支架载置台的制作方法

专利名称：支架载置台的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种支架载置台，特别涉及在负责平板显示器的制造工序中的蒸镀 工序或退火工序的基板处理系统中，排列玻璃基板及/或支架的位置，以便能够将玻璃 基板以排列安装在支架上的状态加载到基板装载盘上的支架载置台。
背景技术：
使用于平板显示器制造的基板处理系统大致分为蒸镀装置和退火装置。蒸镀装置是负责形成构成平板显示器核心结构的透明导电层、绝缘层、金 属层或者硅层的工序的装置。作为蒸镀装置有像LPCVD(low pressure chemical vapor deposition 低压化学气相沉禾只)、PECVD ((plasma enhanced chemical vapor deposition
等离子体增强化学气相沉积)等这样的化学气相蒸镀装置和像溅射装置(sputtering)这样 的物理气相蒸镀装置。另外，退火装置是负责为了蒸镀工序之后的结晶化、相变化等而 伴随的热处理工序的装置。通常，为了执行如上所述的蒸镀工序和退火工序，需要经过将玻璃基板以安装 在支架上的状态加载到提供基板处理空间的处理腔室内的过程。最近，为了提高基板处理的生产率，使用同时处理多个玻璃基板的批处理式基 板处理系统的情况逐渐在增加。在批处理式基板处理系统中，以多个玻璃基板分别安装 在各个支架上而被加载到基板装载盘的状态，将基板装载到处理腔室内进行基板处理。 因此，通过批处理式基板处理系统执行基板处理的时候，需要经过将安装在支架上的玻 璃基板从支架载置台输送到基板装载盘的过程。另一方面，为了使玻璃基板和支架被加载到基板装载盘(substrateboat)的规定位 置，需要使玻璃基板和支架排列并加载在支架载置台上的规定位置。如果不这样，则在 输送过程中玻璃基板和支架同支架载置台及/或基板装载盘碰撞而导致玻璃基板和支架 受到损伤，或者发生玻璃基板和支架从传输臂上掉下的事故等，引起传输过程不顺利的 问题。

发明内容
本发明是为了解决上述现有技术问题而做出的，其目的在于提供一种支架载置 台，能够将所加载的玻璃基板及/或支架正确地排列到规定位置，从而能够为了基板处 理而将玻璃基板和支架顺利地输送至基板装载盘。为了达到上述目的，根据本发明的支架载置台，用于装载并收纳支架以及与该 支架相对应的玻璃基板，其包括对准部，其同时排列上述支架和上述玻璃基板；以及 对准旋转部，其旋转上述对准部。上述对准旋转部可以包括对准旋转轴，上述对准部设置在该对准旋转轴上； 以及对准致动器，其旋转上述对准旋转轴。上述对准部可以包括支架对准部，其排列 上述支架；以及玻璃对准部，其排列上述玻璃基板。
上述对准部可以设置在上述支架和上述玻璃基板的四个角部。上述对准部可以在对角线方向上相向地设置在上述支架和上述玻璃基板的两个 角部。上述支架对准部可以包括第一对准托架，其一端固定在上述对准旋转轴上； 以及支架对准帽，其设置在上述第一对准托架上。上述玻璃对准部可以包括第二对准托架，其固定在上述第一对准托架上；以 及玻璃对准帽，其设置在上述第二对准托架上。另外，为了达到上述目的，根据本发明的支架载置台，用于装载并收纳支架以 及与该支架相对应的玻璃基板，其包括对准部，其排列上述支架或上述玻璃基板；以 及对准旋转部，其旋转上述对准部。上述对准旋转部可以包括对准旋转轴，上述对准部设置在该对准旋转轴上； 以及对准致动器，其旋转上述对准旋转轴。上述对准部可以是排列上述支架的支架对准部或者排列上述玻璃基板的玻璃对 准部中的任一个。上述支架对准部可以在对角线方向上相向地设置在上述支架和上述玻璃基板的 两个角部，上述玻璃对准部可以在对角线方向上相向地设置在上述支架和上述玻璃基板 的其余两个角部上。上述支架对准部可以包括第一对准托架，其一端固定在上述对准旋转轴上； 以及支架对准帽，其设置在上述第一对准托架上。上述玻璃对准部可以包括第二对准托架，其一端固定在上述对准旋转轴上； 以及玻璃对准帽，其设置在上述第二对准托架上。上述支架材质可以为石墨。可以在上述支架的表面上涂覆有碳化硅。根据如上构成的本发明，将加载在支架载置台上的玻璃基板及/或支架正确地 排列到规定位置，因此，具有使得将玻璃基板和支架从支架载置台输送至基板装载盘的 过程变得顺利的效果。另外，根据本发明，使得将玻璃基板和支架从支架载置台输送至基板装载盘的 过程变得顺利，从而具有提高基板处理的生产率且降低基板处理成本的效果。


