网板曝光机台的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种网板曝光机台，具有镜面降温器、镜面温度传感器以及镜面温度控制模块。镜面温度传感器与透光镜组的镜面直接接触，而可直接感测透光镜组镜面的温度。镜面温度控制模块接收镜面温度传感器的感测结果，并辅以参考镜面的导热系数，藉以准确判断透光镜组镜面与形成有电路布线图案的底片接触处的温度，当透光镜组镜面与底片接触处的温度高于默认的合理值时，代表置放于其上底片可能会发生热变形，因此镜面温度控制模块会径自命令镜面降温设备运转，促使透光镜组镜面的温度降至默认的合理值，俾降低用于曝光网板底片的热变形幅度，使网板上曝光形成的电路布线图案符合预期，且线条粗细均匀。
【专利说明】网板曝光机台
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种曝光机台，特别是涉及一种用于网板曝光的网板曝光机台。
【背景技术】
[0002]网板是电路板图形化的必要工具之一，网板是在曝光机台的曝光显影过程中而制成，首先，网板表面会先被涂上感光乳剂而构成感光层，接着再将网板置放于形成有电路布线图案的底片上方，而后曝光机台的光源会经由所述底片对网板提供紫外光线，以将底片的电路布线图案映像到网板的感光层，此时，网板的感光层受到紫外光线曝照部分的化学性质会产生变化，接着只要将网板感光层未受到紫外光线曝照的部分去除后，网板上就会形成对应于底片的电路布线图案，而供后续电路板图形化的使用。
[0003]随着电路板微型化的发展趋势下，用于图形化电路板的网板被要求的精度亦越来越高，网板上形成的电路布线图案线条粗细不均匀，是一种不被允许的情况，因为此种情况的发生，会对后续图形化的电路板的电性功能造成无法预期的影响。曝光机光源所发出的紫外光线部分会在曝光的过程中转化成热能，使曝光环境中的温度增高，造成底片在曝光过程中受热变形，如此，就会造成网板上形成的电路布线图案线条粗细不均匀，甚至使网板上形成的电路布线图案非如预期。
[0004]因此，如何提供一种曝光机台，以减少曝光过程中网板与底片的受热变形程度，为所属【技术领域】人士所迫切需要解决的问题。
实用新型内容
[0005]鉴于上述现有技术的种种问题，本实用新型的主要目的为提供一种网板曝光机台，借着接触式的镜面温度传感器，对透光镜组的镜面进行温度的感测，以达到避免形成有电路布线图案的底片发生形变的效果。
[0006]为达到上述目的以及其它目的，本实用新型提供一种网板曝光机台，包括机台腔体、机台上盖、真空帮浦以及镜面温度调整装置。其中，机台腔体设有透光镜组以及光源，所述的透光镜组具有出光镜面以及迎光镜面，出光镜面用于置放形成有电路布线图案的底片，而待曝光的网板则可置放于底片的上方，光源朝所述透光镜组的方向发出紫外光线，所述紫外光线可经由迎光镜面进入透光镜组，并经由出光镜面离开透光镜组，俾可将底片的电路布线图案映像于所述网板，而对网板进行曝光程序；机台上盖的一端枢接机台腔体，机台上盖可枢转而贴合机台腔体，以形成收容网板与底片的曝光空间；真空帮浦具有吸气埠用于抽除上述曝光空间中的气体，以在曝光空间中形成负压环境，而使机台上盖紧密贴合机台腔体，进而令曝光空间中的网板迫使曝光空间中的底片紧贴透光镜组的出光镜面，俾提高曝光空间中网板的曝光精度；镜面温度调整装置具有镜面温度传感器、镜面温度控制模块以及镜面降温器。镜面温度传感器接触透光镜组的镜面，以感测透光镜组镜面的温度；镜面温度控制模块接收镜面温度传感器的感测结果，藉以判断透光镜组镜面的温度，当透光镜组镜面的温度高于默认的合理值时，镜面温度控制模块命令镜面降温设备运转，促使透光镜组镜面的温度降至默认的合理值，俾降低用于曝光网板底片的热变形幅度，使网板上曝光形成的电路布线图案符合预期，且线条粗细均匀。
