技术编号：2763377
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及含有具有乙烯基萘的共聚物的抗蚀剂组合物以及使用该抗 蚀剂组合物的平坦化膜和微透镜。背景技术由于主要可以通过形成微细的图案来制作高精细的摄像元件，因此电荷结合元件(CCD)等摄像元件用微透镜是使用通过光致抗蚀剂形成图案的 方法来制作的。在该方法中，使用含有高分子树脂和感光剂的抗蚀剂组合 物，将其在141上进行涂布制膜，然后通过用光刻法进行构图、显影来形 成一个图案，从而制作微透镜。 一般现有的材料在数码照相机的用途中不 具有充分的耐热性。已公开了使...
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