专利名称：一种用于调焦调平的连接机构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种连接机构，具体涉及一种用于调焦调平的连接机构。
背景技术：
在超大集成电路制造的投影光刻技术中，通常使用调焦调平传感器减少硅片表面 形貌对投影物镜焦平面的影响，保证光刻效果。现有技术中，调焦调平传感器通常安装在承 载投影物镜的主基板下面，采用三点或四点连接方法与主基板固定在一起，一般通过修磨 垫片和调整单螺纹副这两种方法来调整焦面和投影物镜焦面，保证调焦调平传感器的调整 焦面和投影物镜焦面的重合度。目前，在实际作业中这两种连接调整的方式都存在着各自的缺点。其中，利用修磨 垫片调整焦面的方法周期长、难度大、对装配工人要求高，不利于实现；而调整单螺纹副的 方法，由于受到所使用螺纹副螺纹精度、直径大小、承载要求和螺纹副磨损等因素的限制， 所使用的螺纹螺距很难突破0.5mm，一般所能到达的理论分辨率仅为1.4μπι/°，无法满足 集成电路工艺中对调焦调平越来越高的调整技术要求。
实用新型内容为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种用于调焦调平的连接机构，该连接 机构在不影响通常结构布局的基础上，引入了差分原理的调节螺纹副，该连接机构可以大 大提高了调焦调平调整的分辨率和承载能力，同时也增加了系统的稳定性。一种用于调焦调平的连接机构，包括上连接件、双螺纹连接套、下连接件，其特征 在于，所述双螺纹连接套有旋向相同且螺距不同的第一螺纹和第二螺纹，所述上连接件有 螺纹，所述上连接件的螺纹与所述双螺纹连接套的第一螺纹配合连接，所述下连接件有螺 纹，所述下连接件的螺纹与所述双螺纹连接套的第二螺纹配合连接。所述双螺纹连接套的 第一螺纹和第二螺纹均位于双螺纹连接套的内侧壁。所述上连接件有凸起部分，所述上连 接件的凸起部分有近端部分和远端部分，所述远端部分的外侧壁有第三螺纹，并且所述第 三螺纹与所述双螺纹连接套的第一螺纹配合连接。所述上连接件的近端部分有第五螺纹， 并且所述第五螺纹与第一锁紧螺母配合连接。所述下连接件有凸起部分，所述凸起部分有 近端部分和远端部分，所述下连接件的远端部分的外侧壁有第四螺纹，并且所述第四螺纹 与所述双螺纹连接套的第二螺纹配合连接。所述下连接件的近端部分有第六螺纹，并且所 述第六螺纹与第二锁紧螺母配合连接。所述上连接件有接口与主基板固定连接。所述下连 接件有接口与调焦调平安装板固定连接。本实用新型还提供另外一种用于调焦调平的连接机构，包括上连接件、双螺纹连 接套、下连接件，其特征在于，所述双螺纹连接套有旋向相同且螺距不同的第一螺纹和第二 螺纹，所述上连接件有螺纹，所述上连接件的螺纹与所述双螺纹连接套的第一螺纹配合连 接，所述下连接件有螺纹，所述下连接件的螺纹与所述双螺纹连接套的第二螺纹配合连接。 所述双螺纹连接套的第一螺纹和第二螺纹均位于双螺纹连接套的外侧壁，同时所述双螺纹连接套的外侧壁还有第七螺纹和第八螺纹，并且所述双螺纹连接套螺纹的排列顺序依次为 所述第一螺纹、所述第七螺纹、所述第八螺纹和所述第二螺纹。所述上连接件有凹进部分， 所述凹进部分的内侧壁有第九螺纹，并且所述第九螺纹与所述双螺纹连接套的第一螺纹配 合连接。所述双螺纹连接套的第七螺纹与第三锁紧螺母配合连接。所述下连接件有凹进部 分，所述凹进部分的内侧壁有第十螺纹，并且所述第十螺纹与所述双螺纹连接套的第四螺 纹配合连接。所述双螺纹连接套的第八螺纹与第四锁紧螺母配合连接。所述上连接件有接 口与主基板固定连接。所述下连接件有接口与调焦调平安装板固定连接。本实用新型的连接机构中，双螺纹连接套的螺纹分别和上、下连接件的螺纹配合， 当转动双螺纹连接套时，由于上、下连接件分别与主基板和调焦调平系统安装板固定连接， 上、下连接件均不能随同双螺纹连接套转动，且同时在双螺纹连接套的轴线方向发生移动。 又因为双螺纹连接套的两部分螺纹旋向相同，当以双螺纹连接套为参照物时(即双螺纹连 接套在其轴线方向上静止时)，上、下连接件发生位移的方向相同。由于两部分螺纹螺距不 同，导致上、下连接件在旋转角度相同的情况下沿双螺纹连接套的轴线方向发生移动的距 离不同，连接机构所产生的距离为两者螺纹移动距离之差，就是本实用新型所要到达的目 的。如果所使用螺纹的螺距之差可以达到0. 05mm，此时螺纹调整可达到的理论分辨率=螺 距差/360° =0.05mm/360° =0. 14μπι/°，与背景技术所提的现有技术精度1. 4 μ m/°相 比，本实用新型的调焦调平连接机构的调整分辨率得到了很好的提高。