[0007]可选择性地，前述光源可为UV灯管，而机台上盖与机台腔体的贴合处可布设橡胶皮，以增加曝光空间的气密度，使外界气体不易进入曝光空间。镜面温度控制模块可包含计时单元，俾于镜面降温器对透光镜组镜面的降温过程中进行计时，当计时的时间超出预设时间，而透光镜组镜面的温度仍无法降到合理值时，镜面温度控制模块命令机台本体停止运行，并对外发出警示信息以提示异常。透光镜组另可包含平行光镜，俾使穿过的紫外光线朝正交于平行光镜镜面的方向行进，藉以提高透光镜组出光的平行度。真空帮浦具有排气埠，当曝光空间中的网板完成曝光后，排气埠接通曝光空间以对曝光空间供气而解除负压状态，俾加速解除机台上盖与机台腔体的紧密贴合。
[0008]可选择性地，网板曝光机台还包括设于机台腔体内部的光闸门，光闸门位于曝光机台光源出光面的上方位置，当对所述网板的曝光时间未到、停止对所述网板的曝光或所述光源所散发的光能量未达或超过预设强度时，光闸门会止挡光源的紫外光线行进到透光镜组，当对所述网板的曝光时间已到以及光源所散发的光能量已达到预设强度时，光闸门会解除对光源紫外光线行进的止挡，俾适时对网板提供紫外光线。较佳地，光闸门可设置左、右两遮光板以及遮光板移动机构，当对所述网板的曝光时间未到、停止对所述网板的曝光或所述光源所散发的光能量未达或超过预设强度时，分开的左、右两遮光板会藉由遮光板移动机构相对移动靠近直到两遮光板完成接合，藉以达成对光源紫外光线行进的止挡。
[0009]可选择性地，本实用新型的网板曝光机台还可增设设于机台腔体内部的滤光组件，具有光学滤镜以及滤镜移动机构。所述的光学滤镜于光源对网板进行第一阶段曝光程序后，藉由滤镜移动机构移入光源紫外光线的行进路径，以滤除光源所发出的部分波长的紫外光线，保留对后续曝光有用的特定波长的紫外光线，而对网板进行第二阶段的曝光程序，以优化网板的曝光效果。此外，本实用新型的网板曝光机台还可增设设于机台腔体内部的聚光镜，以将曝光机台光源的紫外光线集中，而均匀散布到透光镜组迎光镜面的各个区域。
[0010]可选择性地，本实用新型的网板曝光机台还可增设光源降温设备、光源温度传感器以及光源温度控制模块。所述光源温度传感器用于感测曝光机台光源的温度，而光源温度控制模块用于接收光源温度传感器的感测结果，藉以判断光源当下的温度，当光源当下的温度高于默认的合理值时，光源温度控制模块会直接命令光源降温设备运转，促使光源的温度降至默认的合理值，如此，不但可以确保网板曝光的质量，还可以有效增加光源的使用寿命。当光源的温度低于默认的合理值时，光源温度控制模块会直接命令光源降温设备停止运转，并对光源提供能量，以促使光源的温度上升至默认的合理值。
[0011]较佳地，上述光源温度控制模块还可包括计时单元，俾于光源的升温过程中进行计时，当计时的时间超出预设时间，而光源的温度仍无法于升到预设的合理值时，光源温度控制模块命令机台本体停止运行，并对外发出警示信息以提示异常。所述的计时单元还可于光源降温设备对光源的降温过程中进行计时，当计时的时间超出预设时间，而光源的温度值仍无法于降到合理值时，光源温度控制模块命令机台本体停止运行，并对外发出警示信息。
