专利名称：光阻图案的形成方法
技术领域：
本发明为有关感光性树脂组合物及感光性组件
背景技术：
半导体集成电路、液晶显示元件、印刷电路板等形成图案所使用的图像形成方法中，已知多为利用酚醛清漆型酚树脂与1，2_重氮醌化合物组合所得的正型光阻的方法。该正型光阻为，未曝光部份为碱不溶性，曝光部份为碱可溶性，在碱显影时，曝光部份的光阻被去除。此时，上述未曝光部份中的1，2-重氮醌化合物会引起与酚醛清漆型酚树脂的相互作用，而形成具有溶解阻碍剂的作用，进而形成碱不溶性。又，曝光部份中，1，2-重氮醌化合物因紫外线的照射而分解，即引起所谓Wolff移转而形成茚烯酮(4 > 7 > * f > )。又，此茚烯酮与水反应而形成茚羧酸。此茚羧酸因为酸性，而残留的酚醛清漆型酚树脂亦具有酚式羟基，故为弱酸性。因此，上述曝光部份对氢氧化四甲基铵的强碱水溶液为可溶。但是，使用氢氧化四甲基铵等强碱水溶液进行显影时，常会使未曝光部份易产生剥离的情形。如此，上述正型光阻则不能具有充分的分辨率。又，使用强碱水溶液时，在安全性或废液处理等环境面上也存在问题。因此，即使使用弱碱水溶液，也要求可充分显影的感光性树脂组合物。相对于前述要求，则需寻求对感光性树脂组合物的特性进行改善。例如，已有提案一种含有在酚醛清漆型环氧化合物与不饱和一元酸所得的反应生成物上附加酸酐而得到的化合物的感光性树脂组合物(例如，参考专利文献1 幻。又，例如另有揭示一种含有具羧基的感光性树脂的热硬化性、光硬化性组合物(例如，参考专利文献6)，其中的具羧基的感光性树脂是通过酚醛清漆型酚树脂与环氧化物的反应生成物与不饱和一元酸反应，使所得的反应生成物再与酸酐反应而得到的。又，亦有提出一种使用醇式羟基的酚醛清漆型酚树脂的醇式羟基与酸酐反应所得的酚醛清漆型酚树脂的正型感光性树脂组合物(例如，参考专利文献7)。专利文献1 特开昭61143869号公报专利文献2 特开平3-253093号公报专利文献3 特开平6-192387号公报专利文献4 特开平7-41716号公报专利文献5 特开平9-136942号公报专利文献6 国际公开第02/0M774号小册子专利文献7 特开2001-114853号公报
发明内容
本发明者们，由上述专利文献1 7所记载的感光性树脂组合物开始，对以往的感光性树脂组合物进行详细的研究。其结果，本发明者发现前述以往的感光性树脂组合物，几乎不能完全满足优良光感度、图像对比度、分辨率及密着性等全部特性。S卩，上述专利文献1 5所记载的感光性树脂组合物，因使用酚醛清漆型环氧树脂，其与使用酚醛清漆型酚树脂的情形相比较时，在耐碱性、基板与光阻的密着性等则有劣化的倾向。又，专利文献6所记载的感光性树脂组合物，虽使用酚醛清漆型酚树脂，但并不使用1，2_重氮醌(quinonediazide)化合物。因此，该感光性树脂组合物并不具有正型光阻的机能。又，专利文献6记载的酚醛清漆型酚树脂，并不具有酚式羟基。其结果，将会使该感光性树脂组合物，例如即使含有重氮醌化合物的情形下，造成该酚醛清漆型酚树脂与重氮醌化合物的相互作用并不充分，未曝光部份则会有未能充分形成碱不溶性的倾向。因此， 上述专利文献6记载的感光性树脂组合物，会有无法得到良好图像对比度的倾向。专利文献7所记载的感光性树脂组合物，使用了酚醛清漆型酚树脂及1，2-重氮醌化合物。但是，该酚醛清漆型酚树脂的合成步骤更为繁杂，故会有不容易提升产量的倾向。本发明就是鉴于上述以往技术产生的问题而提出的，以提供一种即使于弱碱水溶液中亦可充分显影，具有极为优良光感度、图像对比度、分辨率及密着性的感光性树脂组合物及感光性组件为目的。为解决上述问题，本发明则提供一种含有(a)酚醛清漆型酚树脂的酚式羟基与多元酸酐反应所得的化合物，与(b) 1,2-重氮醌化合物的感光性树脂组合物。上述感光性树脂组合物，在酚醛清漆型酚树脂所有的酚式羟基与多元酸酐反应所得的(a)成分中，进一步含有由1，2-重氮醌化合物所形成的(b)成分。如此，可使上述感光性树脂组合物显出更为优良的光感度、图像对比度、分辨率及密着性。又，上述感光性树脂组合物作为光阻膜使用时，在曝光部份中，因(a)成分为酸性，故例如显影液为弱碱性时，亦可使上述曝光部份溶解于该显影液中。因此，在碱显影时， 使曝光部份溶解于弱碱水溶液，而可使光阻容易地由基材剥离。又，未曝光部中，因1，2_重氮醌化合物与不会与(a)成分的多元酸酐产生反应的酚式羟基会引起强烈的相互作用而可形成碱不溶性。因此，依本发明的内容，可提供一种即使于弱碱水溶液中亦可充分显影，且具有极优良的光感度、图像对比度、分辨率及密着性的感光性树脂组合物。上述(a)成份，优选分子内至少具有1个下述式(A)所示2价的基。此时，即使于弱碱水溶液中，亦可充分进行显影。[化1]
权利要求
1.光阻图案的形成方法，其是在基材上将感光性组件以感光层与所述基材密着的方式层叠，将活性光线以图像状照射，将曝光部用PH值为9 11的碱性水溶液显影而除去，所述感光性组件具备支撑体与在该支撑体上所形成的由感光性树脂组合物构成的感光层，所述感光性树脂组合物含有(a)由酚醛清漆型酚树脂的酚式羟基与多元酸酐反应所得的化合物、与(b)l，2-重氮醌化合物。
全文摘要
本发明提供一种光阻图案的形成方法，其是在基材上将感光性组件以感光层与所述基材密着的方式层叠，将活性光线以图像状照射，将曝光部用pH值为9～11的碱性水溶液显影而除去，所述感光性组件具备支撑体与在该支撑体上所形成的由感光性树脂组合物构成的感光层，所述感光性树脂组合物含有(a)由酚醛清漆型酚树脂的酚式羟基与多元酸酐反应所得的化合物、与(b)1，2-重氮醌化合物。
文档编号G03F7/023GK102520580SQ20111040930
公开日2012年6月27日 申请日期2006年7月19日 优先权日2005年8月30日
发明者泽边贤, 野尻刚 申请人:日立化成工业株式会社