图1调焦调平安装板、投影物镜安装在主基板上的正视旋转剖视图。图2本实用新型提供的一种连接机构的示意图。图3示意图2中所描述的新型连接机构的仰视剖面图。图4示意图2中所描述的新型连接机构的轴测示意图。图5本实用新型提供的另外一种连接机构的示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，
以下结合附图对本实用新型 作进一步的详细描述。本实施例中，调平调焦系统集成在安装板上，如图1所示，主基板1通过该调整连 接机构3和安装板2固定连接起来。本实施例中的调整连接机构3展示两种不同的实现方 式。其中一种用于调焦调平的连接机构，包括上连接件301、双螺纹连接套304、下连 接件305，其特征在于，双螺纹连接套304有旋向相同且螺距不同的第一螺纹和第二螺纹， 上连接件301有螺纹，上连接件301的螺纹与双螺纹连接套304的第一螺纹配合连接，下连 接件305有螺纹，下连接件305的螺纹与双螺纹连接套304的第二螺纹配合连接。双螺纹 连接套304的第一螺纹和第二螺纹均位于双螺纹连接套304的内侧壁。上连接件301有凸 起部分301a，凸起部分301a有近端部分和远端部分，远端部分的外侧壁有第三螺纹，并且 第三螺纹与双螺纹连接套304的第一螺纹配合303连接。上连接件301的近端部分有第五 螺纹，并且第五螺纹与第一锁紧螺母303配合连接。下连接件305有凸起部分305a，凸起部分305a有近端部分和远端部分，凸起部分305a远端部分的外侧壁有第四螺纹，并且第三螺 纹与双螺纹连接套304的第一螺纹配合连接。下连接件305的近端部分有第六螺纹，并且 第六螺纹与第二锁紧螺母306配合连接。上连接件301有接口与主基板1固定连接。下连 接件305有接口与调焦调平安装板2固定连接。为充分理解实用新型中的结构的组合关系，下面描述了所述实用新型连接机构的 装配过程第一，上连接件301用上连接螺钉313共4件固定连接在主基板上，上连接件301 和主基板1之间垫有垫片302 (垫片302为名义尺寸)。上锁紧螺母303旋到上连接件301 的锁紧用螺纹部分到名义位置，然后把双螺纹连接套304旋到上连接件301的调整用螺纹 部分到名义位置。把下连接件305旋到双螺纹连接套304的另一部分螺纹内到名义位置， 接着把下锁紧螺母306旋到下连接件305的锁紧用螺纹部分到名义位置。(共三处)第二，调心座307和调心球308的球面配合后用RZ防 转销钉309 (防止下连接件 305绕Z轴旋转)把两者连接起来，然后用下连接螺钉312把调心座307和调焦调平安装板 2固定起来。(共三处)第三，利用工装把完成的装配体提升，使每个下连接件305 (共三个)的另一端插 入到对应的调心球308的盲孔内，然后用内部连接螺钉310把下连接件305和调心球308 拧紧，并插上连接销钉311 (内部连接螺钉310和连接销钉311可以防止下连接件305和调 心球308的相对旋转)。图3为装配完成后连接机构的仰视剖面图，图4为装配完成后本连 接机构的轴测示意图。装配完成后，根据测量目标平面间的夹角和距离的结果，计算三组调节连接机构 处的调整量。调整时先松开两个锁紧螺母303和306，然后对每个双螺纹连接套304进行相 应的旋转，再次测量目标平面间的夹角和距离值，满足设计要求后把锁紧螺母303和306拧 紧，如果不满足设计要求则对双螺纹连接套304进行相应的旋转，直至满足设计要求后把 锁紧螺母303和306拧紧。本实用新型提供的另外一种用于调焦调平的连接机构，包括上连接件401、双螺纹 连接套404、下连接件405，其特征在于，双螺纹连接套404有旋向相同且螺距不同的第一螺 纹和第二螺纹，上连接件401有螺纹，上连接件401的螺纹与双螺纹连接套404的第一螺纹 配合连接，下连接件405有螺纹，下连接件405的螺纹与双螺纹连接套404的第二螺纹配合 连接。