[0012]可选择性地，本实用新型的网板曝光机台还可增设真空度侦测器以及真空度控制模块。真空度侦测器用于侦测机台上盖与机台腔体贴合时所形成的曝光空间的真空度(即负压程度)，而真空度控制模块用于接收真空度侦测器的侦测结果，藉以判断曝光空间的真空度是否低于预设的合理值，若是，真空度控制模块命令真空帮浦运转，促使曝光空间的真空度提升到预设的合理值。较佳地，真空度控制模块还可于真空帮浦运转的过程中进行计时，当计时的时间超出预设时间，而曝光空间的真空度仍无法提升到合理值时，真空度控制模块命令机台本体停止运行，并对外发出警示信息。
[0013]可选择性地，本实用新型的网板曝光机台还可增设压力传感器以及帮浦控制模块。所述的压力传感器用于感测真空帮浦吸气埠的气压，帮浦控制模块接收压力传感器的感测结果，藉以判断真空帮浦吸气埠的气压是否低于预设的合理值，若是，则帮浦控制模块命令真空帮浦运转，促使真空帮浦吸气埠的气压符合预设的合理值。较佳地，帮浦控制模块还可于真空帮浦运转的过程中进行计时，当计时的时间超出预设时间，而真空帮浦吸气埠的气压仍无法符合预设的合理值时，帮浦控制模块命令机台本体停止运行，并对外发出警示信息以提示异常。
[0014]相较于现有技术，本实用新型所提供的网板曝光机台，透过与透光镜组镜面直接接触的镜面温度传感器，而可准确判断透光镜组镜面与底片接触部位的温度，俾可在透光镜组镜面的温度异常时实时因应处理，举例而言，当透光镜组镜面与底片接触部位的温度过高时，机台本体中的镜面降温设备会进行运转，促使透光镜组镜面的温度降至默认的合理值，如此可有效降低底片的受热变形程度，使网板上曝光后形成的电路布线图案符合预期，且线条粗细均匀。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1显示为本实用新型网板曝光机台的组立图。
[0016]图2显示为图1所示网板曝光机台的截面图。
[0017]图3显示为图2中符号B所指区域的放大图。
[0018]图4显示为本实用新型网板曝光机台的部分构件组立图。
[0019]图5显示为图4所示的网板曝光机台部分构件的分解图。
[0020]图6显示为图5所示的网板曝光机台部分构件中滤光组件的组立图。
[0021]图7显示为本实用新型网板曝光机台光闸门止挡光源的紫外光线行进的示意图。
[0022]图8显示为本实用新型网板曝光机台对网板进行第一阶段曝光程序的紫外光线行进图。
[0023]图9显示为本实用新型网板曝光机台对网板进行第二阶段曝光程序的紫外光线行进图。
[0024]图10显示为本实用新型网板曝光机台的气路图。
[0025]组件标号说明
[0026]I网板曝光机台
[0027]11机台腔体
[0028]111透光镜组
[0029]1111平行光镜
[0030]112 光源[0031]113光闸门
[0032]1131、1132 遮光板
[0033]1133遮光板移动机构
[0034]114聚光镜
[0035]12滤光组件
[0036]121光学滤镜
[0037]122滤镜移动机构
[0038]13机台上盖
[0039]14真空帮浦
[0040]141 吸气埠
[0041]142排气埠
[0042]15镜面温度传感器
【具体实施方式】
[0043]以下内容将搭配图式，藉由特定的具体实施例说明本实用新型之技术内容，熟悉此技术之人士可由本说明书所揭示之内容轻易地了解本实用新型之其他优点与功效。本实用新型亦可藉由其他不同的具体实施例加以施行或应用。本说明书中的各项细节亦可基于不同观点与应用，在不背离本实用新型之精神下，进行各种修饰与变更。尤其是，于图式中各个组件的比例关系及相对位置仅具示范性用途，并非代表本实用新型实施的实际状况。