图1是表示根据本发明的第一实施例的支架载置台结构的侧视图；图2是表示根据本发明的第一实施例的支架载置台结构的俯视图；图3是表示根据本发明的第一实施例的支架载置台的第一对准部的设置状态的 立体图；图4和图5是表示根据本发明的第一实施例的支架载置台的第一对准部结构的分 解立体图以及组装状态图；图6和图7是表示根据本发明的第一实施例的支架载置台的第二对准部结构的分 解立体图以及组装状态图；图8是表示根据本发明的第二实施例的支架载置台结构的俯视图9是表示根据本发明的第二实施例的支架载置台的支架对准部以及玻璃对准 部的设置状态的立体图；图10是图9的A部分的详细示意图；图11是图9的B部分的详细示意图；图12和图13是表示根据本发明的第二实施例的支架载置台的第一支架对准部结 构的分解立体图以及组装状态图；图14和图15是表示根据本发明的第二实施例的支架载置台的第二支架对准部结 构的分解立体图以及组装状态图；图16和图17是表示根据本发明的第二实施例的支架载置台的第一玻璃对准部结 构的分解立体图以及组装状态图；图18和图19是表示根据本发明的第二实施例的支架载置台的第二玻璃对准部结 构的分解立体图以及组装状态图。附图标记
10 玻璃基板；
100、100a 支架载置台；
110 底板(base plate)；
120 ；支杆；
130 支撑销；
140 支架；
150 对准旋转轴；
160 旋转致动器；
200 对准部；
200a 第一对准部；
200b 第二对准部；
220a、220b 支架对准部；
222a、222b 第一对准托架
224a、224b 固定片；
226a、226b 支架对准帽；
260a、260b 玻璃对准部；
262a、262b 第二对准托架
264a、264b 玻璃对准帽；
300 支架对准部；
300a 第一支架对准部；
300b :第二支架对准部；
322a、322b 第一对准托架
324a、324b 固定片；
326a、326b 支架对准帽；
400 玻璃对准部；
400a 第一玻璃对准部；
400b 第二玻璃对准部；
422a、422b第一对准托架
462a、462b第二对准托架
464a、464b玻璃对准帽。
具体实施例方式下面，参照附图详细说明本发明的构成。由于制造平板显示器时所使用的基板处理系统以及利用该基板处理系统的基板 处理过程、蒸镀或者退火(热处理)工序的内容是本技术领域的公知技术，因此省略详细 说明。尤其是，与本发明相关的基板处理系统的主要构成，即提供基板处理空间的处理 腔室、装载并收纳基板的基板装载盘、装载并收纳支架的支架载置台以及在基板装载盘 和支架载置台之间输送基板的传送机器人等构成为本技术领域中的公知技术，因此省略 详细说明。第一实施例图1是表示根据本发明的第一实施例的支架载置台100结构的侧视图。图2是表示根据本发明的第一实施例的支架载置台100结构的俯视图。参照图1，支架载置台100可以包括基本框架50、底板110、支杆120、支撑销 130、支架140、对准旋转轴150、旋转致动器160以及对准部200等而构成。首先，基本框架50起到支撑支架载置台100的作用。基本框架50可以包括水 平框架52和垂直框架54而构成，其中，该水平框架52设置在地面上，并从下部支撑支 架载置台100，该垂直框架54与支架载置台100的后述的对准旋转轴150平行地铅直设置 且支撑对准旋转轴150。底板110稳定地支撑对准旋转轴150。通过底板110在支架载置台100内分割出 装载并收纳各支架140的空间。