双螺纹连接套404的第一螺纹和第二螺纹均位于双螺纹连接套404的外侧壁，同时 双螺纹连接套404的外侧壁还有第七螺纹和第八螺纹，并且双螺纹连接套404螺纹的排列 顺序依次为第一螺纹、第七螺纹、第八螺纹和第二螺纹。上连接件401有凹进部分401a，凹 进部分401a的内侧壁有第九螺纹，并且第九螺纹与双螺纹连接套404的第一螺纹配合连 接。双螺纹连接套404的第七螺纹与第三锁紧螺母403配合连接。下连接件405有凹进部 分405a，凹进部分405a的内侧壁有第十螺纹，并且第十螺纹与双螺纹连接套404的第四螺 纹配合连接。双螺纹连接套404的第八螺纹与第四锁紧螺母406配合连接。上连接件401 有接口通过螺母408和垫板402与主基板2固定连接。下连接件405有接口通过407与调 焦调平安装板1固定连接。在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下还可以构成许多有很大差别的实施例。应 当理解，除了如所附的权禾腰求所限定的，本实用新型不限于在说明书中所述的具体实施例。
权利要求一种用于调焦调平的连接机构，包括上连接件、双螺纹连接套、下连接件，其特征在于，所述双螺纹连接套有旋向相同且螺距不同的第一螺纹和第二螺纹，所述上连接件有螺纹，所述上连接件的螺纹与所述双螺纹连接套的第一螺纹配合连接，所述下连接件有螺纹，所述下连接件的螺纹与所述双螺纹连接套的第二螺纹配合连接。
2.根据权利要求1所述的连接机构，其特征在于，所述双螺纹连接套的第一螺纹和第 二螺纹均位于双螺纹连接套的内侧壁。
3.根据权利要求1或2所述的连接机构，其特征在于，所述上连接件有凸起部分，所述 凸起部分有近端部分和远端部分，所述远端部分的外侧壁有第三螺纹，并且所述第三螺纹 与所述双螺纹连接套的第一螺纹配合连接。
4.根据权利要求3所述的连接机构，其特征在于，所述上连接件的近端部分有第五螺 纹，并且所述第五螺纹与第一锁紧螺母配合连接。
5.根据权利要求1或2所述的连接机构，其特征在于，所述下连接件有凸起部分，所述 凸起部分有近端部分和远端部分，所述远端部分的外侧壁有第四螺纹，并且所述第四螺纹 与所述双螺纹连接套的第二螺纹配合连接。
6.根据权利要求5所述的连接机构，其特征在于，所述下连接件的近端部分有第六螺 纹，并且所述第六螺纹与第二锁紧螺母配合连接。
7.根据权利要求1所述的连接机构，其特征在于，所述双螺纹连接套的第一螺纹和第 二螺纹均位于双螺纹连接套的外侧壁，同时所述双螺纹连接套的外侧壁还有第七螺纹和第 八螺纹，并且所述双螺纹连接套螺纹的排列顺序依次为所述第一螺纹、所述第七螺纹、所述 第八螺纹和所述第二螺纹。
8.根据权利要求1或7所述的连接机构，其特征在于，所述上连接件有凹进部分，所述 凹进部分的内侧壁有第九螺纹，并且所述第九螺纹与所述双螺纹连接套的第一螺纹配合连 接。
9.根据权利要求8所述的连接机构，其特征在于，所述双螺纹连接套的第七螺纹与第 三锁紧螺母配合连接。
10.根据权利要求1或7所述的连接机构，其特征在于，所述下连接件有凹进部分，所述 凹进部分的内侧壁有第十螺纹，并且所述第十螺纹与所述双螺纹连接套的第四螺纹配合连 接。
11.根据权利要求10所述的连接机构，其特征在于，所述双螺纹连接套的第八螺纹与 第四锁紧螺母配合连接。
12.根据权利要求1所述的连接机构，其特征在于，所述上连接件有接口与主基板固定 连接。
13.根据权利要求1所述的连接机构，其特征在于，所述下连接件有接口与调焦调平安 装板固定连接。
专利摘要一种用于调焦调平的连接机构，包括上连接件、双螺纹连接套、下连接件，其特征在于，双螺纹连接套有旋向相同且螺距不同的第一螺纹和第二螺纹，上连接件的螺纹与双螺纹连接套的第一螺纹配合连接，下连接件的螺纹与双螺纹连接套的第二螺纹配合连接。双螺纹连接套的螺纹分别与上连接件和下连接件之间有锁紧螺母。上连接件有接口与主基板固定连接。下连接件有接口与调焦调平安装板固定连接。该连接机构在不影响通常结构布局的基础上，通过引入了差分原理的调节螺纹副，使得连接机构可以大大提高了调焦调平的调整分辨率和承载能力，同时也增加了系统的稳定性。
文档编号G03F7/207GK201556027SQ20092021364
公开日2010年8月18日 申请日期2009年11月17日 优先权日2009年11月17日
发明者李中秋, 贾翔, 陈飞彪, 鲁武旺 申请人:上海微电子装备有限公司