液晶曝光装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2752919

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本发明涉及显示用面板等的面板底板的制造装置,涉及作为在玻璃底板上形成图 形的装置的液晶曝光装置。背景技术在液晶面板制造中使用了接近方式的曝光装置,其在Imm以下接近设置有感光树 脂膜等的底板玻璃和掩膜,用平行光照射掩膜,向底板玻璃转印掩膜图形。该液晶曝光装置处理的底板玻璃,为了提高液晶面板的生产率,为使通过一轮曝 光工序制作的液晶面板的数量增多而日益大型化。在该液晶曝光装置的大型化时,在从液 晶曝光装置的组装工厂搬运到液晶面板制造工厂时,或者在液晶曝光装置...
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