支杆120起到支撑支架140的作用。在支架载置台100内支架140安装在支杆 120上。优选以能够支撑支架140的两短边侧的方式设置支杆120。支撑销130起到支撑玻璃基板10的作用。支撑销130设置成能够贯通位于支杆 120上的支架140。为此，在支架140上形成支撑销130能够贯通的孔(未图示)。为 了稳定地支撑玻璃基板10，设置有多个支撑销130，与此对应地也形成多个支架140的孔 (未图示)。再有，支撑销130还起到分离玻璃基板10和支架140的作用。通过这种支撑销 130的作用，在结束基板处理工序之后返回到支架载置台100的玻璃基板10以及支架140 中，利用传送机器人只将玻璃基板10输送到基板台(即，装载并保管玻璃基板的基板装 载盒)，以此备用于基板处理工序之后的工序。支架140起到防止玻璃基板10的变形的作用。S卩，将基板10以安装在支架140 上的状态加载到处理腔室内进行基板处理工序，是为了抑制因在基板处理工序中施加到 玻璃基板10上的热而导致玻璃基板10发生弯曲现象。尤其是，随着最近LCD等的平板 显示器大面积化而使玻璃基板的面积也变大，因此抑制这种玻璃基板的变形逐渐被认为 重要。因此，优选在将玻璃基板10用支架140支撑的状态下进行基板处理，更优选在用
7支架140完全支撑玻璃基板10整个面的状态下进行基板处理。支架140的材质优选为石英。但是，由于石英的热传导率(1.66W/m.K)较低， 因此，在基板处理过程中因基板位置不同而有可能出现基板的升温或冷却速度不均的现 象。尤其是，在基板处理之后的基板的冷却过程中，由于基板中央部的冷却速度比基板 周边部的冷却速度慢，因此发生基板中央部鼓起的变形。因此，支架的材质优选热传 导率比石英高的石墨(graphite:热传达率26W/m.K)，如果这样，则在基板冷却时能够 实现基板整体均勻冷却，从而能够抑制如上所述的因冷却速度的差异而产生的基板的变 形。但是，由于石墨的硬度较低，因此优选在石墨表面涂覆高硬度材质的碳化硅(SiC) 来制造支架。对准旋转部150起到为了玻璃基板10和支架140的排列而旋转后述的对准部200 的作用。对准旋转轴150设置在玻璃基板10和支架140的四个角部，每个角部设置两 个。此时，玻璃基板10和设置在支架140的短边侧上的对准旋转轴150上连接有后述的 第一对准部200a，玻璃基板10和设置在支架140的长边侧的对准旋转轴150上连接有后 述的第二对准部200b。对准旋转轴150与垂直框架54连接而被支撑，从而能够执行稳定 的旋转动作。另一方面，优选以加载/卸载玻璃基板10时不妨碍玻璃基板10输送的方 式将对准旋转轴150设置到支架载置台100上。旋转致动器160起到为了玻璃基板10和支架140的排列而在对准旋转轴150旋 转时驱动对准旋转轴150的作用。为此，旋转致动器160通过规定的动力传递机构、即 驱动齿轮或驱动皮带连接到对准旋转轴150的下端部侧。但是，并不限定于此，根据情 况，旋转致动器160可以连接在对准旋转轴150的上端部侧，也可以同时连接在对准旋转 轴150的上端部侧和下端部侧，也可以不通过规定的动力传递机构而直接连接在对准旋 转轴150上。另一方面，对准旋转轴150和旋转致动器160也可以起到以下的作用，S卩，在将 玻璃基板10加载/卸载到支架载置台100上时旋转对准部200，从而使玻璃基板10和对 准部200之间不产生干涉。对准部200起到将玻璃基板10和支架140同时排列到支架载置台100内的规定 位置上的作用。对准部200与对准旋转轴150连接，并设置成能够与装载到支架载置台 100内的多个玻璃基板10和支架140分别对应。对准部200可以设置在玻璃基板10和支 架140的四个角部，根据情况，也可以只设置在玻璃基板10和支架140的四个角部中的 相向的两个角部。对准部200可以由第一对准部200a和第二对准部200b构成，其中，第一对准部 200a与玻璃基板10和支架140的短边侧接触，第二对准部200b与玻璃基板10和支架140 的长边侧接触。图3是表示根据本发明的第一实施例的支架载置台100的第一对准部200a的设 置状态的立体图。参照图3，第一对准部200a与玻璃基板10以及支架140的短边侧接触，从而将 玻璃基板10和支架140排列到规定的位置。第一对准部200a通过后述的第一对准托架 222a与对准旋转轴150连接。图4和图5是表示根据本发明的第一实施例的支架载置台100的第一对准部200a
