们想'J合束器的作用)M，并被^f成彩^A4t光330。彩 ^A4t光330可被全内X^ (Total Internal Reflection ， TIR)棱镜740 ^j" 以照射支撑部件730上的微镜100。由位于"打开"位置上的镜板110偏转的狄光340可以穿过TIR棱镜740和孔530的开口 535,齐辞皮投影系统750投射以 形成显示图寸象。
孑L530、HR;^镜740 ^t镜100的相对位置如财置以^71/^所有"打开" 方向上的絲光340可以通过开口 535并J^斤有"关闭"方向上的缺光345被 孑L530 f雄。孔530IS^的A^光340的^fi^r部^PA^示M的损耗。穿过 开口 535的任何扩散的^J"光535将斷氐显示图像的对比度。M光340和反 射光345之间的角度扩J^L，越容易^fM光340和M光345以实艱 示图像的最大^L和对比度。换句"^兑，显示系统700中的倾斜角e。n (或9。ff) 越大，^易^fX^j"光340和M光345，以^ti^上所有X^光345^N皮阻 挡并^Hjj^上所有A^"光340可以到ii^示表面以形a示图傳^
在一些^fm的^t^;^置中，*的倾4^动由 ^雄^^止。可倾斜的
^L的"打开"和'关闭"位置由條与城I^雄II^触时瓶的方位限定。与此 相反，微镜100不包括可以P艮制镜板110的倾鄉动的械阻挡器。相反，镜 板110的"打开"和'关闭"位置由胁到镜板110和两部分电极130a、 131a、 130b 和131b上的驱动电^制。为此,公开的镜板110可称为"##触"微镜。 的利用城P雄器或包括当^倾4Hi置时与l^^接触的舰的镜系统可称为 "接触"微镜。
图8中示出了正驱动电yaji^冲801和负驱动电HJ3^冲802'零倾斜角对应 于7JC平方向，在该水平方向，镜板110平^t^^300的表面。iE4区动电压脉 冲801包括驱动电压V。n^UU絲制瓶110到"打开"位置，如图3、 4A、 5 和6中所示。正电压脉沖801可产生静电力，该静电力沿"打开"方向，板110
倾斜到相对于絲300的ji4面的倾斜角e皿，^r"打开"方向在附图中是逆时针 方向。镜板no在非倾^F状态不经受^^r萍l^^力。由于镜K uo倾斜，所
以舰110经受由伸长的铰链163a或163b的滩变形而产生的萍性1^7， 该弹I^l^l^沿顺时^r向将力赫到m 110上。虽然静电力l^r倾斜角的 增桐肖^t加，但是举性^^力作为倾斜角的函数比静电力更iStit^t加。当 举性'I^7变得与静电力相等时，條110^if在倾斜角e。n处停止。换句^i兑, 通过沿两个方向将力施加到镜板110上的静电力和弹性紋力之间的平衡，将
固定在倾斜角e。n。 miio最初可育^区域8u内在平均倾斜角e。n周 围振荡并i^l定停留在倾斜角e。n。相合她，负驱动电压务辦802^^l綠制舰110到"关闭"位置，如图4B 所示。电压J3^f 802包括驱动电压V。ff。电压务辦802可产生静电力以使^^L 110沿"关闭"方向倾斜到相对于基昧300的Ji^面的倾斜角e。ff，该"关闭"方向 在附图中是顺时4坊向。#^非倾#<±置不经受贿举性^^7。由于倾斜 角增加，伸长的铰链163a或163b的4a^变形产生弹性'l^l力，该举性1^X^ 沿逆时4f^向;^力。举性'l^l力作为倾斜角的函数比静电力更i2ii^t加。 当弹性'fe^变得与静电力相等时，瓶110最终在倾斜角e。ff处停止。通过负 电压脉冲802产生的静电力和变形的伸长铰链163a和163b产生的萍性'1^^7 之间的平衡，#^110^#在倾斜角9巡。舰110最初可食腺区域821内在 平均倾斜角e。ff周围振荡并lt^l定停留在倾斜角e。ff。在图4A和4B所示的配 置中，倾斜角e。n种。ff具有相等的数量良在负驱动电>￡^辦802被移去^， 镜板110可被伸长铰链163a和163b弹l!4iiyi回到零倾斜角(即，水平方向)。
