用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置的制作方法

专利名称：用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置的制作方法
专利说明用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置 发明领域 本发明涉及对光学器件进行旋涂光刻胶时的辅助卡具，尤其是一种用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助卡具。

背景技术：
微电子制造中常用旋涂法在光学硅片表面涂上一层均匀的光刻胶薄膜，曝光刻蚀后得到所需要的微细图形。半个世纪以来，光刻胶旋涂基本是以平面工件为主。其旋涂辅助装置多是把工件放在平面涂胶机的一个平面的旋转圆盘上，工件边缘用固定在圆盘上的挡柱靠紧，以防旋转时工件飞出，旋涂时一般工件不会上窜，所以也并不重点考虑工件向上窜阻挡问题。操作时则是先用挡柱把工件安装在旋转圆盘上，开动涂胶机，再用滴管将适量的光刻胶滴到工件表面，光刻胶受离心力的作用外流，形成均匀薄膜。
然而，随着这种半导体工艺技术逐步向其它领域渗透，凹球面元件涂胶的问题逐步提上日程。但迄今为止，一般凹球面旋涂光刻胶的实验研究在世界上还是空白。本申请人此前提出了一种凹球面涂胶的工艺方法。为了实施该工艺方法需设计一种便捷的凹球面涂胶辅助装置。


发明内容
本发明的目的是提供一种操作便捷、安全可靠的用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置。
本发明用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置，由可穿置连接在涂胶机旋转轴上的具有竖直周缘壁的底盘和旋扣式连接在底盘周缘壁上的盖板构成，在所述底盘周缘壁的下部设有至少3个均布的台肩；所述的盖板顶部中心设有一垂向通孔，在该通孔中通过弹簧设置一可使之上下滑动的滑动轴，该滑动轴的下端固设一弧形压板。
本发明用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置的使用方法是将该装置的底盘穿置连接在涂胶机旋转轴上，将待旋涂的凹球面器件开口向下放置在该装置的底盘周缘壁的台肩上，将该装置的盖板旋扣在底盘上后，其弧形压板即将待旋涂的凹球面器件压紧固定，旋涂结束后，旋卸下盖板即可取出凹球面器件。
本发明辅助装置为实现凹球面器件旋涂光刻胶提供了可行的工艺装备，其操作便捷、安全可靠。



图1是用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置的结构示意图； 图2是图1中所示盖板(2)和底盘(1)旋扣连接结构部分示意图； 图3是图1中所示A处局部放大结构示意图； 图4是图1中所示底盘(1)的俯视图。

具体实施例方式 以下结合附图给出的实施例对本方明装置作进一步详细说明。
参照图1，一种用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置，是由通过紧固螺母7和垫圈10穿置连接在涂胶机旋转轴上的具有竖直周缘壁的底盘1和旋扣式连接在底盘1周缘壁上的盖板2构成，在所述底盘1周缘壁的下部设有至少3个均布的台肩11；所述的盖板2顶部中心设有一垂向通孔，在该通孔中通过弹簧5设置一可使之上下滑动的滑动轴4，即将套置在滑动轴4外径上的弹簧5通过锁紧螺母6予紧在盖板2顶部中心的通孔中，该滑动轴4的下端固设一弧形压板3。
参照图2，在底盘1周缘壁上径向设置有耳柱8，在盖板2盖板2周壁上设置与底盘1周缘壁上耳柱8相对应的倒L形滑槽21，以实现盖板2和底盘1的旋扣式连接。
参照图3，在底盘1周缘壁下部的台肩11根部设有导流槽12，涂胶时多余的胶液可从该导流槽12处流出，以避免在凹球面器件开口处结瘤。
参照图4，底盘1的底部呈轮辐式镂空结构，以减轻装置重量和利于胶液气体挥发固化。
工作时，将欲涂胶的凹球面器件9扣置在所述底盘1周缘壁下部的台肩11上，将盖板2的倒L形滑槽21对准插入到底盘1周缘壁上耳柱8上并旋转后，即使凹球面器件9卡紧在盖板2上的弧形压板3和底盘1上的台肩11之间，即可进行旋转涂胶操作。涂胶结束后反向旋转盖板2使其倒L形滑槽21脱离底盘1耳柱8即卸下盖板2，继而取下涂胶后的凹球面器件9。
权利要求
1.一种用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置，其特征在于，由可穿置连接在涂胶机旋转轴上的具有竖直周缘壁的底盘(1)和旋扣式连接在底盘(1)周缘壁上的盖板(2)构成，在所述底盘(1)周缘壁的下部设有至少(3)个均布的台肩(11)；所述的盖板(2)顶部中心设有一垂向通孔，在该通孔中通过弹簧(5)设置一可使之上下滑动的滑动轴(4)，该滑动轴(4)的下端固设一弧形压板(3)。
2.根据权利要求1所述的用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置，其特征在于，是通过对应设置在底盘(1)周缘壁上的耳柱(8)和盖板(2)周壁上的倒L形滑槽(21)实现盖板(2)和底盘(1)的旋扣式连接。
3.根据权利要求1所述的用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置，其特征在于，在所述底盘(1)周缘壁下部的台肩(11)根部设有导流槽(12)。
全文摘要
本发明涉及对光学器件进行旋涂光刻胶时的辅助卡具，特别是一种用于凹球面器件旋涂光刻胶的辅助装置，由可穿置连接在涂胶机旋转轴上的具有竖直周缘壁的底盘和旋扣式连接在底盘周缘壁上的盖板构成，在所述底盘周缘壁的下部设有至少3个均布的台肩；所述的盖板顶部中心设有一垂向通孔，在该通孔中通过弹簧设置一可使之上下滑动的滑动轴，该滑动轴的下端固设一弧形压板。本发明辅助装置为实现凹球面器件旋涂光刻胶提供了可行的工艺装备，其操作便捷、安全可靠。
文档编号G03F7/16GK101311831SQ20081005093
公开日2008年11月26日 申请日期2008年7月8日 优先权日2008年7月8日
发明者冯晓国, 赵晶丽, 梁凤超, 高劲松 申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所