技术编号：2749288
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种连接机构，具体涉及一种用于调焦调平的连接机构。 背景技术在超大集成电路制造的投影光刻技术中，通常使用调焦调平传感器减少硅片表面 形貌对投影物镜焦平面的影响，保证光刻效果。现有技术中，调焦调平传感器通常安装在承 载投影物镜的主基板下面，采用三点或四点连接方法与主基板固定在一起，一般通过修磨 垫片和调整单螺纹副这两种方法来调整焦面和投影物镜焦面，保证调焦调平传感器的调整 焦面和投影物镜焦面的重合度。目前，在实际作业中这两种连接调整的方式都存在...
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