专利名称：液晶曝光装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及显示用面板等的面板底板的制造装置，涉及作为在玻璃底板上形成图 形的装置的液晶曝光装置。
背景技术：
在液晶面板制造中使用了接近方式的曝光装置，其在Imm以下接近设置有感光树 脂膜等的底板玻璃和掩膜，用平行光照射掩膜，向底板玻璃转印掩膜图形。该液晶曝光装置处理的底板玻璃，为了提高液晶面板的生产率，为使通过一轮曝 光工序制作的液晶面板的数量增多而日益大型化。在该液晶曝光装置的大型化时，在从液 晶曝光装置的组装工厂搬运到液晶面板制造工厂时，或者在液晶曝光装置自身的制造时， 为使其重量或者大小不成为障碍，液晶曝光装置或者构成液晶曝光装置的一部分的平台装 置由可分割成几个部件的结构组成，在试验时或者安装时被组装起来。在专利文献1中记 述了与玻璃底板的大型化对应的平台装置。现有技术中的平台装置，在分割状态下运输平台装置，在设置场所组装平台装置 来设置液晶曝光装置。平台装置具有，可动平台通过移动单元沿着在组装后的工件台上设 置的轨道移动的结构。在组装起来的平台装置的平台部中，在组装起来的固定平台上设置轨道，可动平 台在该轨道上移动。但是，当可动平台跨越构成固定平台的分离的工件台之间的连接位置 时，例如组装起来的两个工件台由于可动平台的载荷而分别发生位移。即使该位移在连接 工件台的场所很小，但是在远离该位置、位于可动平台上的基板玻璃位置处变成大的位移。因此，为减小该位移，需要加强工件台彼此的连接力。为此必须使螺栓加粗并增加 使用个数，但是具有在连接面积狭小、不能较宽地设置拧螺栓作业区域的情况下为了应对、 或者为进行调整而多次拧紧、松开多个螺栓而花费时间等问题。专利文献1特开2007-175841号公报
发明内容
本发明的目的在于提供一种液晶曝光装置，其具有容易加工和运输的可分割的平 台装置，在组装后的平台装置中能够减小定位误差。为达到上述目的，本发明的液晶曝光装置具有搭载工件的工件台、具有该工件台 的移动机构的可动平台、具有该可动平台的移动机构的固定平台、和支持对所述工件台上 的工件曝光掩膜图形的曝光单元的门架部，其中，所述固定平台具有在与所述可动平台的 移动方向成直角的方向上可分割为多个的构造。另外，为达到上述目的，本发明的液晶曝光装置具有搭载工件的工件台、具有该 工件台的移动机构的可动平台、具有该可动平台的移动机构的固定平台、和支持对所述工 件台上的工件曝光掩膜图形的曝光单元的门架部，其中，所述固定平台由多个工件台组成， 在该固定平台的、与所述可动平台的移动方向成直角的方向上施加的弯曲力矩成为最小的位置，连接所述多个工件台。另外，为达到上述目的，本发明的液晶曝光装置具有搭载工件的工件台、具有该 工件台的移动机构的可动平台、具有该可动平台的移动机构的固定平台、和支持对所述工 件台上的工件曝光掩膜图形的曝光单元的门架部，其中，所述固定平台沿所述可动平台移 动的方向设置多个分割面。 根据本发明，能够提供容易加工和运输、并且能够减小平台的定位误差的液晶曝 光装置。
图1是表示本发明的液晶曝光装置的实施例的立体图。图2是表示本发明的液晶曝光装置的实施例的立体图。图3是表示施加在图2的平台上的外力的图。图4是表示施加在图2的平台上的弯曲力矩的图。图5是表示现有技术的液晶曝光装置的立体图。
具体实施例方式图1是表示本发明的液晶曝光装置的一个实施例的立体图。图1表示的液晶曝光 装置1大体上有三个部件，向对象照射光的光源部从具有光源的灯箱501向掩膜(未图示) 照射光，将透过掩膜的光照射到作为工件的底板玻璃(未图示)上。其次，门架部具有掩膜保持框505，掩膜保持框505支持掩膜，并被相对于龙门架 507调整倾角和上下方向的位置的调整机构支持。龙门架507用门架腿503支持。并且，平台装置部具有多个平台。在龙门架507的下方设置固定平台201，该固定 平台201是将工件台210、211、212组合连接并一体化而形成的。将门架部的门架腿503相 对于固定平台201固定，在图1中相对于工件台211或者工件台212固定。图2为便于说明而省略了图1中表示的灯箱501、龙门架507、门架腿503的显示， 是说明本发明的液晶曝光装置1的平台装置部的立体图。本实施例的固定平台201具有 成为固定平台201的中央部分的中央工件台210、和在中央工件台210的两侧设置的侧方工 件台211以及侧方工件台212。此外，在本实施例中设构成固定平台201的工件台的个数为 3个，但是个数不受此限制，也可以采用连接更多工件台的结构。更加详细地说明平台装置部的结构。在固定平台201的上表面上，在图2中设置 了 6条轨道20。此外，轨道的设置数不限于此。也可以考虑施加在轨道上的载荷来进行增 减。