感光性树脂组合物的制作方法技术资料下载

技术编号:2760097

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本发明涉及感光性树脂组合物,具体地说,该感光性树脂组合物不仅灵敏度、绝缘性、耐化学性等性能出色,还能够显著提高透过性和贮藏稳定性,适宜形成LCD制造工序中的层间绝缘膜。背景技术 在TFT型液晶表示元件和集成电路元件中,为了使配置在层间的布线之间绝缘,使用层间绝缘膜。形成这样的层间绝缘膜时,使用用于得到规定图案形状的层间绝缘膜的工序数少且透过性出色的感光性材料。最近,适用于液晶显示器(LCD)制造工序的层间绝缘膜要求光致抗蚀剂能够通过提高透过性来提高背光源,...
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