图9示出了作为驱动电压的函数的m的倾斜角的响应曲线。*的倾斜 角首先作为驱动电压的函数沿着曲线905逐渐,加。然后，i^驱动电压的 增加，倾斜角沿着曲线910迅速地增加，直到镜板在突变电压(snapping voltage)V咖p处"突变(snap)，，，在该突变电压V咖p处弹性^Jj^停止l^"倾 斜角的增加而增加。静电力继续崎倾斜角的增加而增加。较强的静电力和恒 定的举性^1^之间的不平衡(参见图10)急剧,加倾斜角到e鹏，在该倾 斜角e,处，m的倾^动^^上的积械P雄^f止。^^i兌明书中，术
發'突变"指的是瓶的不平I^L的非稳定状态，其中^^fel倾斜直到被固 定物体停止。
瓶的"突变"是微镜中的校链的;l^^^性的结果。参考图10， ^Lh的应
力例如可由^L^^Lh的电极之间的静电力产生。铰链的变形在低的应力范 围内沿着曲线1000 JSI^应力而增加。曲线1000表示铰链响应于应力的举性。 在一示范性微镜中，铰錄变形D1处突变。换句"^i兌，^W应于D1的倾斜角 以上，弹性^^7停止l^"倾斜角的增加而增加。曲线1010表示铰^N"料的塑 'Iii(plastic)区域。如以上结合图7描述的，对于显示图像的最佳亮度和对比度， 4^^^^:^;^^^有大的^5斜角，例如大约20、大约30、大约4。、大约5。 或更高。大的"打开"或"关闭"倾斜角需要宽的角度范围，在该角度范围中m 可被倾斜，然后可被铰^性'^1回到非倾雌置。图10示出了另一个示范性微镜，其在D2>D1的变形时踏性响应曲线1000 ii;度到塑性响应曲线1020。 该微#^有更宽的举1"生铰敏形范围并因此更适于4^#触縱用。D2和Dl之 间的差别可由*110的材^分的不同产生(如图12所示)。相反，接触微 镜可能具有窄的举性铰链变形范围，因此，相对小的驱动电压可以使,突变 以导lt^L与;^I!H^II^触。^t应于塑'性曲线1010的^L镜因此JUt于^^^l镜。 适于微镜IOO中的"4^^触"微镜的铰^N"料的一^K仔是具有大约0-15%，或 0-10%范围内的氮组分、和/或铝和4^且^^;^目等的愈/(自&。由氮^fe^化
^制成的铰^N"料的-H^'j子是Al48%Ti48%N4%,
返回参考图9，在微4^倾斜角e,突变之后，1^驱动电压的降4氐，在由 直线915表示的驱动电压范围内，^^^綠与城f雄H^触。在铰m
回举性区域^， ^^其举性，并且能够^lM^成PMi器处的粘贴，
终沿着响应曲线905返回倾斜，其中驱动电压与线920相交。曲线卯5和910 和直线915和920表示的滞后是接触微镜的共li。 4^^触微镜的,窗口在镜 板的举性区域内沿着曲线卯5。镇jfel可由鸟区动电压V。n倾^f固定到倾斜角e。n 或0。ff。在静电力移去^， ^!可被铰涟163a和163b沿射目同的响应曲线卯5 弹1^W^1返回到原始位置。没有与本说明书中^/Hf的^N^Wt镜100相关的 实质滞后，
的响应曲线。归一化的驱动电压简单地为驱动电压除以镜突变电压。具有不同 材料组分的铰链的镇)^倾斜角可作为归一化的驱动电压的函数沿着不同曲线 1105增加。由TiNi *、 ATDN AlTi M制成的铰链的倾斜角比AlCu
制成的铰链的倾斜角大。Jii^铰^t料可包括下述示例'I^a分对于HNi^^
的Tiso。/。Ni50。/。，对于AlTiN ^r^的Al48。/。Ti48。/。N4。/。、对于AlTi Also%Ti5o%
和对于AlCu Al，/。Cu胁
如上所述，4^1可在由曲线1105限定的角度范围内倾^f弹l^'l^^到它 们各自的非倾^置。一^^触微fc作的曲线1105可用的倾斜角的范围对于所 描述的^t材^fii分是不同的。在图11描述的特殊例子中，Ti9o。/。Ni,制成的 较^L许一^^触^Ljfe比，两^N^^N"^i且分更宽的角度范围内倾WHfli 地贼。
与微衞目适应的铰^H"料可包^iH^钬、金、银、镍、铁、钴、铜、铝、t^氧的材料范围。铰链可由TiNi制成，其中钛组分可在大约30%和70%之 间，或大约40%和60%之间，或者大约45%和55%之间。铰链可由ATIl制成， 其中钛组分可在大约30%和70%之间，或大约40%和60%之间，或者大约45% 和55%之间。用于"非接触"微镜的合适铰^N"料同样可包括具有0-10%或