[0044]本实用新型提供一种网板曝光机台，用于通过形成有电路布线图案的底片对网板进行曝光程序，主要可实时感测以及调降透光镜组与底片接触处过高的温度，藉以减少曝光过程中对网板映像底片的受热变形程度，使网板曝光后所形成的电路布线图案符合预期。
[0045]请参阅图1至图7显示为本实用新型网板曝光机台构件的示意图。如图1至图7所示，本实用新型的网板曝光机台I包括有机台腔体11、镜面温度调整装置、机台上盖13以及真空帮浦14。于本实用新型中，机台腔体11的内部设有透光镜组111以及光源112，所述的透光镜组111具有射出紫外光线的出光镜面以及接受紫外光线的迎光镜面。所述光源112例如为UV灯管，可向透光镜组111的迎光镜面发出紫外光线，以对置放于出光镜面上形成有电路布线图案的底片提供紫外光线，俾将底片的电路布线图案映像于上方的网板而进行曝光程序。
[0046]机台腔体11内部还可加设具有凸起表面的聚光镜114，以将光源112的紫外光线集中均匀分布到透光镜组111迎光镜面的各区域，进而使网板上各映像区域的曝光均匀。透光镜组111可包含平行光镜1111，俾使通过的紫外光线朝正交于平行光镜1111镜面的方向行进，藉以提高所述透光镜组111出光的平行度。
[0047]为提升网板的曝光质量，使网板上形成的电路布线图案符合预期，且线条粗细均匀，在网板的曝光过程中，要分阶段对网板提供特定波长的紫外光线，对此，本实用新型的网板曝光机台的内部还可增设滤光组件，藉以在特定的曝光阶段中，滤除光源所发出的部分波长的紫外光线，如图6所示，滤光组件12具有光学滤镜121以及滤镜移动机构122，所述光学滤镜121于光源12对网板进行第一阶段曝光程序(关于第一阶段曝光程序，请参照图8的例示，于此阶段的曝光程序，光源112所发出的波长为λ 1、λ 2、λ 3的各种紫外光线均会穿过平行光镜1111，而对网板进行初步的曝光)后，可藉由滤镜移动机构122移入光源紫外光线的行进路径，藉以滤除光源112所发出的部分波长的紫外光线，保留对后续曝光有用的特定波长的紫外光线，而对网板进行第二阶段的曝光程序(关于第二阶段曝光程序，请参照图9，于此阶段的曝光程序中，光源112所发出的波长为λ?、λ2、λ 3的紫外光线，仅有波长为λ I的紫外光线可穿过光学滤镜121，以对网板进行第二阶段的曝光，而达成质优的曝光效果)。
[0048]如图5所示，机台腔体11内部光源112出光面的上方位置设置有光闸门113，当对网板的曝光时间未到、停止对网板的曝光或光源所散发的光能量未达或超过预设强度时，光闸门113会止挡光源112的紫外光线行进到透光镜组111。当对网板的曝光时间已到且光源112所散发的光能量已达预设可对网板曝光的强度时，光闸门113会解除对光源112紫外光线行进的止挡，以对网板提供紫外光线而进行曝光程序。
[0049]于图5中所示的实施例，光闸门可包含左、右两遮光板1131、1132以及遮光板移动机构1133，当对网板的曝光时间未到、停止对网板的曝光或光源所发出的光能量未达或超过预设的曝光强度时，左、右两遮光板1131、1132会藉由遮光板移动机构1133相对移动靠近，直到两遮光板1131、1132完成接合(请参照图7)，藉以达成对光源紫外光线行进的止挡。
[0050]为确保光源所散发的光能量符合预设对网板曝光的强度，本实用新型的网板曝光机台还可设置光源降温设备、光源温度传感器以及光源温度控制模块，光源温度传感器感测光源的温度，光源温度控制模块接收光源温度传感器的感测结果藉以判断光源的温度。当光源的温度高于默认的合理值时，代表光源所散发的光能量大于预设对网板曝光的强度，此时，光源温度控制模块会径自命令光源降温设备运转，促使光源的温度降至默认的合理值，亦即，使光源所散发的光能量符合预设对网板曝光的强度，以确保后续对网板的曝光质量。