8的结构的分解立体图以及组装状态图。参照图4和图5，第一对准部200a可以包括将支架140以及玻璃基板10分别排 列到支架载置台100内的规定位置上的支架对准部200a和玻璃对准部260a构成。支架对准部220a可以包括第一对准托架222a、固定片224a以及支架对准帽226a 构成。另外，将支架对准帽226a连接到固定片224a的旋转轴上，连接有弹性挡圈230a、 轴承232a、套环234a。第一对准托架222a对构成第一对准部200a的结构要素进行固定。第一对准托 架222a的一端弯折成“H”字型，弯折部位与对准旋转轴150的一侧连接。为了使第一 对准托架222a便于与对准旋转轴150连接，也可以在第一对准托架222a的弯折部位形成 螺栓孔。后述的支架对准帽226a连接到固定片224a上。固定片224a形成为平板形状。 固定片224a相互平行地形成在第一对准托架222a的另一端、即与对准旋转轴150连接的 部分的相反一侧的上部和下部。支架对准帽226a与支架140的短边侧接触，并且排列支架140。支架对准帽226a 通过旋转轴连接在两个固定片224a之间。支架对准帽226a形成为其上部的长度大于下 部长度的梯子形状的断面结构。在此，弹性挡圈230a、轴承232a、套环234a连接到将 支架对准帽226a连接到固定片224a上的旋转轴上，从而能够使支架对准帽226a的旋转
变得容易。作为参考，在图4中旋转轴图示成螺栓形状并省略了单独的附图标记，在下面 进行说明的关于旋转轴的附图标记也一样。玻璃对准部260a可以包括第二对准托架262a以及玻璃对准帽264a构成。另 外，在将玻璃对准帽264a连接到第二对准托架262a上的旋转轴上，连接有轴承270a、弹 性挡圈272a、套环274a。第二对准托架262a将玻璃对准部260a固定到第一对准托架222a上。第二对准 托架262a通过螺栓固定到形成在第一对准托架222a上的固定片224a中的上部侧固定片 224a的上部面上。第二对准托架262形成为平板形状。此时，在固定片224a中第二对 准托架262a所处的部位优选形成为凹状，以便固定在螺栓上的第二对准托架262a不因外 力而移动。玻璃对准帽264a与玻璃基板10的短边侧接触并排列玻璃基板10。玻璃对准帽 264a通过旋转轴连接在第二对准托架262a的端部上。玻璃对准帽264a形成为具有上部长 度大于下部长度的梯子形状的断面结构。在此，轴承270a、弹性挡圈272a、套环274a连 接在将玻璃对准帽264连接到第二对准托架262a上的旋转轴上，从而使玻璃对准帽264a 的旋转变得容易实现。优选使与玻璃对准帽264a连接的旋转轴的上端被内置到玻璃对准 帽264a的内部，以避免排列作业途中与外部物体碰撞。另一方面，支架对准帽226a、226b和玻璃对准帽264a、264b的侧面优选形成为 倾斜状。这是为了使支架140以及玻璃基板10和支架对准帽226a、226b以及玻璃对准 帽264a、264b的接触面积最小化，从而防止在接触过程中支架140以及玻璃基板10受到 损伤。图6和图7是表示根据本发明的第一实施例的支架载置台100的第二对准部200b的结构的分解立体图以及组装状态图。参照图6和图7，第二对准部200b的基本结构与第一对准部200a相同。第二对 准部200b与第一对准部200a的差异只在于对准托架的大小上，因此，下面详细说明该差
