专利名称：一种监测聚酰亚胺的曝光阈值的方法
技术领域：
本发明涉及一种曝光阈值监测方法，特别涉及一种监测聚酰亚胺的曝光阈 值的方法。
背景技术：
聚酰亚胺(Polyimide)用于晶圆制造中最后的缓冲涂层，且具有感光性，可作 为光阻曝光和显影。按照传统方法，对曝光阈值(ETH: Exposure Threshold)的 监测一直采用目视是否存在光阻残留的方式，如图1A-1D所示的分别从9秒到 12秒的目视测量结果，其缺点在于无法量化监测结果，可能存在人为判断失误， 且量测结果无法保存及无法采用SPC管控。
发明内容
鉴于上述，目前急需一种新型监测方法监测聚酰亚胺在显影后的残留并对 其量化，从而得到聚酰亚胺的曝光阈值。
本发明提供了一种监测聚酰亚胺的曝光阈值的方法，包括以下步骤
步骤l，在晶片上涂覆聚酰亚胺；
步骤2，对聚酰亚胺层分别用不同的显影时间进行显影，用以测定待检测晶 片表面是否剩余有聚酰亚胺；
步骤3，利用膜厚量测装置再测定待检测晶片的表面是否剩余有聚酰亚胺， 如有剩余聚酰亚胺，则测定聚酰亚胺残留的厚度，从而获得最小聚酰亚胺的曝 光阈值。
作为优选，利用显影液对聚酰亚胺层显影。作为优选，将步骤3中测定的聚酰亚胺残留的厚度进行保存。
本发明的有益效果在于，通过对聚酰亚胺进行双重监测，既可以量化监测 结果，避免原有的目视人为判断失误，可以保存量化的量测结果，以便进行统 计制程控制，更准确地得到聚酰亚胺的曝光阈值。
下面结合附图，对本发明的具体实施方式
作进一步的详细说明。对于所属 技术领域的技术人员而言，从对本发明的详细说明中，本发明的上述和其他目 的、特征和优点将显而易见。
图1A-1D表示传统方式的监测光阻残留的步骤。
图2A-2B表示本发明一较佳实施例的光阻显影后膜厚量测曲线图。
具体实施例方式
下面结合附图和具体实施例对本发明所述的一种监测聚酰亚胺的曝光阈值 的方法作进一步的详细说明。
本发明一较佳实施例的一种监测聚酰亚胺的曝光阈值的方法包括首先， 在晶片上涂覆聚酰亚胺，而后，对聚酰亚胺层显影，由于聚酰亚胺作为具有感 光性的负性光阻，在光阻涂布，软烘烤之后曝光之前可以溶解于显影液，其溶解 于显影液的最短显影时间称为最小显影时间(MDT: Minimum Develop Time),通 过从最短的时间开始，每次增加一秒来找到刚好溶解聚酰亚胺层的时间，从而 测定聚酰亚胺层的最小显影时间，然后使用该最小显影时间分别为MDT+ls和 MDT-ls的监测方法，会发现前者晶片上不会有聚酰亚胺的残留，而后者晶片会 有聚酰亚胺的残留；最后，利用膜厚量测装置，例如Opti-Probe膜厚量测装置 再量测待检测晶片的表面是否剩余有聚酰亚胺，如有剩余聚酰亚胺，则测定聚 酰亚胺残留的厚度。由于聚酰亚胺为负光阻，所以没有经过曝光的步骤，曝光 阈值要间接监测，可以通过先测出最小显影时间，看光阻的溶解时间，然后通 过监测最小显影时间是否改变而间接表示曝光阈值，所以，通过此方法可以监 测聚酰亚胺曝光阈值是否发生改变。其中显影步骤可以利用显影液完成。监测结束后可以对测定的聚酰亚胺残留的厚度值进行保存。
利用本发明的方法量测膜厚的曲线图表如图2A-2B所示，其中图2A表示 显影时间为13秒(s)时，测得光阻残留厚度<20纳米(nm)，图2B表示显影时间 为ll秒(s)时，测得光阻残留厚度"40纳米(nm)，与如图1A-1D所示的传统方 法相比，新的监测方法可以更准确的测定光阻残留，并量化监测结果以便控制。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，并非用来限定本发明的实施范围；如 果不脱离本发明的精神和范围，对本发明进行修改或者等同替换的，均应涵盖 在本发明的权利要求的保护范围当中。
权利要求
1. 一种监测聚酰亚胺的曝光阈值的方法，其特征在于包括以下步骤步骤1，在晶片上涂覆聚酰亚胺；步骤2，对聚酰亚胺层分别用不同的显影时间进行显影，用以测定待检测晶片表面是否剩余有聚酰亚胺；步骤3，利用膜厚量测装置再测定待检测晶片的表面是否剩余有聚酰亚胺，如有剩余聚酰亚胺，则测定聚酰亚胺残留的厚度，从而获得最小聚酰亚胺的曝光阈值。
2. 根据权利要求1所述的一种监测聚酰亚胺的曝光阈值的方法，其特征在于利用显影液对聚酰亚胺层显影。
3. 根据权利要求1所述的一种监测聚酰亚胺的曝光阈值的方法，其特征在于将步骤3中测定的聚酰亚胺残留的厚度进行保存。
全文摘要
本发明提供了一种监测聚酰亚胺的曝光阈值的方法，包括以下步骤步骤1，在晶片上涂覆聚酰亚胺；步骤2，对聚酰亚胺层分别用不同的显影时间进行显影，用以测定待检测晶片表面是否剩余有聚酰亚胺；步骤3，利用膜厚量测装置再测定待检测晶片的表面是否剩余有聚酰亚胺，如有剩余聚酰亚胺，则测定聚酰亚胺残留的厚度，从而获得最小聚酰亚胺的曝光阈值。本发明的有益效果在于，通过对聚酰亚胺曝光阈值进行双重监测，即可以量化监测结果，避免原有的目视人为判断失误，可以保存量化的量测结果，以便进行统计制程控制，更准确地得到聚酰亚胺的曝光阈值。
文档编号G03F7/30GK101452223SQ20071018779
公开日2009年6月10日 申请日期2007年11月30日 优先权日2007年11月30日
发明者周家驹 申请人:和舰科技(苏州)有限公司