[0051]惟，当光源的温度低于默认 的合理值时，代表光源所散发的光能量尚未达到预设的曝光强度，此时，光源温度控制模块命令光源降温设备停止运转，并对光源提供能量，以促使光源的温度上升至默认的合理值，即促使光源所散发的光能量达到预设的强度。
[0052]另外，应说明的是，网板曝光机台在运行一段时间后，光源降温设备与光源都有可能会发生损坏或老化而无法达成预期功效，对此，本实用新型的网板曝光机台还可在光源温度控制模块内增设计时单元，俾于光源的升温过程中进行计时，当计时的时间超出预设时间，而光源的温度仍无法于上升到预设的合理值时，代表光源可能已经发生损坏或老化，此时，光源温度控制模块命令机台本体停止运行，并对外发出例如声音、亮光或数据数据的警示信息以提示异常。前述光源温度控制模块所增设的计时单元，还可于光源降温设备对光源的降温过程中进行计时，当计时的时间超出预设时间，而光源的温度值仍无法于降到合理值时，代表光源降温设备可能已经发生损坏或老化，此时，所述光源温度控制模块亦会立即停止机台本体的运行，并对外发出警示信息。
[0053]所述的机台上盖13透过枢接轴与机台腔体11连接，可藉由枢接轴而在机台腔体11上枢转。机台上盖13可朝接近机台腔体11的方向枢转(即进行盖上动作)，直到与机台腔体11贴合，以形成收容网板与底片的曝光空间，并使曝光空间中的网板紧抵底片，以减少网板与底片间的间隙，而避免底片在网板上的电路布线图案映像失真。当机台上盖13朝背离机台腔体11的方向枢转时(即进行掀起动作)，网板曝光机台的曝光空间就会逐渐开放，此时就可将待曝光的网板置放到透光镜组111的出光镜面上方的底片，等待接受后续由光源112所发出的紫外光线以进行曝光显影，惟，此时亦可将曝光空间中已完成曝光的网板自曝光空间中移出，以供置入下一阶段曝光的网板。
[0054]真空帮浦14还具有与真空气路连接的吸气埠，藉由真空气路抽除上述曝光空间中的气体，以使上述曝光空间中呈现负压状态(即真空状态)，而让机台上盖13紧密贴合机台腔体11，令曝光空间中的网板迫使曝光空间中的底片紧贴透光镜组111的出光镜面，以降低底片电路布线图案在网板映像的偏差，俾提高网板的曝光精度。请一并参照图10，图10中符号I所示的箭头指向，即真空帮浦14抽除曝光空间气体时真空气路中气体的流向，此时，图10所示的气阀A与气阀B是处于开启状态，而气阀C是处于关闭状态。机台上盖13与机台腔体11的贴合处可布设橡胶皮或其它具有气密性的弹性材料，俾减少机台上盖13与机台腔体11间的缝隙，进而提高机台上盖13与机台腔体11间的气密度，使外界气体无法在网板的曝光过程中进入曝光空间。
[0055]为有效掌握上述收容网板与底片曝光空间的真空程度(即负压程度)，本实用新型的网板曝光机台还可增设真空度侦测器以及真空度控制模块，真空度侦测器用于侦测由机台上盖所形成的曝光空间的真空度，真空度控制模块可接收真空度侦测器的侦测结果，藉以判断前述曝光空间的真空度是否低于预设的合理值，若是，真空度控制模块命令真空帮浦运转，促使曝光空间的真空度提升到预设的合理值。当真空度控制模块判断前述曝光空间的真空度符合预设的合理值时，真空帮浦仍持续运转但不对曝光空间抽气，图10中符号3所示的箭头指向，即真空帮浦14持续运转但不对曝光空间抽气时真空气路中气体的流向，而组件符号141、142所指分别为真空帮浦14的吸气埠与排气埠，此时，图10所示的气阀A、B、C均处于关闭状态。