已 升。如该图所示，优选第二对准部200b的第一对准托架222b的大小小于第一对准部 200a的第一对准托架222a。这是为了在玻璃基板10加载/卸载到支架载置台100上时 防止玻璃基板10和对准部200之间的干涉。总之，第一对准托架222a、222b的大小是 可以综合考虑玻璃基板10的输送路径、对准旋转轴150的位置以及与对准旋转轴150相 连接的第一以及第二对准部200a、200b之间的距离来设定的。说明如上构成的本发明第一实施例的动作为如下。首先，多个支架140被装载到支架载置台100上而被收纳。此时，支撑销130 贯通形成于支架140上的孔(未图示)而突出。将玻璃基板10加载到支架载置台100之前，通过旋转致动器160旋转对准旋转 轴150而使第一以及第二对准部200a、200b不位于玻璃基板10的输送路径内。之后，利用基板传送机器人将玻璃基板10加载到支架载置台100内，并将玻璃 基板10安装到设置在支杆120上的支撑销130上。在被支撑销130分离的玻璃基板10 和支架140之间所形成的空间，是在利用基板传送机器人将玻璃基板10向基板支架载置 台(即，装载并保管玻璃基板的基板装载盒)输送时使用。之后，用旋转致动器160旋转对准旋转轴150而使第一以及第二对准部200a、 200b返回到原位置。如果第一以及第二对准部200a、200b返回，则支架对准部220a、 220b同时与支架140的短边侧和长边侧接触，玻璃对准部260a、260b同时与玻璃基板10 的短边侧和长边侧接触。通过第一以及第二对准部200a、200b的动作进行的玻璃基板10和支架140的排 列过程如下。首先，如果第一以及第二对准部200a、200b返回到原位置，则支架对准帽226a 的侧面与支架140的两短边侧接触，支架对准帽226b的侧面与支架140的两长边侧接 触。另外，玻璃对准帽264a的侧面与玻璃基板10的两短边侧接触，玻璃对准帽264b的 侧面与玻璃基板10的两长边侧接触。在此，在支架140和玻璃基板10被加载到规定位置的情况下，支架140的短边 侧和长边侧都以相同的压力与支架对准帽226a、226b接触，玻璃基板10的短边侧和长边 侧都以相同的压力与玻璃对准帽264a、264b接触，因此支架140和玻璃基板10的位置不
会有变动。但是，如果支架140和玻璃基板10没有被加载到规定位置的情况下，支架对准 帽226a、226b以及/或者玻璃对准帽264a、264b分别以不同的压力与支架140以及/或 者玻璃基板10接触。此时，支架对准帽226a、226b以及/或者玻璃对准帽264a、264b 从接触压力大的一侧向接触压力小的一侧推出支架140以及/或者玻璃基板10。此时， 玻璃基板10以及/或者140向与支架对准帽226a、226b以及/或者玻璃对准帽264a、 264b的接触压力相同的位置，即在支架载置台100内向支架140和玻璃基板10的规定位 置移动，从而实现排列。这种排列过程可以对装载并收纳在支架载置台100的所有多个
10支架140和玻璃基板10同时进行。另一方面，在 上述说明中，假设支架140和玻璃基板10都脱离规定位置的情况 进行了说明，但只有支架140或玻璃基板10中的某一个脱离规定位置的情况下，也能够 与上述一样进行排列。与此同时，多个支架140中的只有一部分或多个玻璃基板10中的 只有一部分脱离规定位置的情况下，也能够与上述过程相同地完成排列。最后，如果支架140和玻璃基板10的排列结束，则利用支架传送机器人将安装 在支架140上的玻璃基板10加载到基板装载盘上进行后面的基板处理过程。如上所述，根据本实施例，将加载在支架载置台上的玻璃基板以及/或者支架 正确地排列到规定位置上，从而使得将玻璃基板和支架从支架载置台向基板装载盘输送 的过程变得顺利，具有基板处理的生产率提高且基板处理成本下降的优点。第二实施例图8是表示根据本发明的第二实施例的支架载置台IOOa结构的俯视图。首先，支架载置台IOOa可以包括基本框架50、底板110、支杆120、支撑销 130、支架140、对准旋转轴150、旋转致动器160、支架对准部300以及玻璃对准部400 而构成。在此，由于基本框架50、底板110、支杆120、支撑销130、旋转致动器160以
