技术编号：2765219
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种，特别是通过在产品模(芯)片图样(形)各边形成划线或刻线(soribe lines)，在各角形成预定形状的图样，以及根据各个曝光图样测量误差能够容易地测量出包括曝光机的每个误差和光掩模的制造误差在内的全部误差。在光掩模的传统制造方法中，光掩模图样是按照图1中在产品模片图样4的底边和右边形成划线或刻线2而制造的。但是采用这种已有技术存在一些问题，即使用这种光掩模不能全面测出曝光机的刻线旋转误差所导致的图线不能对准，以及X轴和Y轴的步进误差，透镜...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。