[0056]惟，随着网板曝光机台的运行时间增加，机台上盖与机台腔体贴合时彼此间的气密度可能会逐渐破坏，对此，本实用新型的真空度控制模块可增设计时单元，俾于真空帮浦运转的过程中进行计时，当计时的时间超出预设时间，而曝光空间的真空度仍无法提升到合理值时，代表机台上盖与机台腔体彼此间贴合时的气密度可能已经发生破坏，此时，所述真空度控制模块命令机台本体停止运行，并对外发出例如声音、亮光或数据数据的警示信息以提示异常。
[0057]此外，本实用新型的网板曝光机台还可为真空帮浦增设压力传感器以及帮浦控制模块，所述压力传感器用于感测真空帮浦之吸气埠的气压，帮浦控制模块接收压力传感器的感测结果，藉以判断真空帮浦吸气埠的气压是否低于预设的合理值，若是，帮浦控制模块命令真空帮浦运转，促使真空帮浦吸气埠的气压符合预设的合理值。帮浦控制模块还可增设计时单元，俾于真空帮浦运转的过程中进行计时。当计时的时间超出预设时间，而真空帮浦吸气埠的气压仍无法符合预设的合理值时，代表真空帮浦可能已发生损坏需要修复或更换，此时，帮浦控制模块命令机台本体停止运行，并对外发出警示信息以警示真空帮浦异
堂
巾O
[0058]由于网板曝光机光源所发出的紫外光线部分会在透光镜组上转化成热能，造成上方的底片受热变形，如此，将使网板曝光后所形成的电路布线图案非如预期。对此，本实用新型的网板曝光机提供有镜面温度调整装置，所述的镜面温度调整装置包含镜面温度控制模块、镜面温度传感器以及镜面降温器。镜面温度传感器可选用接触式感温组件，如图3所示，镜面温度传感器15与透光镜组111的镜面直接接触，而可直接感测透光镜组111镜面的温度，不受外界环境因素的影响。镜面降温器例如风扇或是其他形式的空气对流组件。镜面温度控制模块用于接收镜面温度传感器的感测结果，并辅以透光镜组镜面的导热系数作为参考，以准确判断透光镜组镜面与底片接触部位的温度，当判断的结果呈现透光镜组镜面与底片接触部位的温度高于默认的合理值时，代表底片容易发生热变形进而改变其上的电路布线图案，此时，镜面温度控制模块会立即命令镜面降温设备运转，促使透光镜组镜面的温度降至默认的合理值，而降少底片热变形的幅度，如此亦可提高网板的曝光精度。
[0059]所述的镜面温度控制模块内也可包含有计时单元，俾于镜面降温器对透光镜组镜面的降温过程中进行计时，当计时的时间超出预设时间，而透光镜组镜面的温度仍无法降到合理值时，代表底片的热变形程度已经无法掌控，此时，镜面温度控制模块命令机台本体停止运行，并对外发出例如声音、亮光或数据数据的警示信息以提示透光镜组镜面降温异
堂
巾O
[0060]在完成网板的曝光后，要将网板自网板曝光机台中取出，必须先对机台上盖与机台腔体间的曝光空间充气，以解除曝光空间的负压环境，于本实用新型中图10所示的气路图中，利用真空帮浦14的排气埠142，对机台上盖与机台腔体间的曝光空间充气，以加速上述曝光空间负压环境的解除，图10中符号2所示的箭头指向，即真空帮浦14对曝光空间排气时真空气路中气体的流向，此时，图10所示的气阀A与气阀B处于开启状态，而气阀C是处于关闭状态。
[0061]综上所述，本实用新型网板曝光机台的各实施例中分别具有以下技术特点:
[0062]1.藉由与透光镜组镜面直接接触的镜面温度传感器，而判断透光镜组镜面与底片接触部位的温度，俾可准确掌握底片的热变形程度，以供实时因应处理，而避免底片的热变形程度过大影响到网板的曝光精度。
[0063]2.在透光镜组中加设平行光镜，俾使通过的紫外光线朝正交于平行光镜镜面的方向行进，藉以提高透光镜组出光的平行度。