及对准旋转轴150的结构与上述的本发明的第一实施例相同，因此在本实施例中省略对 其详细说明。参照图8，支架对准部300起到将支架140排列到支架载置台IOOa内的规定位置 上的作用。支架对准部300与对准旋转轴150连接，并设置成能够分别与装载在支架载 置台IOOa内的多个支架140对应。支架对准部300可以设置在支架140的四个角部中的 相向的两个角部。支架对准部300可以由第一支架对准部300a和第二支架对准部300b构成，其 中，该第一支架对准部300a与支架140的短边侧接触，该第二支架对准部300b与支架 140的长边侧接触。玻璃对准部400起到将玻璃基板10排列到支架载置台IOOa内的规定位置上的作 用。玻璃对准部400与对准旋转轴150连接，并设置成能够分别与装载在支架载置台IOOa 内的多个玻璃基板10对应。玻璃对准部400可以设置在玻璃基板140的四个角部中的相 向的两个角部，可以设置成与设有支架对准部300的两个角部错开。玻璃对准部400可以由第一玻璃对准部400a和第二玻璃对准部400b构成，其 中，该第一玻璃对准部400a与玻璃基板10的短边侧接触，该第二玻璃对准部400b与玻 璃基板10的长边侧接触。总结上述的内容，在本实施例中，支架载置台300设置在支架140以及玻璃基板 10的四个角部中的相向的两个角部，玻璃对准部400可以设置在支架140以及玻璃基板 10的四个角部中的、没有设置支架对准部300的相向的两个角部。但是，对于装载并收 纳在支架载置台IOOa内的所有支架140和玻璃基板10，如上所述的支架对准部300和玻 璃对准部400的排列不需要设定成相同。对此，下面参照图9至图11进行说明。图9是表示根据本发明的第二实施例的支架载置台IOOa的支架对准部300a以及 玻璃对准部400a的设置状态的立体图。
图10是图9的A部分的详细示意图，图11是图9的B部分的详细示意图。参照图9至图11，能够确认在支架载置台IOOa内，支架对准部300和玻璃对准 部400的排列状态随着支架140以及玻璃基板10的位置而改变。S卩，将支架载置台IOOa 分成两个部分，在上半部按照与图8中的排列相同的排列设置支架对准部300和玻璃对准 部400(参照图9的A部分以及图10)，在下半部按照与图8中的排列相反的排列设置支 架对准部300和玻璃对准部400 (参照图9的B部分以及图11)。

如上所述，在本实施例中，根据支架载置台IOOa内的支架对准部300和玻璃对 准部400的排列来能够鉴别支架140或玻璃基板10并进行排列，可以同时排列支架140 以及玻璃基板10，根据支架载置台IOOa内的支架140以及/或者玻璃基板10的装载位置 来能够鉴别支架140或玻璃基板10并进行排列。S卩，根据本实施例，可以进行支架140 以及/或者玻璃基板10的排列，以便能够容易对应基板处理过程的多种环境变化。图12和图13是表示根据本发明的第二实施例的支架载置台IOOa的第一支架对 准部300a结构的分解立体图以及组装状态图。参照图12和图13，第一支架对准部300a可以包括第一对准托架322a、固定片 324a以及支架对准帽326a而构成。另外，在将支架对准帽326a连接到固定片324a的旋 转轴上连接有弹性挡圈330a、轴承332a，套环334a。第一对准托架322a固定构成第一支架对准部300a的结构要素。第一对准托架 322a与对准旋转轴150的一侧相连接。第一对准托架322a的一端被弯折成“ "！ ”字型， 弯折部位连接到对准旋转轴150的一侧上。可以在第一对准托架322a的弯折部位形成螺 栓孔，以便第一对准托架322a容易与旋转轴150连接。后述的支架对准帽326a固定到固定片324a上。固定片324a形成为平板形状。 