技术编号：2771685
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种调制用于形成二维图象的入射光束的方法和装置。更具体地讲，本发明涉及实现这种调制的条形衍射光栅。现在有许多关于通过改变光的振幅、频率或相位等等而调制光束的器件的申请。例如，这样的器件有如附图说明图1所示的反射可变形光栅光调制器10。这种调制器10由Bloom等人在美国专利5311360中提出。该调制器10包括多个等间隔可变形的反射条18，这些反射条悬浮在具有反射表面部分的基板16上方。硅基板16上沉积有绝缘层11。然后沉积要去除的二氧化硅膜12...
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