[0064]3.利用真空帮浦的排气，以加速曝光空间中负压状态的解除，而得以快速自曝光空间中取出完成曝光的网板，或将待曝光的网板置入曝光空间中，藉以减少曝光程序所需求的时间。
[0065]4.对光源提供光闸门，于对网板的曝光时间未到、停止对网板的曝光或光源所散发的光能量未达或超过预设强度时，光闸门可止挡光源的紫外光线行进到透光镜组，藉以适时对网板提供曝光用的紫外光线。
[0066]上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属【技术领域】中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【权利要求】
1.一种网板曝光机台，其特征在于，包括: 机台腔体，设有透光镜组以及光源，所述透光镜组具有出光镜面以及迎光镜面，所述出光镜面用于置放形成有电路布线图案的底片，而待曝光的网板则可置放于所述底片的上方，所述光源朝所述透光镜组的方向发出紫外光线，所述紫外光线可经由所述迎光镜面进入所述透光镜组，并经由所述出光镜面离开所述透光镜组，俾可将所述底片的电路布线图案映像于所述网板，而对所述网板进行曝光程序； 机台上盖，一端枢接所述机台腔体，所述机台上盖可枢转而贴合所述机台腔体，以形成收容所述网板与所述底片的曝光空间； 真空帮浦，具有吸气埠用于抽除上述曝光空间中的气体，以使所述机台上盖紧密贴合所述机台腔体，进而令所述曝光空间中的网板迫使所述曝光空间中的底片紧贴所述透光镜组的出光镜面，俾提高所述曝光空间中网板的曝光精度；以及 镜面温度调整装置，具有镜面降温器、镜面温度传感器以及镜面温度控制模块，所述镜面温度传感器接触所述透光镜组的镜面以感测温度，所述镜面温度控制模块接收所述镜面温度传感器的感测结果藉以判断所述透光镜组镜面的温度，当所述透光镜组镜面的温度高于默认的合理值时，所述镜面温度控制模块命令所述镜面降温设备运转，促使所述透光镜组镜面的温度降至默认的合理值。
2.根据权利要求1所述的网板曝光机台，其特征在于，所述镜面温度控制模块还包括计时单元，俾于所述镜面降温器对所述透光镜组镜面的降温过程中进行计时，当计时的时间超出预设时间，而所述透光镜组镜面的温度仍无法降到合理值时，所述镜面温度控制模块命令机台本体停止运行，并对外发出警示信息。
3.根据权利要求1所述的网板曝光机台，其特征在于，所述光源为UV灯管；以及所述机台上盖与所述机台腔体的贴合处有橡胶皮的布设。
4.根据权利要求1所述的网板曝光机台，其特征在于，还包括设于所述机台腔体内部的光闸门，所述光闸门位于所述光源出光面的上方位置，当对所述网板的曝光时间未到、停止对所述网板的曝光或所述光源所散发的光能量未达或超过预设强度时，所述光闸门会止挡所述光源的紫外光线行进到所述透光镜组，当对所述网板的曝光时间已到以及所述光源所散发的光能量符合预设的强度时，所述光闸门会解除对所述光源紫外光线行进的止挡。
5.根据权利要求4所述的网板曝光机台，其特征在于，所述光闸门包含左、右两遮光板以及遮光板移动机构，当对所述网板的曝光时间未到、停止对所述网板的曝光或所述光源所散发的光能量未达或超过预设强度时，分开的左、右两遮光板会透过所述遮光板移动机构相对移动靠近直到所述两遮光板完成接合，藉以达成对所述光源紫外光线行进的止挡。
6.根据权利要求1所述的网板曝光机台，其特征在于，还包括设于所述机台腔体内部的滤光组件，具有光学滤镜以及滤镜移动机构，所述光学滤镜于所述光源对所述网板进行第一阶段曝光程序后，藉由所述滤镜移动机构移入所述光源紫外光线的行进路径，以滤除所述光源所发出的部分波长的紫外光线，而对所述网板进行第二阶段的曝光程序。