固定片324a相互平行地形成在第一对准托架322a的另一端即与对准旋转轴150相结合的 部分的相反侧的一侧上部和下部上。支架对准帽326a与支架140的短边侧接触并排列支架140。支架对准帽326a通 过旋转轴连接在两个固定片324a之间。支架对准帽326a形成为上部的长度长于下部的 长度的梯子形状的断面结构。在此，弹性挡圈330a、轴承332a以及套环334a连接到将 支架对准帽326a连接到固定片324a上的旋转轴上，从而使得支架对准帽326a的旋转容 易实现。图14和图15是表示根据本发明的第二实施例的支架载置台IOOa的第二支架对 准部300b结构的分解立体图以及组装状态图。参照图14和图15，除了支架对准帽326b与支架140的长边侧接触之外，第二支 架对准部300b的结构与第一支架对准部300a基本相同。第二支架对准部300b和第一支 架对准部300a只在对准托架的大小上有差异，因此下面详细说明该差异。如图所示，优选第二支架对准部300b的第一对准托架322b的大小小于第一支 架对准部300a的第一对准托架322a。这是为了在玻璃基板10被搬入/搬出支架载置台 IOOa时避免玻璃基板10和支架对准部300a、300b之间干涉。总之，第一对准托架322a、 322b的大小是可以综合考虑玻璃基板10的输送路径、对准旋转轴150的位置以及连接在 对准旋转轴150上的支架对准部300a、300b之间的距离来设定。图16和图17是表示根据本发明的第二实施例的支架载置台IOOa的第一玻璃对准部400a结构的分解立体图以及组装状态图。参照图16和图17，第一 玻璃对准部400a可以包括第一对准托架422a、第二对 准托架462a以及玻璃对准帽464a而构成。另外，在将玻璃对准帽464a连接到第二对准 托架462a的旋转轴上，连接有轴承470a、弹性挡圈472a、套环474a。第一对准托架422a将第一玻璃对准部400a连接到对准旋转轴150上。第一对 准托架422a可以与第一支架对准部400a的第一对准托架322a相同地构成，因此，在此 省略对其详细说明。第二对准托架462a将后述的玻璃对准帽464a固定到第一对准托架422a上。第 二对准托架462a通过螺栓被固定到形成在第一对准托架422a上的固定片424a中的上部侧 固定片424a的上部面上。第二对准托架462a形成为平板状。此时，在固定片424中优 选将第二对准托架462a所处的部位形成为凹状，以便固定在螺栓上的第二对准托架462a 不被外力所移动。另外，玻璃对准帽464a与玻璃基板10的短边侧接触并排列玻璃基板10。玻璃 对准帽464a通过旋转轴连接在第二对准托架462a的端部上。玻璃对准帽464a形成为上 部长度的大于下部长度的梯子形状的断面结构。另外，轴承470a、弹性挡圈472a、套环 474a被连接到将玻璃对准帽464a连接到第二对准托架462a的旋转轴上，由此使玻璃对准 帽464a的旋转容易实现。优选将连接在玻璃对准帽464a上的旋转轴的上端内置到玻璃 对准帽464a的内部，以便在排列作业途中不与外部的物体碰撞。图18和图19是表示根据本发明的第二实施例的支架载置台IOOa的第二玻玻对 准部400b的一个结构例的分解立体图以及组装状态图。如图18和图19所示，第二玻璃对准部400b除了玻璃对准托架346b与玻璃基板 10的长边侧接触之外，其余结构基本与第一玻璃对准部400a相同。但是，第二玻璃对准 部400b同第一玻璃对准部400a相比，第一对准托架422a、422b的大小有差异。在第一 玻璃对准部400a和第二玻璃对准部400b中第一对准托架422a、422b的大小有差异的理 由，与在第一支架对准部300a以及第二支架对准部300b中第一对准托架322a、322b的 大小有差异的理由相同，因此对其省略详细说明。另一方面，优选支架对准帽326a、326b和玻璃对准帽464a、464b的侧面倾斜 形成。