在轨道20的上方设置第一可动平台40。在固定平台201的上表面上，除轨道20以外，在固定平台201的上表面设置的沟 的内部相对地设置了驱动第一可动平台用的直线电动机(Iinearmotor)的定子30。定子 30的设置数不限于图2表示的情况，也可以配合第一可动平台40的动作目的或使用环境来 增减。具有未图示的动子的第一可动平台40当被设置在轨道20上时，其动子与定子30面 对。通过控制由定子30和动子组成的直线电动机，第一可动平台40在轨道20的方向上移 动。在第一可动平台40的上表面上，在图2中设置了两条轨道21。该轨道21的设置数不限于两条，也可以考虑在轨道21上施加的载荷来进行增减。在轨道21上方设置第二 可动平台41。在第一可动平台40的上表面上，除轨道21以外，在第一可动平台40的上表面设 置的沟的内部相对地设置了驱动第二可动平台用的直线电动机的定子31。定子31的设置 数不限于图2表示的情况，也可以配合第二可动平台41的动作目的来增减。具有未图示的 动子的第二可动平台41在被设置在轨道21上时，其动子与定子31面对。通过控制由定子 31和动子组成的直线电动机，第二可动平台41在轨道21的方向上移动。在可动平台41的上方安装了顶部工件台50。底板玻璃701被搭载在顶部工件台 50上，通过沿轨道20和轨道21控制各直线电动机，在固定平台201上方的任何位置定位。 在图2中仅图示出支持固定平台201的腿221、222，但是实际上设置了同样的部件来稳定地 支持固定平台201。在本实施例中，轨道20可以相对于工件台210和211的连接面、或者工件台210 和212的连接面平行地具有连接面(分割面)。另外，可以在工件台210和211的连接方向 上、或者工件台210和212的连接方向上设置轨道20。换言之，固定平台201由在固定平 台201的上表面上与在固定平台201上移动的可动平台40的移动方向正交的方向上分割 为多个的工件台组成。由此，轨道20不受由于在工件台210和211、或者工件台210和212处相对的连接 面处的偏离而在固定工件台201的上表面产生的阶梯差的影响。另外，可动平台40在固定 平台201上移动时其位移小，由此，可动平台41在可动平台40上移动时的可动平台41的 姿势中的位移也能够减小。即能够准确地进行在顶部工件台50上搭载的底板玻璃的定位。底板玻璃的尺寸不断扩大，为了一边使该底板玻璃在轨道20或者轨道21的方向 上移动一边准确地定位，需要在底板玻璃的整个移动区域内由固定平台201对其进行支 撑。如果把图1中的固定平台201像图5中的固定平台202那样制作成一体构造，虽然 在底板玻璃的整个移动区域中可以使由平台的变形引起的定位误差最小，但是从铸造制作 中的制造尺寸上限、加工尺寸的上限、搬运尺寸的上限考虑，分割为几个来制造更为妥当。在分割固定平台来组合多个工件台进行设置的情况下，平台的刚性在连接部变得 最弱，当在这里施加大的弯曲力矩时，扭曲引起的变形变大。图1中的固定平台201，构成它 的工件台210、211、212通过支持固定平台201的腿221、222的反力和由于工件台的自重而 产生的弯曲力矩而变形。图3示意性地表示在图1中的固定平台201上施加的外力，是从正面观察图2中 的直线电动机定子30的方向的图。可动平台40和41，因为施加的载荷根据其配置而变化， 所以在这里仅考虑固定平台201的分布载荷401、支持固定平台201的腿221的反力402、 和腿222的反力404。假定将腿221设置在距离固定平台201的左端a处，将腿222设置在距离固定平 台201的右端a处，腿221和腿222之间的距离为b。设固定平台201在Im左右有w的分 布载荷。图4表示图1中的固定平台201的弯曲力矩的分布。在固定平台201上施加的弯曲力矩在中央最大，
达到<formula>formula see original document page 7</formula>
在把固定平台201分割为两部分，将其分割位置设置在中央的情况下，在这里变 形变得最大。固定平台201的腿221、222的位置处的弯曲力矩为_wa2/2。在固定平台201的腿221、222之间有弯曲力矩成为0的位置，当在这里设置分割 位置时，固定平台201的变形最小。因此，在本实施例中，在施加在固定平台201上的弯曲 力矩成为0的附近设置分割位置。S卩，在中央设置宽Wl的工件台、在其两侧配置宽W2的工 件台，由这三个工件台构成固定平台201。由此，在由于自重而产生的弯曲力矩为最大的位置通过在中央配置的工件台的刚 性抑制变形，在弯曲力矩成为0的位置连接其他工件台，能够把工件台间的连接部分的连 接面的偏离抑制到最小。因此，即使在固定平台201的加工或者运输中也很容易处理，另外 即使在安装时也能够使定位误差变得极小。在本实施例的平台装置部的固定平台201中，以两条腿221、222为例进行了说明， 但是即使腿的个数增加，也同样能够通过改变工件台间的连接部分的位置来达到同样的效果。
