技术编号：2737950
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明为有关感光性树脂组合物及感光性组件背景技术半导体集成电路、液晶显示元件、印刷电路板等形成图案所使用的图像形成方法中，已知多为利用酚醛清漆型酚树脂与1，2_重氮醌化合物组合所得的正型光阻的方法。该正型光阻为，未曝光部份为碱不溶性，曝光部份为碱可溶性，在碱显影时，曝光部份的光阻被去除。此时，上述未曝光部份中的1，2-重氮醌化合物会引起与酚醛清漆型酚树脂的相互作用，而形成具有溶解阻碍剂的作用，进而形成碱不溶性。又，曝光部份中，1，2-重氮醌化合物因紫外线的...
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