7.根据权利要求1所述的网板曝光机台，其特征在于，还包括设于所述机台腔体内部具有凸起表面的聚光镜，用于将所述光源的紫外光线集中，而均匀散布到所述透光镜组迎光镜面的各个区域。
8.根据权利要求1所述的网板曝光机台，其特征在于，所述透光镜组包含有平行光镜，俾使穿过的紫外光线朝正交于平行光镜镜面的方向行进，藉以提高所述透光镜组出光的平行度。
9.根据权利要求1所述的网板曝光机台，还包括光源降温设备、光源温度传感器以及光源温度控制模块，所述光源温度传感器感测所述光源的温度，所述光源温度控制模块接收所述光源温度传感器的感测结果藉以判断所述光源的温度，当所述光源的温度高于默认的合理值时，所述光源温度控制模块命令所述光源降温设备运转，促使所述光源的温度降至默认的合理值，当所述光源的温度低于默认的合理值时，所述光源温度控制模块命令所述光源降温设备停止运转，并对所述光源提供能量，以促使所述光源的温度升至默认的合理值。
10.根据权利要求9所述的网板曝光机台，其特征在于，所述光源温度控制模块还包括计时单元，俾于所述光源的升温过程中进行计时，当计时的时间超出预设时间，而所述光源的温度仍无法于升到预设的合理值时，所述光源温度控制模块命令机台本体停止运行，并对外发出警示信息。
11.根据权利要求9所述的网板曝光机台，其特征在于，所述光源温度控制模块还包括计时单元，俾于所述光源降温设备对所述光源的降温过程中进行计时，当计时的时间超出预设时间，而所述光源的温度值仍无法于降到合理值时，所述光源温度控制模块命令机台本体停止运行，并对外发出警示信息。
12.根据权利要求1所述的网板曝光机台，还包括真空度侦测器以及真空度控制模块，所述真空度侦测器用于侦测所述机台上盖与所述机台腔体贴合时所形成的曝光空间的真空度，所述真空度控制模块接收所述真空度侦测器的侦测结果，藉以判断所述曝光空间的真空度是否低于预设的合理值，若是，所述真空度控制模块命令所述真空帮浦运转，促使所述曝光空间的真空度提升到预设的合理值。
13.根据权利要求12所述的网板曝光机台，其特征在于，所述真空度控制模块还包括计时单元，俾于所述真空帮浦运转的过程中进行计时，当计时的时间超出预设时间，而所述曝光空间的真空度仍无法提升到合理值时，所述真空度控制模块命令机台本体停止运行，并对外发出警示信息。
14.根据权利要求1所述的网板曝光机台，还包括压力传感器以及帮浦控制模块，所述压力传感器用于感测所述真空帮浦吸气埠的气压，所述帮浦控制模块接收所述压力传感器的感测结果，藉以判断所述真空帮浦吸气埠的气压是否低于预设的合理值，若是，所述帮浦控制模块命令所述真空帮浦运转，促使所述真空帮浦吸气埠的气压符合预设的合理值。
15.根据权利要求14所述的网板曝光机台，其特征在于，所述帮浦控制模块还包括计时单元，俾于所述真空帮浦运转的过程中进行计时，当计时的时间超出预设时间，而所述真空帮浦吸气埠的气压仍无法符合预设的合理值时，所述帮浦控制模块命令机台本体停止运行，并对外发出警示信息。
16.根据权利要求1所述的网板曝光机台，其特征在于，当所述曝光空间中的网板完成曝光后，所述真空帮浦的排气埠接通所述曝光空间以对所述曝光空间供气，俾加速解除所述机台上盖与所述机台腔体的紧密贴合。
【文档编号】G03F7/20GK203786463SQ201420109578
【公开日】2014年8月20日 申请日期:2014年3月12日 优先权日:2014年3月12日
【发明者】詹文清, 罗志雄 申请人:旺昌机械工业(昆山)有限公司