这是为了使支架140以及玻璃基板10和支架对准帽326a、326b以及玻璃对准帽 464a、464b的接触面积最小化，防止在上述接触过程中支架140以及玻璃基板10受到损 伤。另一方面，比较本实施例和本发明的第一实施例时，支架载置台内的支架对准 部和玻璃对准部的一部分的排列不同，由此，只是构成支架对准部和玻璃对准部的一部 分构成要素存在差异之外，基本的支架以及/或者玻璃基板的排列过程相同，因此，省 略与根据本实施例结构的动作有关的详细说明。举出如上所述的优选实施例，图示并说明了本发明，但本发明不限定于上述实 施例。在不脱离本发明的主旨的范围内，具有本发明所属技术领域的一般知识的技术人 员可以进行多种变形和变更。但是，这些变形以及变更应当被认为属于本发明和所附的 权利要求的范围内。
权利要求
1.一种支架载置台，用于装载并收纳支架以及与该支架相对应的玻璃基板，其特征 在于，包括对准部，其同时排列上述支架和上述玻璃基板；以及 对准旋转部，其旋转上述对准部。
2.如权利要求1所述的支架载置台，其特征在于， 上述对准旋转部包括对准旋转轴，上述对准部设置在该对准旋转轴上；以及 对准致动器，其旋转上述对准旋转轴。
3.如权利要求1所述的支架载置台，其特征在于， 上述对准部包括支架对准部，其排列上述支架；以及 玻璃对准部，其排列上述玻璃基板。
4.如权利要求3所述的支架载置台，其特征在于，上述对准部设置在上述支架和上述玻璃基板的四个角部。
5.如权利要求3所述的支架载置台，其特征在于，上述对准部在对角线方向上相向地设置在上述支架和上述玻璃基板的两个角部。
6.如权利要求3所述的支架载置台，其特征在于， 上述支架对准部包括第一对准托架，其一端固定在上述对准旋转轴上；以及 支架对准帽，其设置在上述第一对准托架上。
7.如权利要求6所述的支架载置台，其特征在于， 上述玻璃对准部包括第二对准托架，其固定在上述第一对准托架上；以及 玻璃对准帽，其设置在上述第二对准托架上。
8.—种支架载置台，用于装载并收纳支架以及与该支架相对应的玻璃基板，其特征 在于，包括对准部，其排列上述支架或上述玻璃基板；以及 对准旋转部，其旋转上述对准部。
9.如权利要求8所述的支架载置台，其特征在于， 上述对准旋转部包括对准旋转轴，上述对准部设置在该对准旋转轴上；以及 对准致动器，其旋转上述对准旋转轴。
10.如权利要求8所述的支架载置台，其特征在于，上述对准部是排列上述支架的支架对准部或者排列上述玻璃基板的玻璃对准部中的 任一个。
11.如权利要求10所述的支架载置台，其特征在于，上述支架对准部在对角线方向上相向地设置在上述支架和上述玻璃基板的两个角 部，上述玻璃对准部在对角线方向上相向地设置在上述支架和上述玻璃基板的其余两个 角部。
12.如权利要求10所述的支架载置台，其特征在于， 上述支架对准部包括第一对准托架，其一端固定在上述对准旋转轴上；以及 支架对准帽，其设置在上述第一对准托架上。
13.如权利要求10所述的支架载置台，其特征在于， 上述玻璃对准部包括第二对准托架，其一端固定在上述对准旋转轴上；以及 玻璃对准帽，其设置在上述第二对准托架上。
14.如权利要求1或8所述的支架载置台，其特征在于， 上述支架的材质为石墨。
15.如权利要求14所述的支架载置台，其特征在于， 在上述支架的表面涂覆有碳化硅。
全文摘要
本发明公开了一种支架载置台，在基板处理系统中该支架载置台排列玻璃基板以及/或者支架的位置，以便玻璃基板能够以排列并安装在支架上的状态被加载到基板装载盘上。根据本发明的支架载置台(100)用于装载并收纳支架(140)以及与该支架(140)相对应的玻璃基板(10)，该支架载置台(100)包括同时排列支架(140)和玻璃基板(10)的对准部(200)，以及旋转上述对准部(200)的对准旋转部(150)。
文档编号G02F1/13GK102016697SQ200980114297
公开日2011年4月13日 申请日期2009年4月30日 优先权日2008年4月30日
发明者许官善 申请人:泰拉半导体株式会社