技术编号：2739514
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利说明用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置 发明领域 本发明涉及对光学器件进行旋涂光刻胶时的辅助卡具，尤其是一种用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助卡具。 背景技术 微电子制造中常用旋涂法在光学硅片表面涂上一层均匀的光刻胶薄膜，曝光刻蚀后得到所需要的微细图形。半个世纪以来，光刻胶旋涂基本是以平面工件为主。其旋涂辅助装置多是把工件放在平面涂胶机的一个平面的旋转圆盘上，工件边缘用固定在圆盘上的挡柱靠紧，以防旋转时工件飞出，旋涂时一般工件不会上窜，所以也并不...
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