o-i5。/。范围内的ti且^近^^目等的铝和^a分的氮^45^。由氮化4s^a^
的^^^可Jj^上没有其它元素(林文中，差4Ui没有^jMr其它元素可以以 与制造it^"^的痕量存在)，并且特别i^k^ ii^^上没有氧。
参考图12,具有由^t不同材沐材料l、材料2和材料3制成的铰链的 4^1倾斜角最初可沿着相同的曲线1205ife^4Ji升。铰^H"料1、材料2和材
料3的突变电压V，p V^p2和V，p3可肯^l不同的V^p^V，p-V，p3。对应
于铰链三种材料的非接触倾斜角e。d、 e。 2和e。w的操作窗也是不同的 e。nl<e。o2<e。n3。在图12描述的例子中，材料3 A^她的用于^^触镜的铰链 材料，狄因为其能够提供用于^1倾棘<^1到非倾#^置的最大角度范围。
例如，材料3制成的铰链能够^目对于非倾棘U2度或2度以上、3度、4 度的第一方向弹I:4iiM^J^L。
板的方法。该可倾^feL响应于控制^^供的电信号，可以以预定角度倾^ ##。 S^Lil^iiUi不需要;liuW^器来l3Mi^斜的^^并限定该^^的倾斜 角。枳械F雄器的消除不仅简化了微^^，而iL^去了已知存在于m^^ 置中的^jfeSL^O^J^恭之间的粘贴。i^E描述的^^可以^iW^^中 的^i^倾^h到更窄角度。较少的镇板倾斜能够导致^^斤围绕旋转的铰^Ji较 少的张力。这种装置可以较不可食fe^历;bl^故障。因此，装置的有絲命可 以较长。jH外，由于4^链不需^fl^W装置中^t转的那么多，所以更多不同 的材^l"可^^^用于4^^^成。jH外，因为^ tl经历较小的角yl偏转，所以其 可以以较高的频##^,
可以理解的是所公开的方法与^Wt懒己置相适应。与上述那些材^F不同 的^"^PT,i^;^形^^^^、铰^^接柱、铰链支撑柱、电W^a^/iL^器的不 同层。电极可包4^图中所示的感，或单^电材料。^i^可具有不同形状， 例如，矩形、六边形、菱形或Aii形。驱动电压脉沖可包括不同波形^L性。 在不偏离本发明的樹申的情况下，显示系统可包括用于M的不同构it^i史计。在^t值范围如^/斤示的任何情况下，数值端点指的是指示的数值或大约是该
指示的数值。也^1说，当^f^^財X和Y。/o之间的組分时，其可能具有X 和Y。/o之间的、或者大约X到大约Y。/。范围内的组分。
权利要求
1、一种微镜装置，包括基板支撑的铰链；围绕所述铰链可倾斜的镜板，其中所述铰链被配置成当所述镜板倾斜离开非倾斜位置时，在所述镜板上产生弹性恢复力；以及控制器，所述控制器被配置成产生静电力以克服弹性恢复力以将镜板从所述非倾斜位置倾斜到“打开”位置或“关闭”位置，其中所述静电力被配置成对抗所述弹性恢复力以将所述镜板保持在所述“打开”位置或“关闭”位置。
2、 ##^']^求1的微^^置，其中所述铰链净处CJ^所述静电力衫捧 城移去^将所述#^ 讽述非倾顺置。
3、 才N^U'J要求1的微^^置，还包括所iii^Ji的电极，其中所述控制 器 己J^加电压到所述电极以产生所述静电力。
4、 才MI;M，漆求1的微#^置，其中所述4^E处于所述非倾^^置时大 致平frf所iii^的Ji^面。
5、 才^t^'澳求1的微^^置，其中相对于所述非倾#^置，在所述"打 开"位置或"关闭"位置的倾斜角是3度或3度以上。
6、 才N^M'J^求5的微^^X，其中相对于所述非倾^置，在所述"打 开"位置或"关闭"位置的倾斜角是4度或4度以上。
7、 才M^M'J^求1的微^^置，其中所述铰链包插&自由以下材料构成的 组中的材料具有大约30。/。和70。/。之间的钬组分的钬4!^r、具有大约30% 和70%之间的^^且^|钬^^、具有大约5%和20%之间的铜组^45#^ ^T^具有在大约0和15%范围内的fia^氮^4s^。