权利要求
一种液晶曝光装置，具有搭载工件的工件台、具有该工件台的移动机构的可动平台、具有该可动平台的移动机构的固定平台、和支持对所述工件台上的工件曝光掩膜图形的曝光单元的门架部，其中，所述固定平台具有在与所述可动平台的移动方向成直角的方向上可分割为多个的构造。
2.根据权利要求1所述的液晶曝光装置，其中，所述固定平台在与所述可动平台的移动方向成直角的方向上具有两个分割面。
3.根据权利要求1所述的液晶曝光装置，其中，所述固定平台具有支持所述可动平台的移动的轨道，并且与所述轨道平行地具有分割面。
4.根据权利要求1所述的液晶曝光装置，其中，所述固定平台具有多条轨道，由具有与所述门架部连接的连接部的两个侧方工件台 部、和没有与所述门架部的连接部的中央工件台部组成。
5.根据权利要求4所述的液晶曝光装置，其中，所述固定平台具有多条轨道，在所述侧方工件台部和所述中央工件台部上分别设置轨 道，在所述中央工件台部上设置的所述多条轨道中，沿所述可动平台的移动方向设置在外 侧的两条轨道，被设置在所述固定平台的分割面附近。
6.根据权利要求1所述的液晶曝光装置，其中，将所述固定平台的分割面设置在所述固定平台的、与所述可动平台的移动方向成直角 的方向上施加的弯曲力矩达到最小的位置。
7.根据权利要求1所述的液晶曝光装置，其中，沿所述可动平台的移动方向设置所述固定平台的分割面。
8.一种液晶曝光装置，具有搭载工件的工件台、具有该工件台的移动机构的可动平 台、具有该可动平台的移动机构的平台、和支持对所述工件台上的工件曝光掩膜图形的曝 光单元的门架部，其中，所述平台中固定所述门架部的门架固定平台部，在该门架固定平台部的、与所述可动 平台的移动方向成直角的方向上施加的弯曲力矩达到最小的位置进行连接。
9.根据权利要求8所述的液晶曝光装置，其中，所述固定平台在与所述可动平台的移动方向成直角的方向上具有两个分割面。
10.根据权利要求8所述的液晶曝光装置，其中，所述固定平台具有支持所述可动平台的移动的轨道，并且与所述轨道平行地具有分割面。
11.根据权利要求8所述的液晶曝光装置，其中，所述固定平台具有多条轨道，由具有与所述门架部连接的连接部的两个侧方工件台 部、和没有与所述门架部的连接部的中央工件台部组成。
12.根据权利要求11所述的液晶曝光装置，其中，所述固定平台具有多条轨道，在所述侧方工件台部和所述中央工件台部上分别设置轨 道，在所述中央工件台部上设置的所述多条轨道中，沿所述可动平台的移动方向设置在外 侧的两条轨道，沿所述方向设置有多个分割面。
13.根据权利要求8所述的液晶曝光装置，其中，沿所述可动平台的移动方向设置所述固定平台的分割面。
14.一种液晶曝光装置，具有搭载工件的工件台、具有该工件台的移动机构的可动平 台、具有该可动平台的移动机构的平台、和支持对所述工件台上的工件曝光掩膜图形的曝 光单元的门架部，其中，所述平台中固定所述门架部的门架固定平台部，沿所述可动平台移动的方向设置多个 分割面。
15.根据权利要求14所述的液晶曝光装置，其中，所述固定平台在与所述可动平台的移动方向成直角的方向上具有两个分割面。
16.根据权利要求14所述的液晶曝光装置，其中，所述固定平台具有支持所述可动平台的移动的轨道，并且与所述轨道平行地具有分割面。
17.根据权利要求14所述的液晶曝光装置，其中，所述固定平台具有多条轨道，由具有与所述门架部连接的连接部的两个侧方工件台 部、和没有与所述门架部的连接部的中央工件台部组成。
18.根据权利要求17所述的液晶曝光装置，其中，所述固定平台具有多条轨道，在所述侧方工件台部和所述中央工件台部上分别设置轨 道，在所述中央工件台部上设置的所述多条轨道中，沿所述可动平台的移动方向设置在外 侧的两条轨道，被设置在所述固定平台的分割面附近。
全文摘要
本发明的课题是在液晶曝光装置中提供组装平台时容易定位的构造。本发明提供一种液晶曝光装置，具有搭载工件的工件台、具有该工件台的移动机构的可动平台、具有该可动平台的移动机构的固定平台、和支持对所述工件台上的工件曝光掩膜图形的曝光单元的门架部，其中，固定所述门架部的固定平台具有在与所述可动平台的移动方向成直角的方向上可分割为多个的构造。
文档编号G02F1/1333GK101807007SQ20101011573
公开日2010年8月18日 申请日期2010年2月11日 优先权日2009年2月16日
发明者松山胜章, 根本亮二, 渡部成夫, 牧信行 申请人:株式会社日立高新技术