技术编号：2750827
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种支架载置台，特别涉及在负责平板显示器的制造工序中的蒸镀 工序或退火工序的基板处理系统中，排列玻璃基板及/或支架的位置，以便能够将玻璃 基板以排列安装在支架上的状态加载到基板装载盘上的支架载置台。背景技术使用于平板显示器制造的基板处理系统大致分为蒸镀装置和退火装置。蒸镀装置是负责形成构成平板显示器核心结构的透明导电层、绝缘层、金 属层或者硅层的工序的装置。作为蒸镀装置有像LPCVD(low pressure chemical vapor dep...
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