8、 推据W'漆求1的微^^置，其中所述非倾^置不同于所述"打开" 位置和4关闭"位置。
9、 才M^M'J^求1的微#^置，其中所述非倾#^置与所述"打开"位置或 "关闭"位置中的一个相同。
10、 一种微^X,包括 J^JL撑的铰錄围^l^斤ii4^^可倾斜的4^以及控制器，所述控制器^g己l^生电信号以便将所述4^^Mt拟目对于所除;述4^链^卜的;树结构，其中所述:链^^^^将所述^^^斤述;斜方 向弹I;4^^^到^t平衬所ii^。
11、 ^tl^U怯求10的微錄置，其中所ii^向是相对于所ii^的表面 3度或3度以上,并J^斤述铰链翻己J^将所述^A^斤述倾斜方向举l^k/1^到过平衍所iii^。
12、 才Mt权矛J^求U的微#^置，其中所^向是相对于所iii^的表面 4度或4度以上，并Ji斤述铰链糊&X^将所述m^^斤述倾斜方向弹I^W^ 到过平衬所i4Jj^
13、 #^^']#求10的微^^置，其中所述铰链包拾逸自由以下材^J成 的组中的材#: *^大约30%和70%之间的4^且^|钛#^、具有大约30% 和70V。之间的钬組^f钬齡金、財大约5%和20%之间的铜组^f^4^ ^具有大约0和15。/。之间的tia^l氮^^0
14、 才Nl^UyMU3的微^1_，其中所述铰链^t氮^45^,并JL^斤述t/f^4S^中的铝和钬具有近A:^目等的组分。
15、 才n^u，j^求13的微^j:，其中所述铰链^氮^4S^，并JL^斤述 氮^4s^中的fia分是在大约o和10%之间。
16、 #< ^^求13的微#^置，其中所述铰链包^^4^r，并JL^斤述 钬4ifc^金中的钛组分在大约40%和60%之间。
17、 才^5U'溪求13的微^^置，其中所述铰链包^fcl^r，并Ji斤述钛4^^r中的钛组分在大约45%和55%之间。
18、 ##WJJNU3的微4^j:，其中所述铰链包4^^^r，并JL^斤述钬^金中的智^BL分在大约40%和60%之间。
19、 才M^5U'要求22的微^^置，其中所述铰链包^^^Mr,并il^斤述 钬4S^金中的钛组分在大约45%和55%之间。
20、 ^^控制*的倾^动的方法，包拾在围^l支撑的4^链可倾斜的mji产生静电力，其中在所述^1倾斜离开非倾雌置时，所述铰链^SeJ^所述^Ji产生萍性'1^7;iJWf耕性^^7以将所述m^斤述非倾離置倾斜到"打开"位置或"关闭"位置；以及利用与所述弹性恢复力平衡的所述静电力将所述镜板保持在所述"打开"位置或"关闭"位置。
21、 根据权利要求20的方法，其中相对于所述非倾斜位置，在所述"打开" 位置或"关闭"位置的倾斜角是2度或2度以上。
22、 根据权利要求21的方法，其中相对于所述非倾斜位置，在所述"打开" 位置或"关闭"位置的倾斜角是3度或3度以上。
23、 根据权利要求22的方法，其中相对于所述基板的表面，在所述"打开" 位置或"关闭"位置的倾斜角是4度或4度以上。
24、 根据权利要求20的方法，还包拾: 降低或移去所述静电力；以及在降低或移去所述静电力之后，将所述镜板弹性地恢复到所述非倾斜位置。
25、 根据权利要求20的方法，其中所述非倾斜置大致平行于所述基板的上表面。
26、 根据权利要求20的方法，其中所述非倾斜置不同于所述"打开"位置 和'关闭"位置。
27、 根据权利要求20的方法，其中所述非倾斜位置是所述"打开"位置和咲 闭"位置中的一个。
全文摘要
公开了一种微镜装置，该微镜装置包括基板支撑的铰链和围绕该铰链可倾斜的镜板。该铰链被配置成在该镜板倾斜离开非倾斜位置时在该镜板上产生弹性恢复力。微镜装置还包括控制器，该控制器可以产生静电力以克服弹性恢复力以将镜板从非倾斜位置倾斜到“打开”位置或“关闭”位置。静电力可以对抗弹性恢复力以将镜板保持在“打开”位置或“关闭”位置。
文档编号G02B26/08GK101308247SQ20071016914
公开日2008年11月19日 申请日期2007年10月26日 优先权日2006年10月27日
发明者潘晓和 申请人:视频有限公司