技术编号：2733013
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种曝光阈值监测方法，特别涉及一种监测聚酰亚胺的曝光阈 值的方法。背景技术聚酰亚胺(Polyimide)用于晶圆制造中最后的缓冲涂层，且具有感光性，可作 为光阻曝光和显影。按照传统方法，对曝光阈值(ETH Exposure Threshold)的 监测一直采用目视是否存在光阻残留的方式，如图1A-1D所示的分别从9秒到 12秒的目视测量结果，其缺点在于无法量化监测结果，可能存在人为判断失误， 且量测结果无法保存及无法采用SPC管控。发明内容鉴于上...
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